[發(fā)明專利]一種電子元件晶元制備方法

在審

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• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN112916458A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任玉成;陳麗麗
• 申請（專利權(quán)）人: 任玉成
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B3/04;B08B13/00;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供了一種電子元件晶元制備方法，其使用了電子元件晶元制備裝置，該裝置包括支撐架、清洗池、清洗機(jī)構(gòu)以及干燥取出機(jī)構(gòu)。可以解決電子元件晶元制備過程中所存在的以下難題：a.電子元件晶元長時間放置時，其表面會沾染需要灰塵和各種細(xì)小的臟物，因此在實(shí)際使用時都要提前對晶元進(jìn)行清洗，確保晶元表面無灰塵和臟物，傳統(tǒng)的清洗方式大多通過清洗箱批量化清洗，這種方式存在表面清洗不干凈，晶元之間存在碰撞現(xiàn)象，容易對晶元表面劃傷；b.目前現(xiàn)有的清潔裝置針對單個晶元清洗時，往往對晶元進(jìn)行夾持固定，然后對表面進(jìn)行刷洗，存在夾持部位無法清洗，同時夾持時會對晶元表面有所損傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子元件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種電子元件晶元制備方法。

背景技術(shù)

晶元是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片。單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元。晶元是最常用的半導(dǎo)體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格，近來發(fā)展出12英寸甚至研發(fā)更大規(guī)格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶元越大，同一圓片上可生產(chǎn)的IC就越多，可降低成本；但要求材料技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù)更高。

目前，電子元件晶元制備過程中所存在的以下難題：a.電子元件晶元長時間放置時，其表面會沾染需要灰塵和各種細(xì)小的臟物，因此在實(shí)際使用時都要提前對晶元進(jìn)行清洗，確保晶元表面無灰塵和臟物，傳統(tǒng)的清洗方式大多通過清洗箱批量化清洗，這種方式存在表面清洗不干凈，晶元之間存在碰撞現(xiàn)象，容易對晶元表面劃傷；b.目前現(xiàn)有的清潔裝置針對單個晶元清洗時，往往對晶元進(jìn)行夾持固定，然后對表面進(jìn)行刷洗，存在夾持部位無法清洗，同時夾持時會對晶元表面有所損傷。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明提供了一種電子元件晶元制備方法，可以解決電子元件晶元制備過程中所存在的以下難題：a.電子元件晶元長時間放置時，其表面會沾染需要灰塵和各種細(xì)小的臟物，因此在實(shí)際使用時都要提前對晶元進(jìn)行清洗，確保晶元表面無灰塵和臟物，傳統(tǒng)的清洗方式大多通過清洗箱批量化清洗，這種方式存在表面清洗不干凈，晶元之間存在碰撞現(xiàn)象，容易對晶元表面劃傷；b.目前現(xiàn)有的清潔裝置針對單個晶元清洗時，往往對晶元進(jìn)行夾持固定，然后對表面進(jìn)行刷洗，存在夾持部位無法清洗，同時夾持時會對晶元表面有所損傷。

(二)技術(shù)方案

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種電子元件晶元制備方法，其使用了電子元件晶元制備裝置，該裝置包括支撐架、清洗池、清洗機(jī)構(gòu)以及干燥取出機(jī)構(gòu)，采用上述電子元件晶元制備裝置作業(yè)時具體方法如下：

S1、裝置檢查：在啟用電子元件晶元制備裝置之前對裝置運(yùn)行進(jìn)行檢查；

S2、放置晶元：將待清潔的晶元放入到清洗機(jī)構(gòu)中，然后通過干燥取出機(jī)構(gòu)將清洗機(jī)構(gòu)放入到清洗池中，然后通過清洗機(jī)構(gòu)對晶元表面進(jìn)行清洗；

S3、干燥取出：清洗完成后，通過干燥取出機(jī)構(gòu)先對晶元進(jìn)行干燥處理，然后取出晶元；

S4、重復(fù)操作：完成一個晶元清洗干燥取出后，將新的待清潔晶元放入到清洗機(jī)構(gòu)中，重復(fù)S2、S3步驟；

所述的清洗池固定安裝在支撐架底部，所述清洗池中盛放有清洗液，所述清洗池上方設(shè)置有清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗池上方設(shè)置有干燥取出機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)與干燥取出機(jī)構(gòu)相連接，所述干燥取出機(jī)構(gòu)固定安裝在支撐架的頂部和中部；其中：