[發明專利]一種晶圓貼膜治具

在審

• 申請號: 202110086281.7
• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN112928045A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 梁小明
• 申請（專利權）人: 梁小明
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B15/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種晶圓貼膜治具，其結構包設有底板、基礎板、固柱、貼附臺、氣缸動力機，基礎板位于底板頂端，貼附臺活動于基礎板上方，氣缸動力機連接在固柱的一側，固柱嵌固安裝在底板上，貼附臺與氣缸動力機相配合，由轉卡環轉動，會逐漸摩擦防塵裝置并抵觸產生卡位，使得側擺架鉸接著實底塊向側端擺向，扯接桿連著其內側端并為其提供伸縮連接力，撐簧的撐力便于頂擋板可以靈活觸壓于口端道頂端兩側，起到防塵效果，側擺架向兩側擺動時，帶動氣流變化，而有向兩側流通的氣流力，利于塵質隨氣流向兩側活動，繼而進入集口中。

技術領域

本發明屬于晶圓涂膜領域，更具體地說，尤其是涉及到一種晶圓貼膜治具。

背景技術

貼膜治具作為貼膜時的重要輔助器具，在晶圓貼膜作業中，其協助控制貼膜的準確性，并循環做重制工作，重復多次不同晶圓的貼膜，代替了傳統的手工操作，提高晶圓準確貼膜效率。

基于上述本發明人發現，現有的晶圓貼膜治具存在以下不足：

由于晶圓生產工藝中，表面帶有塵質，在貼附裝置重復升降進行貼膜作業中，需由承載晶圓的定位板塊與其配合轉動，使不同晶圓進行貼膜，而貼附壓頭隨氣缸動力機驅動升降過程中，會將晶圓表面的塵質向定位板塊的轉卡口吹，使塵質落入，造成定位板塊在轉動時，出現卡頓現象，影響晶圓貼膜作業的位置準確度。

因此需要提出一種晶圓貼膜治具。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明目的是提供一種晶圓貼膜治具，以解決現有技術的問題。

為了實現上述目的，本發明是通過如下的技術方案來實現：一種晶圓貼膜治具，其結構包設有底板、基礎板、固柱、貼附臺、氣缸動力機，所述基礎板位于底板頂端，所述貼附臺活動于基礎板上方，所述氣缸動力機連接在固柱的一側，所述固柱嵌固安裝在底板上，所述貼附臺與氣缸動力機相配合。

所述基礎板設有撐臺、定位卡塊、轉底、支撐腳，所述轉底嵌入連接在撐臺中端，所述定位卡塊連接于轉底上方且相配合，所述支撐腳嵌固連接在撐臺下方。

作為本發明的進一步改進，所述定位卡塊設有整盤、卡口區、貼端面、轉卡環、帶轉圈，所述卡口區嵌入安裝在整盤內，所述貼端面與定位卡塊為一體化結構，所述轉卡環活動卡合于卡口區，所述帶轉圈連接在轉卡環內側且活動配合，所述轉卡環在帶轉圈的帶動下做有規律的轉動，所述轉卡環外側與卡口區卡合的位置具有韌性。

作為本發明的進一步改進，所述卡口區設有口端道、防塵裝置，所述防塵裝置活動安裝在口端道下端且活動于其兩側端，所述防塵裝置受下端力的作用，向兩側擺開。

作為本發明的進一步改進，所述防塵裝置設有中接塊、實底塊、扯接桿、頂防塊、側擺架，所述中接塊安裝在實底塊之間，所述頂防塊位于中接塊前側端，所述扯接桿鉸接連接在中接塊兩側，所述扯接桿一端與側擺架相連接且活動配合，所述中接塊具有伸縮性，所述頂防塊呈弧狀，且為橡膠材質，具有一定的柔韌性，所述扯接桿具有伸縮的彈性連接性質。

作為本發明的進一步改進，所述側擺架設有側實板、前接板、集口、頂擋板、撐簧，所述前接板與側實板為一體化結構且設在其前側位置，所述集口嵌入安裝在前接板的前側端，所述頂擋板鉸接連接在側實板頂端，所述撐簧與側實板、頂擋板內側分別相連接且活動配合，所述集口設有三個，所述撐簧的彈性力，對頂擋板起到撐彈效果。

作為本發明的進一步改進，所述集口設有排腔徑、側限板、集塵腔，所述側限板與排腔徑為一體化結構且設在其上下端，所述集塵腔連接在排腔徑后端且相貫通，所述排腔徑口徑由大到小，所述集塵腔呈圓球狀。

作為本發明的進一步改進，所述集塵腔設有球腔槽、導向門、粘帶，所述球腔槽與集塵腔為一體化結構，所述導向門鉸接連接在球腔槽前側兩端，所述粘帶活動于球腔槽后側，所述導向門進行單向擺動，所述粘帶隨氣流力的作用而有所甩動。

與現有技術相比，本發明具有如下有益效果：