[發明專利]物體保持裝置

在審

• 申請號: 202110085216.2
• 申請日: 2016-08-30
• 公開（公告）號: CN112859396A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 八田澄夫;白澤正裕;木南貴之;五十嵐淑人
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G03F7/20;H01L21/683
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;閆劍平

本發明的保持光罩(M)的光罩載臺裝置(14)具備：支承塊(50)，其從下方支承光罩(M)；吸附墊(46)，其具有對由支承塊(50)支承且因光罩(M)的自重而撓曲的光罩(M)的面進行保持的保持面，使保持面以沿著撓曲的光罩(M)的面的方式可動并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其將撓曲的光罩(M)吸附于保持面。

本發明申請是國際申請日為2016年8月30日、國際申請號為PCT/JP2016/075258、進入中國國家階段的國家申請號為201680062678.X、發明名稱為“光罩保持裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法、器件制造方法、光罩的保持方法以及曝光方法”的發明申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及物體保持裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法、器件制造方法、物體的保持方法以及曝光方法，更詳細地，本發明涉及保持物體的物體保持裝置及方法、包含上述物體保持裝置的曝光裝置、包含上述物體保持方法的曝光方法、使用上述曝光裝置或方法的平板顯示器或器件的制造方法。

背景技術

以往，在制造液晶顯示元件、半導體元件(集成電路等)等電子器件(微型器件)的光刻工序中，使用了步進掃描(step and scan)方式的曝光裝置(所謂的掃描步進機(也稱為掃描儀))等，該曝光裝置一邊使光罩或標線片(以下總稱為“光罩”)和玻璃板或晶片等(以下總稱為“基板”)沿著規定的掃描方向同步移動，一邊使用能量束將形成于光罩的圖案轉印至基板上。

這種曝光裝置具有保持光罩并使該光罩在掃描方向上以規定的速度及精度移動的光罩載臺裝置(例如參照專利文獻1)。

在此，由于通常的光罩載臺裝置是以不干擾能量束的光路的方式對光罩M的端部附近(未形成有光罩圖案的區域)進行保持(或支承)的結構，所以光罩會因自重而產生撓曲。這種光罩的撓曲能夠通過光學補償來確保曝光精度，但在光罩的撓曲形狀不穩定的情況下，存在不易進行光學補償的問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011-85671號公報

發明內容

本發明是鑒于上述情況而提出的，根據第一方式，提供一種物體保持裝置，其保持物體，該物體保持裝置具備：支承部，其從下方支承所述物體；保持部，其具有對由所述支承部支承且因所述物體的自重而撓曲的所述物體的面進行保持的保持面，使所述保持面以沿著撓曲的所述物體的面的方式可動并利用所述保持面保持所述物體；和吸附部，其將所述撓曲的物體吸附于所述保持面。

根據第二方式，提供一種曝光裝置，其具備：物體保持裝置；和圖案形成裝置，其通過經由被所述物體保持裝置保持的所述物體利用能量束對曝光對象物進行曝光的曝光動作，而將所述物體所具有的圖案形成到所述曝光對象物上。

根據第三方式，提供一種平板顯示器的制造方法，其包括：使用曝光裝置對所述曝光對象物進行曝光；和將曝光后的所述曝光對象物顯影。

根據第四方式，提供一種器件制造方法，其包括：使用曝光裝置對所述曝光對象物進行曝光；和將曝光后的所述曝光對象物顯影。

根據第五方式，提供一種物體保持方法，其使用具備支承部和保持面的物體保持裝置來保持物體，該物體保持方法包括：使用所述支承部從下方支承所述物體；使對由所述支承部支承且因所述物體的自重而撓曲的所述物體的面進行保持的所述保持面以沿著撓曲的所述物體的面的方式可動；和使撓曲的所述物體吸附于所述保持面。

根據第六方式，提供一種曝光方法，其包括：物體保持方法；和通過經由以所述物體保持方法保持的所述物體并利用能量束對曝光對象物進行曝光的曝光動作，而將所述物體所具有的圖案形成到所述曝光對象物上。

根據第七方式，提供一種平板顯示器的制造方法，其包括：使用曝光方法對所述曝光對象物進行曝光；和將曝光后的所述曝光對象物顯影。