[發(fā)明專利]一種晶圓貼膜治具

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110086281.7
• 申請(qǐng)日: 2021-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112928045A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁小明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 梁小明
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B15/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種晶圓貼膜治具，其結(jié)構(gòu)包設(shè)有底板(1)、基礎(chǔ)板(2)、固柱(3)、貼附臺(tái)(4)、氣缸動(dòng)力機(jī)(5)，所述基礎(chǔ)板(2)位于底板(1)頂端，所述貼附臺(tái)(4)活動(dòng)于基礎(chǔ)板(2)上方，所述氣缸動(dòng)力機(jī)(5)連接在固柱(3)的一側(cè)，所述固柱(3)嵌固安裝在底板(1)上，所述貼附臺(tái)(4)與氣缸動(dòng)力機(jī)(5)相配合，其特征在于：

所述基礎(chǔ)板(2)設(shè)有撐臺(tái)(21)、定位卡塊(22)、轉(zhuǎn)底(23)、支撐腳(24)，所述轉(zhuǎn)底(23)嵌入連接在撐臺(tái)(21)中端，所述定位卡塊(22)連接于轉(zhuǎn)底(23)上方且相配合，所述支撐腳(24)嵌固連接在撐臺(tái)(21)下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓貼膜治具，其特征在于：所述定位卡塊(22)設(shè)有整盤(221)、卡口區(qū)(222)、貼端面(223)、轉(zhuǎn)卡環(huán)(224)、帶轉(zhuǎn)圈(225)，所述卡口區(qū)(222)嵌入安裝在整盤(221)內(nèi)，所述貼端面(223)與定位卡塊(22)為一體化結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)卡環(huán)(224)活動(dòng)卡合于卡口區(qū)(222)，所述帶轉(zhuǎn)圈(225)連接在轉(zhuǎn)卡環(huán)(224)內(nèi)側(cè)且活動(dòng)配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓貼膜治具，其特征在于：所述卡口區(qū)(222)設(shè)有口端道(a1)、防塵裝置(a2)，所述防塵裝置(a2)活動(dòng)安裝在口端道(a1)下端且活動(dòng)于其兩側(cè)端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓貼膜治具，其特征在于：所述防塵裝置(a2)設(shè)有中接塊(a21)、實(shí)底塊(a22)、扯接桿(a23)、頂防塊(a24)、側(cè)擺架(a25)，所述中接塊(a21)安裝在實(shí)底塊(a22)之間，所述頂防塊(a24)位于中接塊(a21)前側(cè)端，所述扯接桿(a23)鉸接連接在中接塊(a21)兩側(cè)，所述扯接桿(a23)一端與側(cè)擺架(a25)相連接且活動(dòng)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓貼膜治具，其特征在于：所述側(cè)擺架(a25)設(shè)有側(cè)實(shí)板(b1)、前接板(b2)、集口(b3)、頂擋板(b4)、撐簧(b5)，所述前接板(b2)與側(cè)實(shí)板(b1)為一體化結(jié)構(gòu)且設(shè)在其前側(cè)位置，所述集口(b3)嵌入安裝在前接板(b2)的前側(cè)端，所述頂擋板(b4)鉸接連接在側(cè)實(shí)板(b1)頂端，所述撐簧(b5)與側(cè)實(shí)板(b1)、頂擋板(b4)內(nèi)側(cè)分別相連接且活動(dòng)配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓貼膜治具，其特征在于：所述集口(b3)設(shè)有排腔徑(b31)、側(cè)限板(b32)、集塵腔(b33)，所述側(cè)限板(b32)與排腔徑(b31)為一體化結(jié)構(gòu)且設(shè)在其上下端，所述集塵腔(b33)連接在排腔徑(b31)后端且相貫通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓貼膜治具，其特征在于：所述集塵腔(b33)設(shè)有球腔槽(c1)、導(dǎo)向門(c2)、粘帶(c3)，所述球腔槽(c1)與集塵腔(b33)為一體化結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)向門(c2)鉸接連接在球腔槽(c1)前側(cè)兩端，所述粘帶(c3)活動(dòng)于球腔槽(c1)后側(cè)。