[發(fā)明專利]一種用于在晶圓上沉積薄膜的設備

在審

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• 申請日: 2021-01-23
• 公開（公告）號: CN112921283A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設計）人: 梁小明
• 申請（專利權）人: 梁小明
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種用于在晶圓上沉積薄膜的設備，其結構包括密封蓋、沉積裝置、控制器、檢修門，密封蓋嵌固在沉積裝置內(nèi)部上端，控制器安裝于沉積裝置側面，檢修門與沉積裝置側面采用合頁配合，卡合板帶動固定環(huán)內(nèi)側的活動塊與擠壓機構外側擠壓滑動，通過相對位置的改變，繼而控制原料在噴灑口內(nèi)的阻擋壓力，達到對原料噴灑角度改變的作用，從而參照晶圓曲面的角度對噴灑角度進行調(diào)整，通過對原料噴灑壓力的控制使原料沉積后較為均勻，避免產(chǎn)生曲翹力，貼合機構貼合在晶圓最上端水平位置的側面，避免噴灑的原料在晶圓邊緣活動，防止混亂漂浮的原料往晶圓邊緣方向活動，避免晶圓邊緣進行薄膜沉積時不均勻。

技術領域

本發(fā)明涉及晶圓涂膜領域，具體涉及一種用于在晶圓上沉積薄膜的設備。

背景技術

沉積薄膜的作用是將原子從原料靶材上濺射出來，利用物理過程實現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移，沉積形成導電電路，濺鍍利用氬氣電槳高速沖擊鍍靶材，使得鍍靶材中的原料擴散性分布在晶圓表面，但是當鍍靶材原料濺射完成后，濺射力耗盡，剩余的原料容易在晶圓邊緣漂浮，造成原料的漂浮方向較為混亂，容易往晶圓邊緣方向活動，使其晶圓邊緣進行薄膜的沉積，且沉積在晶圓正面上的功能膜的張力與晶圓本身的張力不同，晶圓會發(fā)生翹曲，同時原料濺射的角度與晶圓翹曲的角度不同，晶圓中心與邊緣位置產(chǎn)生的翹曲角度會偏差，導致真空吸附臂無法可靠地吸住晶圓。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明通過如下的技術方案來實現(xiàn)：一種用于在晶圓上沉積薄膜的設備，其結構包括密封蓋、沉積裝置、控制器、檢修門，所述密封蓋嵌固在沉積裝置內(nèi)部上端，所述控制器安裝于沉積裝置側面，所述檢修門與沉積裝置側面采用合頁配合，所述沉積裝置設有噴灑機構、固定板、放置臺、阻擋機構，所述噴灑機構與放置臺位于同一中心軸線上，所述阻擋機構與放置臺側面間隙配合，所述放置臺嵌固在固定板上端，所述噴灑機構上端安裝于密封蓋內(nèi)部下端，所述阻擋機構卡合在控制器內(nèi)部側面，所述放置臺上表面設有橡膠材料的吸盤，具有吸附性強，貼合力大的特性。

作為本發(fā)明進一步改進，所述噴灑機構設有升降桿、限位機構、活動桿、支撐架，所述升降桿下端連接在限位機構上端，所述活動桿內(nèi)側與限位機構外側滑動配合，所述支撐架中間連接在升降桿中間內(nèi)側，所述升降桿上端安裝于密封蓋內(nèi)部下端，所述與支撐架為固定狀態(tài)，且支撐架上端固定在密封蓋下表面。

作為本發(fā)明進一步改進，所述限位機構設有連接輥、調(diào)整機構、卡合板，所述調(diào)整機構嵌固在連接輥內(nèi)部，所述卡合板安裝于連接輥側面內(nèi)側，所述卡合板與活動桿內(nèi)側滑動配合，所述調(diào)整機構設有四十個，以相同的間隙均勻分布安裝，所述卡合板內(nèi)部連接在連接輥中。

作為本發(fā)明進一步改進，所述調(diào)整機構設有擠壓機構、活動塊、固定環(huán)，所述活動塊卡合在固定環(huán)內(nèi)部，所述擠壓機構與活動塊間隙配合，所述固定環(huán)嵌固在卡合板內(nèi)部，所述活動塊設有六個，以擠壓機構為中心環(huán)形均勻分布。

作為本發(fā)明進一步改進，所述擠壓機構設有擠壓桿、橡膠膜、噴灑口，所述噴灑口與擠壓桿位于同一中心軸線上，所述擠壓桿與橡膠膜間隙配合，所述橡膠膜卡合在噴灑口側面，所述擠壓桿嵌固在活動塊內(nèi)部側面，所述噴灑口為中間窄兩邊寬的筒狀結構，所述噴灑口為環(huán)形結構。

作為本發(fā)明進一步改進，所述阻擋機構設有貼合機構、連接桿、平移桿、海綿塊，所述海綿塊貼合在連接桿下端，所述連接桿嵌固在平移桿左側，所述貼合機構安裝于連接桿左側，所述貼合機構與放置臺側面間隙配合，所述連接桿上端為梯形槽，且內(nèi)部貫穿有圓形孔。

作為本發(fā)明進一步改進，所述貼合機構設有彈簧、密封槽、貼合板、定型塊，所述貼合板貼合在定型塊左側，所述密封槽嵌固在定型塊右側，所述定型塊安裝于彈簧左側，所述彈簧右端焊接在連接桿左側，所述貼合板為海綿材質(zhì)，具有形變效果強，壓縮力小的特性，所述彈簧的彈性系數(shù)較小，所述貼合板與定型塊中間為弧形結構。

有益效果

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明有益效果在于：