[發明專利]離子布植系統以及用于離子布植的氣體運輸的方法

在審

• 申請號: 202110088298.6
• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN113140437A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 林弘青;涂紀誠;張一庭;呂超波;林琮閔
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/67;H01L21/265;F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種離子布植系統，其特征在于，包含：

一離子布植機，包含一離子源單元；以及

一摻雜劑源氣體供應系統，包含：

一摻雜源氣體儲存罐，在遠離該離子布植機的一氣箱容器內；以及

一摻雜劑源氣體供應管，用以將一摻雜劑源氣體從該摻雜劑源氣體儲存罐供應到該離子源單元，該摻雜劑源氣體供應管包含：

一內管；

一外管，包圍該內管；

一第一管轉接器，連接到該內管和該外管中的每一個的一第一端，該第一管轉接器將該內管連接到該摻雜劑源氣體儲存罐；以及

一第二管轉接器，連接到該內管和該外管中的每一個的一第二端，該第二端在該第一端對面，該第二管轉接器將該內管連接到該離子源單元。

2.根據權利要求1所述的離子布植系統，其特征在于，該內管和該外管中的每一個均包含一電絕緣材料。

3.根據權利要求1所述的離子布植系統，其特征在于，該第一管轉接器包含密封該內管的該第一端的一內蓋和密封該外管的該第一端的一外蓋。

4.根據權利要求3所述的離子布植系統，其特征在于，該第一管轉接器還包含與該內管流體地連通的一第一端口和與該外管流體地連通的一第二端口。

5.根據權利要求4所述的離子布植系統，其特征在于，該第一端口延伸穿過該第一管轉接器的該內蓋和該外蓋，并且該第二端口延伸穿過該第一管轉接器的該外蓋。

6.根據權利要求1所述的離子布植系統，其特征在于，該第二管轉接器包含密封該內管的該第二端的一內蓋和密封該外管的該第二端的一外蓋。

7.根據權利要求6所述的離子布植系統，其特征在于，該第二管轉接器還包含與該內管流體地連通的一第三端口。

8.一種離子布植系統，其特征在于，包含：

一離子布植機，在一殼體內部，該離子布植機包含一離子源單元；

一摻雜劑源氣體儲存罐，位于該殼體外部的一氣箱容器內；

一摻雜劑源氣體供應管，用以將一摻雜劑源氣體從該摻雜劑源氣體儲存罐供應到該離子源單元，該摻雜劑源氣體供應管包含：

一內管，用以運送該摻雜劑源氣體；

一外管，包圍該內管并用以運送一惰性氣體；

一第一管轉接器，連接到該內管和該外管中的每一個的一第一端，該第一管轉接器將該內管連接到該摻雜劑源氣體儲存罐；以及

一第二管轉接器，連接到該內管和該外管中的每一個的一第二端，其中該第二端在該第一端對面，該第二管轉接器將該內管連接到該離子源單元；以及

一壓力感測器，用以測量該外管中該惰性氣體的一壓力水平。

9.根據權利要求8所述的離子布植系統，其特征在于，該內管和該外管中的每一個均在各自的一外表面上包含多個凹槽。

10.一種用于離子布植的氣體運輸的方法，其特征在于，包含：

使用具有一預定壓力的一惰性氣體填充一摻雜劑源氣體供應管的一外管；

從一摻雜劑源氣體儲存罐經由該摻雜劑源氣體供應管的被該外管包圍的一內管將一摻雜劑源氣體供應到一離子布植機的一離子源單元，其中該離子布植機配置在一殼體中，該摻雜劑源氣體儲存罐配置在位于該殼體外部的一氣箱容器中；

原位監測該惰性氣體的一壓力；以及

如果該惰性氣體的該壓力低于一預定閾值，則確定該摻雜劑源氣體供應管的一泄漏。