[發(fā)明專利]一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形

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• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN114823397A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉娟;張滿滿;錢俊
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇潤陽悅達(dá)光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L23/544
• 代理公司: 南京普睿益思知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32475
• 代理人: 杜朝霞

本發(fā)明公開了一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形，測試步驟包括如下：S1，預(yù)處理：首先在激光機(jī)臺上設(shè)計五個相等大小的方塊圖形，然后即可固定相對應(yīng)的坐標(biāo)，并取出四探針方阻測試儀待用；S2，確保重?fù)诫s：利用四探針測試點(diǎn)位正好測試對應(yīng)激光的方塊位置，以此來確保測試的每個點(diǎn)都是重?fù)诫s區(qū)域。本發(fā)明通過在激光臺上設(shè)計五個固定大小的方塊圖形，以此來固定坐標(biāo)，然后與四探針測試坐標(biāo)相互匹配，這樣即可測試出五點(diǎn)方阻平均值，如此在后續(xù)加工的過程中就可以避免出現(xiàn)的偶然性，而且也可以節(jié)約測試整面方阻的時間和打滿面激光的時間，以此來提高測試方阻的準(zhǔn)確性與工作效率，大大提高了測試時的準(zhǔn)確性，實(shí)用性較強(qiáng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形。

背景技術(shù)

隨著人們對環(huán)境的保護(hù)意識的加強(qiáng)，太陽能發(fā)電是一種清潔、可再生的資源，利用太陽能發(fā)電光伏電池是一種重要的轉(zhuǎn)換載體，太陽能電池在光伏發(fā)電中起著至關(guān)重要的過程。隨著PERC電池逐漸興起，電池的轉(zhuǎn)換效率不斷提高，正面激光已是PERC電池生產(chǎn)中一道重要的工序，現(xiàn)SE激光技術(shù)已普遍適用于PERC高效電池生產(chǎn)，SE是將擴(kuò)散后形成的PSG層作為雜質(zhì)進(jìn)行摻雜原理，驅(qū)入實(shí)現(xiàn)局部重?fù)诫s。后道工序不做改變，通過管控激光后方阻的大小，可以改善電池片的歐姆接觸及減小激光對晶格的損傷，提高電池的轉(zhuǎn)換效率，所以激光后方阻管控是電池生產(chǎn)中必不可少的一道管控。

現(xiàn)市面上的電池SE激光后容易存在方阻異常的情況，在加工的過程中無法有效的確認(rèn)方阻存在的偶然性，且在后續(xù)對方阻進(jìn)行測試時還需要花費(fèi)較長的時間和精力，不能夠較好的提高測試方阻時的準(zhǔn)確性，在應(yīng)用的過程中工作效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對背景技術(shù)中的不足，提供了一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形。

本發(fā)明為解決上述現(xiàn)象，采用以下技術(shù)方案，一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形，測試方法包括如下：

S1，預(yù)處理：首先在激光機(jī)臺上設(shè)計五個相等大小的方塊圖形，然后即可固定相對應(yīng)的坐標(biāo)，并取出四探針方阻測試儀待用；

S2，確保重?fù)诫s：利用四探針測試點(diǎn)位正好測試對應(yīng)激光的方塊位置，以此來確保測試的每個點(diǎn)都是重?fù)诫s區(qū)域；

S3，確認(rèn)位置：當(dāng)正面激光后需在二次元下光斑確認(rèn)狀態(tài)無誤，然后依次填充滿整個激光方塊區(qū)域，并確保五個激光方塊區(qū)域全部填充滿；

S4，開始測試：當(dāng)激光后的光斑，再利用四探針測試儀測試激光重?fù)诫s區(qū)域，確保測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選方式，步驟S1中，首先在激光機(jī)臺上設(shè)計五個相等大小的方塊圖形，方塊圖形的規(guī)格大小為50mm×50mm，然后即可固定相對應(yīng)的坐標(biāo)，并取出四探針方阻測試儀待用。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選方式，步驟S2中，利用四探針測試點(diǎn)位正好測試對應(yīng)激光的方塊位置，以此來確保測試的每個點(diǎn)都是重?fù)诫s區(qū)域，并重復(fù)步驟來確認(rèn)兩次保證準(zhǔn)確性。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選方式，步驟S3中，當(dāng)正面激光后需在二次元下光斑確認(rèn)狀態(tài)無誤，保證是連續(xù)的、無重疊，同時光斑飽和度需要達(dá)到正常水準(zhǔn)，然后依次填充滿整個激光方塊區(qū)域，并確保五個激光方塊區(qū)域全部填充滿。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選方式，步驟S3中，需要進(jìn)一步在四探針上面編輯一個與之匹配的測試點(diǎn)，確保測試點(diǎn)與激光位置相對應(yīng)。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選方式，步驟S4中，當(dāng)激光后的光斑，再利用四探針測試儀測試激光重?fù)诫s區(qū)域，確保測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，將采集到的五個點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，然后求其平均值，即可確認(rèn)為正面激光后方阻的數(shù)據(jù)。

本發(fā)明通過在激光臺上設(shè)計五個固定大小的方塊圖形，以此來固定坐標(biāo)，然后與四探針測試坐標(biāo)相互匹配，這樣即可測試出五點(diǎn)方阻平均值，可以準(zhǔn)確及快速測試激光后方阻的數(shù)據(jù)，可以節(jié)省工作時間及提高工作效率。