[發明專利]一種金剛石膜氧化硼摻雜方法

在審

• 申請號: 202110079663.7
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN112899644A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 訾蓬;趙小玻;徐金昌;李小安;王傳奇;曹延新;玄真武;楊子萱;王艷蔚
• 申請（專利權）人: 山東欣遠新材料科技有限公司;中材人工晶體研究院（山東）有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/448
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 趙奕

1.一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述方法采用熱絲氣相沉積法制備摻硼金剛石薄膜時，通過在基片平臺的周邊均勻設置若干開口面積相等的容器，將氧化硼粉放置于容器中，在熱絲加熱時同時加熱容器中的氧化硼粉形成高溫氣化，實現摻硼金剛石薄膜的制備。

2.根據權利要求1所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述方法通過設置容器的數量，實現氧化硼摻雜濃度的控制。

3.根據權利要求1或2所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述容器為空心立管，通過設置空心立管的高度，調節氧化硼的溫度，從而調節氧化硼的氣化濃度。

4.根據權利要求3所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述方法實現步驟包括：

1)選擇基片，并對基片進行預處理；

2)在基片平臺周邊均勻設置若干開口面積相等的空心立管

3)在立管內放置氧化硼粉；

4)通電加壓，通入含碳氣體，進入形核和生長過程。

5.根據權利要求3所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述基片的材料為鈦或硅。

6.根據權利要求3所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述預處理過程包括清晰、研磨。

7.根據權利要求3所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述熱絲的材料為鎢或鉭。

8.根據權利要求3所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述含碳氣體為甲烷、甲醇、乙醇或丙酮與氫氣的混合，其中甲烷、甲醇、乙醇或丙酮在氫氣中的濃度為0.1％～2％。

9.根據權利要求3所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述空心立管的數目為3～12，所述空心立管的高度為3～10mm。

10.根據權利要求1或2所述的一種金剛石膜氧化硼摻雜方法，其特征在于，所述容器的開口面積為0.5～2mm²。