[發明專利]一種晶圓表面貼黏膠膜設備

在審

• 申請號: 202110079605.4
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN112916294A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 梁小明
• 申請（專利權）人: 梁小明
• 主分類號: B05C1/02
• 分類號: B05C1/02;B05C13/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓表面貼黏膠膜設備，其結構包括設備箱(1)、減震支座(2)、施工蓋(3)、載物盤(4)、控制鍵(5)，所述設備箱(1)下端與減震支座(2)螺旋連接，所述施工蓋(3)與設備箱(1)上端鉸接連接，所述設備箱(1)表面與載物盤(4)嵌套配合，所述載物盤(4)前端與控制鍵(5)間隙配合，所述施工蓋(3)與減震支座(2)上端間隙配合，其特征在于：

所述設備箱(1)包括粘膠器(11)、減震臺(12)、箱體(13)、施工箱(14)，所述粘膠器(11)與減震臺(12)表面活動配合，所述減震臺(12)下端與箱體(13)內部嵌固連接，所述箱體(13)左側與施工箱(14)側端焊接連接，所述施工箱(14)與粘膠器(11)兩側活動配合。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓表面貼黏膠膜設備，其特征在于：所述粘膠器(11)包括膠輥(111)、滑載塊(112)、輥套(113)、驅動泵(114)、輸送繩(115)、滑軌(116)，所述膠輥(111)與輥套(113)內部嵌套連接，所述輥套(113)頂部與驅動泵(114)螺栓固定，所述驅動泵(114)與輸送繩(115)頂端間隙配合，所述輸送繩(115)與膠輥(111)內部活動配合，所述膠輥(111)兩側與滑載塊(112)嵌套連接，所述滑載塊(112)與滑軌(116)表面滑動配合。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓表面貼黏膠膜設備，其特征在于：所述膠輥(111)包括固定桿(a1)、填膠孔(a2)、輥體(a3)、溢膠條(a4)、撫平塊(a5)，所述固定桿(a1)兩側與填膠孔(a2)嵌套連接，所述填膠孔(a2)與輥體(a3)兩側嵌套連接，所述輥體(a3)表面與撫平塊(a5)嵌套連接，所述撫平塊(a5)兩側與溢膠條(a4)兩側活動配合，所述溢膠條(a4)與輥體(a3)表面嵌固連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓表面貼黏膠膜設備，其特征在于：所述減震臺(12)包括上載板(121)、減壓器(122)、防脫折桿(123)、下支板(124)、支撐座(125)，所述上載板(121)下端與減壓器(122)卡合連接，所述減壓器(122)下端與下支板(124)上端卡合連接，所述下支板(124)兩側與防脫折桿(123)螺栓固定，所述防脫折桿(123)內側與支撐座(125)間隙配合，所述支撐座(125)上端與下支板(124)嵌套連接。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓表面貼黏膠膜設備，其特征在于：所述減壓器(122)包括氣壓囊(b1)、固定盤(b2)、限制塊(b3)、套管(b4)、減震器(b5)，所述氣壓囊(b1)兩側與限制塊(b3)卡合連接，所述限制塊(b3)外端與套管(b4)間隙配合，所述套管(b4)內部與減震器(b5)嵌套連接，所述減震器(b5)與固定盤(b2)內部活動配合。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓表面貼黏膠膜設備，其特征在于：所述減震器(b5)包括拉繩(b51)、卡塊(b52)、擠壓球(b53)、折疊架(b54)、彈簧條(b55)，所述拉繩(b51)兩端與折疊架(b54)嵌固連接，所述折疊架(b54)內壁與卡塊(b52)嵌固連接，所述卡塊(b52)與擠壓球(b53)表面活動卡合，所述擠壓球(b53)與折疊架(b54)表面間隙配合，所述折疊架(b54)外壁與彈簧條(b55)嵌套連接。