[發明專利]機械手的旋轉調節機構及搬運機械手

有效

• 申請號: 202110078627.9
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112875281B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 靳衛國;劉洋;楊志
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張延薇

1.一種機械手的旋轉調節機構，其特征在于，包括機械手旋轉部、旋轉板、第一驅動組件、第二驅動組件和轉軸，所述轉軸與所述旋轉板轉動連接，所述旋轉板與所述機械手旋轉部連接，所述第一驅動組件用于驅動所述轉軸沿第一方向移動，所述第二驅動組件用于驅動所述轉軸沿第二方向運動，所述第一方向與所述第二方向呈角度設置；所述轉軸的移動軌跡位于一圓形軌跡上，所述圓形軌跡的圓心位于所述機械手的旋轉部的軸線上；

所述第一驅動組件包括固定板及驅動座，所述固定板上沿第一方向設置有第二導軌；第二驅動組件包括第一導軌板、第一導軌及調整塊，第一導軌沿第二方向固定于第一導軌板，第一導軌板與驅動座連接，調整塊與第一導軌滑動配合安裝；所述驅動座或第一導軌板滑動裝配于第二導軌；

所述固定板上安裝有支撐凸塊，支撐凸塊上設置有觸發開關，在第一導軌板上設置有開關觸發板；

所述第一驅動組件包括第一驅動器，所述第一驅動器用于驅使所述驅動座沿第一方向移動，所述第二驅動組件安裝于所述驅動座，所述第二驅動組件與所述轉軸轉動連接；

所述第一驅動器為電機，所述第一驅動組件還包括絲杠和絲杠母座，所述電機和所述絲杠母座均安裝于所述固定板，所述絲杠的一端與所述電機的輸出軸連接，另一端轉動連接于所述絲杠母座，所述驅動座套設于所述絲杠，且所述驅動座與所述絲杠螺紋連接；

絲杠與電機的輸出軸之間通過聯軸器連接，固定板與旋轉板之間通過交叉滾珠軸環相轉動連接，交叉滾珠軸環包括相轉動連接的軸環內圈和軸環外圈，旋轉板與軸環內圈連接，固定板與軸環外圈連接；

固定板的板面尺寸大于旋轉板的板面尺寸，旋轉板可相對于固定板轉動，旋轉板為矩形板，在固定板上設置有限位塊，限位塊用于限定旋轉板的轉動角度。

2.根據權利要求1所述的機械手的旋轉調節機構，其特征在于，所述第一方向與所述第二方向垂直。

3.根據權利要求1所述的機械手的旋轉調節機構，其特征在于，所述機械手旋轉部為滾珠花鍵軸，所述滾珠花鍵軸通過花鍵襯套與所述旋轉板固定連接。

4.根據權利要求1所述的機械手的旋轉調節機構，其特征在于，所述第二驅動組件包括第二驅動器，所述第二驅動器與所述驅動座固定連接，所述調整塊與所述轉軸轉動連接，所述第二驅動器用于驅動所述調整塊沿第二方向移動。

5.根據權利要求1所述的機械手的旋轉調節機構，其特征在于，所述第一驅動組件還包括減速機，所述第一驅動器通過所述減速機與所述絲杠連接。

6.根據權利要求1所述的機械手的旋轉調節機構，其特征在于，所述旋轉板安裝有軸承座，所述軸承座安裝有軸承，所述轉軸通過所述軸承與所述旋轉板轉動連接。

7.一種搬運機械手，其特征在于，其包括吸附臺和如權利要求1-6任一所述的機械手的旋轉調節機構，所述機械手旋轉部與所述吸附臺連接。