[發(fā)明專利]一種電子元件晶元制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110079396.3
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN112916458A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 任玉成;陳麗麗
• 申請（專利權(quán)）人: 任玉成
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B3/04;B08B13/00;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67
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1.一種電子元件晶元制備方法，其使用了電子元件晶元制備裝置，該裝置包括支撐架(1)、清洗池(2)、清洗機構(gòu)(3)以及干燥取出機構(gòu)(4)，其特征在于：采用上述電子元件晶元制備裝置作業(yè)時具體方法如下：

S1、裝置檢查：在啟用電子元件晶元制備裝置之前對裝置運行進行檢查；

S2、放置晶元：將待清潔的晶元放入到清洗機構(gòu)(3)中，然后通過干燥取出機構(gòu)(4)將清洗機構(gòu)(3)放入到清洗池(2)中，然后通過清洗機構(gòu)(3)對晶元表面進行清洗；

S3、干燥取出：清洗完成后，通過干燥取出機構(gòu)(4)先對晶元進行干燥處理，然后取出晶元；

S4、重復(fù)操作：完成一個晶元清洗干燥取出后，將新的待清潔晶元放入到清洗機構(gòu)(3)中，重復(fù)S2、S3步驟；

所述的清洗池(2)固定安裝在支撐架(1)底部，所述清洗池(2)中盛放有清洗液，所述清洗池(2)上方設(shè)置有清洗機構(gòu)(3)，所述清洗池(2)上方設(shè)置有干燥取出機構(gòu)(4)，所述清洗機構(gòu)(3)與干燥取出機構(gòu)(4)相連接，所述干燥取出機構(gòu)(4)固定安裝在支撐架(1)的頂部和中部；其中：

所述的清洗機構(gòu)(3)包括清洗框(31)、滑動槽(32)、滑動塊(33)、輔助桿(34)、清洗支鏈(35)、海綿碗(36)、環(huán)形架(37)、支撐塊(38)、支撐桿(39)以及轉(zhuǎn)動軸(30)，所述清洗框(31)整體為上下開口的空心殼體結(jié)構(gòu)，所述清洗框(31)左右側(cè)壁開設(shè)有對稱的滑動槽(32)，所述滑動槽(32)內(nèi)上下滑動設(shè)置有滑動塊(33)，所述滑動塊(33)遠離清洗框(31)的端面固定安裝有輔助桿(34)，所述輔助桿(34)與清洗支鏈(35)相連接，所述清洗支鏈(35)安裝在清洗框(31)后端面，所述清洗框(31)內(nèi)部設(shè)置有環(huán)形架(37)，所述環(huán)形架(37)為半圓形碗狀結(jié)構(gòu)，所述環(huán)形架(37)內(nèi)壁上設(shè)置有海綿碗(36)，所述海綿碗(36)為海綿材料制作，所述環(huán)形架(37)下方設(shè)置有支撐塊(38)，所述支撐塊(38)為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述環(huán)形架(37)下端與支撐塊(38)上端面滑動配合，所述支撐塊(38)通過支撐桿(39)固定安裝在清洗框(31)內(nèi)壁上，所述環(huán)形架(37)上端前后壁上對稱固定有轉(zhuǎn)動軸(30)，所述轉(zhuǎn)動軸(30)通過軸承固定在清洗框(31)內(nèi)壁上，所述滑動塊(33)位于清洗框(31)內(nèi)部的端面上開設(shè)有平面齒條，所述環(huán)形架(37)外壁上開設(shè)有與滑動塊(33)的平面齒條相配合的環(huán)形齒條；

所述的干燥取出機構(gòu)(4)包括烘干箱(41)、吹風孔(42)、風箱(43)、阻風棉(44)、連接管(45)、熱風機(46)、升降支鏈(47)、驅(qū)動支鏈(48)、吸附組件(49)、安裝箱(410)、升降絲桿(411)、轉(zhuǎn)動塊(412)、固定環(huán)(413)、限位塊(414)以及固定塊(415)，所述清洗框(31)上方設(shè)置有烘干箱(41)，所述烘干箱(41)整體為上下開口的空心殼體結(jié)構(gòu)，所述烘干箱(41)外側(cè)壁上均勻開設(shè)有若干吹風孔(42)，所述烘干箱(41)外壁固定有風箱(43)，所述風箱(43)為內(nèi)部空心的殼體結(jié)構(gòu)，所述風箱(43)上端連通有連接管(45)，所述連接管(45)另一端連通在熱風機(46)上，所述熱風機(46)安裝在風箱(43)外側(cè)壁上，所述風箱(43)通過固定塊(415)固定焊接在支撐架(1)上，所述固定塊(415)下端面設(shè)置有升降支鏈(47)，所述烘干箱(41)上端口設(shè)置有多個阻風棉(44)，多個所述阻風棉(44)將烘干箱(41)上端口封閉住，所述烘干箱(41)上方設(shè)置有安裝箱(410)，所述安裝箱(410)固定焊接在支撐架(1)上，所述安裝箱(410)為空心殼體結(jié)構(gòu)，所述安裝箱(410)上下端開設(shè)有圓孔，所述安裝箱(410)通過圓孔滑動安裝有足夠長的升降絲桿(411)，所述升降絲桿(411)上端固定有限位塊(414)，所述升降絲桿(411)下端連接有吸附組件(49)，所述升降絲桿(411)外側(cè)壁上設(shè)置有外螺紋，所述升降絲桿(411)通過螺紋配合方式套設(shè)有轉(zhuǎn)動塊(412)，所述轉(zhuǎn)動塊(412)設(shè)置在安裝箱(410)內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)動塊(412)下端面轉(zhuǎn)動安裝有固定環(huán)(413)，所述固定環(huán)(413)固定安裝在安裝箱(410)內(nèi)部下端面，所述轉(zhuǎn)動塊(412)外側(cè)壁上開設(shè)有齒條，所述轉(zhuǎn)動塊(412)通過齒條與驅(qū)動支鏈(48)相連接。