[發(fā)明專利]成膜裝置和成膜方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110096134.8
• 申請(qǐng)日: 2021-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113293360A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 加藤壽;石井亨;瀬下裕志;佐瀬雄一郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;C23C16/46
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

本發(fā)明涉及成膜裝置和成膜方法。提供能夠形成高品質(zhì)的半導(dǎo)體膜的技術(shù)。本公開(kāi)的一技術(shù)方案的成膜裝置具有：旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其設(shè)于真空容器內(nèi)；載置臺(tái)，其沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向設(shè)置，用于載置基板；處理區(qū)域，在該處理區(qū)域，朝向所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上表面供給處理氣體；熱處理區(qū)域，其沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向與所述處理區(qū)域分離開(kāi)地配置，在該熱處理區(qū)域，以比所述處理區(qū)域的溫度高的溫度對(duì)所述基板進(jìn)行熱處理；以及冷卻區(qū)域，其沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向與所述熱處理區(qū)域分離開(kāi)地配置，在該冷卻區(qū)域，冷卻所述基板。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)涉及成膜裝置和成膜方法。

背景技術(shù)

公知有一種成膜裝置，該成膜裝置利用沿處理容器的周向以等間隔設(shè)置的分離部被劃分成4個(gè)處理區(qū)域，向兩個(gè)處理區(qū)域供給原料氣體，向剩余的兩個(gè)處理區(qū)域供給反應(yīng)氣體(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2018－26528號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

本公開(kāi)提供一種能夠形成高品質(zhì)的半導(dǎo)體膜的技術(shù)。

用于解決問(wèn)題的方案

本公開(kāi)的一技術(shù)方案的成膜裝置具有：旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其設(shè)于真空容器內(nèi)；載置臺(tái)，其沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向設(shè)置，用于載置基板；處理區(qū)域，在該處理區(qū)域，朝向所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上表面供給處理氣體；熱處理區(qū)域，其沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向與所述處理區(qū)域分離開(kāi)地配置，在該熱處理區(qū)域，以比所述處理區(qū)域的溫度高的溫度對(duì)所述基板進(jìn)行熱處理；以及冷卻區(qū)域，其沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向與所述熱處理區(qū)域分離開(kāi)地配置，在該冷卻區(qū)域，冷卻所述基板。

發(fā)明的效果

根據(jù)本公開(kāi)，能夠形成高品質(zhì)的半導(dǎo)體膜。

附圖說(shuō)明

圖1是表示一實(shí)施方式的成膜裝置的結(jié)構(gòu)例的縱剖視圖。

圖2是用于說(shuō)明一實(shí)施方式的成膜裝置的四個(gè)區(qū)域的圖(1)。

圖3是用于說(shuō)明一實(shí)施方式的成膜裝置的四個(gè)區(qū)域的圖(2)。

圖4是一實(shí)施方式的成膜裝置的沿著周向的縱剖視圖。

圖5是用于說(shuō)明一實(shí)施方式的成膜裝置的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的圖。

圖6是表示一實(shí)施方式的成膜裝置的另一結(jié)構(gòu)例的圖。

圖7是表示一實(shí)施方式的成膜裝置的動(dòng)作的一個(gè)例子的圖。

圖8是表示一實(shí)施方式的成膜裝置的又一結(jié)構(gòu)例的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖說(shuō)明本公開(kāi)的非限定性的例示的實(shí)施方式。在添附的全部附圖中，對(duì)相同或?qū)?yīng)的構(gòu)件或部件標(biāo)注相同或?qū)?yīng)的參照附圖標(biāo)記，并省略重復(fù)的說(shuō)明。

〔成膜裝置〕

參照?qǐng)D1～圖5說(shuō)明成膜裝置的結(jié)構(gòu)例。圖1是表示一實(shí)施方式的成膜裝置的結(jié)構(gòu)例的縱剖視圖。

成膜裝置1包括扁平的真空容器10。真空容器10的底部在徑向上被分割成中央部12和包圍該中央部12的環(huán)狀部14。中央部12被支承于支承部16。支承部16貫穿真空容器10的頂部的中央部并從上方貫穿于真空容器10內(nèi)。環(huán)狀部14固定于真空容器10的側(cè)壁。