[發明專利]物體保持裝置在審
| 申請號： | 202110085216.2 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN112859396A | 公開（公告）日： | 2021-05-28 |
| 發明（設計）人： | 八田澄夫;白澤正裕;木南貴之;五十嵐淑人 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13;G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 陳偉;閆劍平 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物體 保持 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種物體保持裝置，其保持物體，所述物體保持裝置的特征在于，具備：
支承部，其從下方支承所述物體；
保持部，其具有對由所述支承部支承且因所述物體的自重而撓曲的所述物體的面進行保持的保持面，使所述保持面以沿著撓曲的所述物體的面的方式可動并利用所述保持面保持所述物體；和
吸附部，其將撓曲的所述物體吸附于所述保持面。
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