[發明專利]用于從表面去除薄膜的設備和方法

在審

• 申請號: 202110080089.7
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN113206017A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 郝濟遠;托雷斯·帕特羅西尼奧·小·戈;柯定福;吳鍇;孔孟凱
• 申請（專利權）人: 先進科技新加坡有限公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L21/67
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 艾晶

1.一種用于在對第一模具與第二模具之間的襯底進行模塑之后從模塑系統去除使用過的離型膜的設備，所述模塑系統包括所述第一模具和所述第二模具，在模塑期間，所述襯底與所述使用過的離型膜相接觸，所述設備包括：

夾具組件，當所述第一模具和所述第二模具打開并且所述模塑系統布置為開放式構造時，所述夾具組件能夠在所述模塑系統外部的收縮位置與所述第一模具和所述第二模具之間的空間中的伸展位置之間往復移動；

托架機構，所述夾具組件安裝在所述托架機構上，所述托架機構能夠操作以朝著所述第一模具或所述第二模具移動所述夾具組件，直到所述夾具組件與所述使用過的離型膜相接觸為止；以及

致動器，其驅動所述夾具組件以夾持所述使用過的離型膜的一部分，

其中，所述托架機構還可操作用于在所述夾具組件夾持住所述使用過的離型膜的同時將所述夾具組件從所述第一模具或所述第二模具移開，從而從所述模塑系統去除所述使用過的離型膜。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述夾具組件包括至少一個夾具指狀件，所述至少一個夾具指狀件從所述夾具組件的細長主體延伸，以夾緊所述使用過的離型膜的一部分。

3.根據權利要求2所述的設備，其中，所述至少一個夾具指狀件包括懸臂主體，所述懸臂主體具有附接至所述細長主體的連接端。

4.根據權利要求3所述的設備，其中，所述夾具組件包括第一夾具指狀件和第二夾具指狀件，并且所述懸臂主體被配置為朝著所述第二夾具指狀件移動所述第一夾具指狀件。

5.根據權利要求4所述的設備，其中，所述第一夾具指狀件和所述第二夾具指狀件相互平行地布置，并且當所述第一夾具指狀件朝著所述第二夾具指狀件移動時，保持彼此平行。

6.根據權利要求4所述的設備，其中，所述第二夾具指狀件是固定的，而所述第一夾具指狀件是可移動的。

7.根據權利要求2所述的設備，其中，所述至少一個夾具指狀件還包括彈性尖端，所述彈性尖端位于所述夾具指狀件的自由端處以接觸所述使用過的離型膜。

8.根據權利要求7所述的設備，其中，所述彈性尖端被配置為指向所述第一模具或所述第二模具。

9.根據權利要求8所述的設備，其中，所述彈性尖端可互換地被配置為指向所述第一模具或所述第二模具。

10.根據權利要求7所述的設備，其中，所述彈性尖端具有高摩擦表面紋理。

11.根據權利要求2所述的設備，其中，所述致動器被配置為驅動所述至少一個夾具指狀件移動。

12.根據權利要求11所述的設備，其中，所述致動器包括氣動致動器，所述氣動致動器包括空氣出口，所述空氣出口可操作用于排出空氣，以便所述至少一個夾具指狀件夾持所述使用過的離型膜的一部分。

13.根據權利要求11所述的設備，還包括位于所述夾具指狀件上的傳感器，所述傳感器被配置為檢測所述夾具指狀件是否已經成功夾持所述使用過的離型膜。

14.根據權利要求13所述的設備，其中，所述傳感器還被配置為在所述致動器驅動所述夾具指狀件移動以夾持所述使用過的離型膜之前，檢測所述夾具指狀件是否與所述使用過的離型膜相接觸。