[發(fā)明專利]一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形

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• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN114823397A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設計）人: 劉娟;張滿滿;錢俊
• 申請（專利權）人: 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L23/544
• 代理公司: 南京普睿益思知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 32475
• 代理人: 杜朝霞

1.一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形，其特征在于，測試步驟包括如下：

S1，預處理：首先在激光機臺上設計五個相等大小的方塊圖形，然后即可固定相對應的坐標，并取出四探針方阻測試儀待用；

S2，確保重摻雜：利用四探針測試點位正好測試對應激光的方塊位置，以此來確保測試的每個點都是重摻雜區(qū)域；

S3，確認位置：當正面激光后需在二次元下光斑確認狀態(tài)無誤，然后依次填充滿整個激光方塊區(qū)域，并確保五個激光方塊區(qū)域全部填充滿；

S4，開始測試：當激光后的光斑，再利用四探針測試儀測試激光重摻雜區(qū)域，確保測試數(shù)據(jù)的準確性。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形的制備方法，其特征在于，步驟S1中，首先在激光機臺上設計五個相等大小的方塊圖形，方塊圖形的規(guī)格大小為50mm×50mm，然后即可固定相對應的坐標，并取出四探針方阻測試儀待用。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形的制備方法，其特征在于，步驟S2中，利用四探針測試點位正好測試對應激光的方塊位置，以此來確保測試的每個點都是重摻雜區(qū)域，并重復步驟來確認兩次保證準確性。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形的制備方法，其特征在于，步驟S3中，當正面激光后需在二次元下光斑確認狀態(tài)無誤，保證是連續(xù)的、無重疊，同時光斑飽和度需要達到正常水準，然后依次填充滿整個激光方塊區(qū)域，并確保五個激光方塊區(qū)域全部填充滿。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形的制備方法，其特征在于，步驟S3中，需要進一步在四探針上面編輯一個與之匹配的測試點，確保測試點與激光位置相對應。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種PERC高效電池SE激光后方阻測試圖形的制備方法，其特征在于，步驟S4中，當激光后的光斑，再利用四探針測試儀測試激光重摻雜區(qū)域，確保測試數(shù)據(jù)的準確性，將采集到的五個點數(shù)據(jù)進行記錄，然后求其平均值，即可確認為正面激光后方阻的數(shù)據(jù)。