[發(fā)明專利]一種自動下片機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110085109.X
• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN112420581B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 王子龍;李凱杰;陳仁明;李健;武傳龍
• 申請（專利權(quán)）人: 山東元旭光電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 濟南誠智商標專利事務所有限公司 37105
• 代理人: 馬春燕

本發(fā)明屬于晶圓下片技術領域，提供了一種自動下片機，包括機架，機架上設有倍速鏈輸送線、第一載具定位機構(gòu)、自動下螺絲機構(gòu)、第二載具定位機構(gòu)、取放機械臂、蓋板放置臺、晶圓放置臺和載具舉升機構(gòu)；第一載具定位機構(gòu)、第二載具定位機構(gòu)和載具舉升機構(gòu)沿倍速鏈輸送線的輸送方向依次設置，自動下螺絲機構(gòu)與第一載具定位機構(gòu)相對應，取放機械臂、蓋板放置臺與第二載具定位機構(gòu)相對應，取放機械臂工作軸端部設有取放料機構(gòu)，晶圓放置臺位于倍速鏈輸送線出料端，且倍速鏈輸送線出料端還設有載具撥送機構(gòu)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的自動下片，不但下片效率大大提高，且有效避免了在下片過程中意外劃傷晶圓現(xiàn)象的發(fā)生，確保晶圓的質(zhì)量及合格率不受影響。

技術領域

本發(fā)明涉及晶圓下片技術領域，尤其涉及一種自動下片機。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓在生產(chǎn)加工過程中，依據(jù)加工工藝的需求，需要將晶圓排列放置于晶圓料盤內(nèi)，然后將承載有晶圓的整個料盤放入等離子刻蝕機中進行ICP刻蝕加工，ICP刻蝕工藝后，再將晶圓從晶圓料盤內(nèi)依次取出，以便進行后續(xù)的AFM測試等，將晶圓從晶圓料盤內(nèi)取出的這一過程稱為晶圓的下片。

目前，晶圓于料盤內(nèi)的下片操作，通常由人工完成，由于蓋板是通過若干螺釘固定安裝于載片板上的，下片時，需要先將螺釘拆卸下，將蓋板從載片板上取下，然后將晶圓從載片板的容納槽內(nèi)一片一片的取出，晶圓從載片板上取出后，再重新將蓋板蓋合到載片板上，完成晶圓的下片；人工卸螺釘及取晶圓方式，不但勞動強度大，費時費力，下片效率低，且在晶圓取放過程中，因下片操作人員操作不細心等各種主觀原因，易劃傷晶圓，對晶圓造成損傷，會導致晶圓直接報廢或降級處理，直接影響晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量及產(chǎn)品合格率，但目前仍沒有專門用于晶圓下片的自動卸螺釘、取放晶圓的設備。因此，開發(fā)一種自動下片機，不但具有迫切的研究價值，也具有良好的經(jīng)濟效益和工業(yè)應用潛力，這正是本發(fā)明得以完成的動力所在和基礎。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述所指出的現(xiàn)有技術的缺陷，本發(fā)明人對此進行了深入研究，在付出了大量創(chuàng)造性勞動后，從而完成了本發(fā)明。

具體而言，本發(fā)明所要解決的技術問題是：提供一種自動下片機，以解決目前的人工下片方式，卸螺釘及取放晶圓費時費力，下片效率低，且易劃傷晶圓、影響晶圓質(zhì)量的技術問題。

為解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案是：

一種自動下片機，包括機架，所述機架上設有倍速鏈輸送線、第一載具定位機構(gòu)、自動下螺絲機構(gòu)、第二載具定位機構(gòu)、取放機械臂、蓋板放置臺、晶圓放置臺和載具舉升機構(gòu)；所述第一載具定位機構(gòu)、所述第二載具定位機構(gòu)和所述載具舉升機構(gòu)沿所述倍速鏈輸送線的輸送方向依次設置，所述倍速鏈輸送線上設有若干阻擋氣缸，若干所述阻擋氣缸分別于所述第一載具定位機構(gòu)、所述第二載具定位機構(gòu)的前后端設置，所述自動下螺絲機構(gòu)位于所述第一載具定位機構(gòu)的上方，且與所述第一載具定位機構(gòu)相對應，所述取放機械臂和所述蓋板放置臺均位于所述倍速鏈輸送線的一側(cè)，且與所述第二載具定位機構(gòu)相對應，所述取放機械臂的工作軸端部設有用以實現(xiàn)蓋板和晶圓取放的取放料機構(gòu)，所述晶圓放置臺位于所述倍速鏈輸送線的出料端，且所述倍速鏈輸送線的出料端還設有與所述載具舉升機構(gòu)對應設置的載具撥送機構(gòu)。

作為一種改進的技術方案，所述倍速鏈輸送線包括固定安裝于所述機架上的輸送架體，所述輸送架體的一端轉(zhuǎn)動安裝有驅(qū)動電機驅(qū)動的傳動軸，所述傳動軸的兩端分別鍵連接有主動齒輪，所述輸送架體的另一端轉(zhuǎn)動安裝有分別與所述主動齒輪對應設置的從動齒輪，對應設置的所述主動齒輪和所述從動齒輪之間架繞有倍速鏈，且所述主動齒輪和所述從動齒輪通過所述倍速鏈傳動相連。

作為一種改進的技術方案，所述輸送架體的一端固定安裝有電機減速器，所述驅(qū)動電機通過所述電機減速器與所述傳動軸的一端傳動相連。