[發明專利]激光加工設備的故障診斷方法

在審

• 申請號: 202110078543.5
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112926824A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 李曼;侯煜;王然;岳嵩;石海燕;張昆鵬;張喆;薛美;張紫辰
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06
• 代理公司: 北京蘭亭信通知識產權代理有限公司 11667
• 代理人: 陳曉瑜

本發明提供一種激光加工設備的故障診斷方法，包括：獲取設備當前的異常報警信息，并確定所述異常報警信息的報警分數；依據所述異常報警信息，確定多個對應所述異常報警信息的待篩查部件；依據所述待篩查部件，確定多個對應所述待篩查部件的待篩查故障；依據所述待篩查故障和所述報警分數，確定每個部件的影響因子；依據所述影響因子，確定引起所述異常報警信息的故障部件。本發明提供的技術方案能夠準確定位設備異常，精確判斷設備運行情況，定位引發設備異常的原因。

技術領域

本發明涉及激光加工設備技術領域，尤其涉及一種激光加工設備的故障診斷方法。

背景技術

目前常用的激光加工設備的故障診斷方法，首先根據硬件架構設計，采集所有硬件IO信號和模擬量信號進行數據搜集，通過故障診斷系統進行監測數據分析是否異常，識別當前設備運行狀況，對異常信息制定報警等級。在設備出現故障情況時，維護人員需要手動一一進行排查，并根據排查結果確定導致設備故障的原因。

在實際的工程問題上，特別是結構復雜、作業高效的激光加工設備，僅僅做單部件或單模塊的運行參數診斷異常，這一層面完全不能達到準確定位異常原因并快速確定恢復手段的目的。當故障源沒有電信號或當多部件關聯故障發生時，將無法準確判斷定位引發異常的原因。以至于無法采取正確的糾正措施，造成了產品在使用過程中故障反復出現，從而降低了產品的可靠性。

發明內容

本發明提供的激光加工設備的故障診斷方法，能夠準確定位設備異常，精確判斷設備運行情況，定位引發設備異常的原因。

本發明提供一種激光加工設備的故障診斷方法，包括：

獲取設備當前的異常報警信息，并確定所述異常報警信息的報警分數；

依據所述異常報警信息，確定多個對應所述異常報警信息的待篩查部件；

依據所述待篩查部件，確定多個對應所述待篩查部件的待篩查故障；

依據所述待篩查故障和所述報警分數，確定每個部件的影響因子；

依據所述影響因子，確定引起所述異常報警信息的故障部件。

可選地，依據所述待篩查部件，確定多個對應所述待篩查部件的待篩查故障包括：

確定每個待篩查部件對應的多個可觸發故障；

依據設備運行參數，確定多個可觸發故障中的無效故障；

排除多個可觸發故障中的無效故障，將剩余的可觸發故障確定為待篩查故障。

可選地，依據所述待篩查故障和所述報警分數，確定每個部件的影響因子包括：

對每個待篩查部件的多個待篩查故障進行風險分析，以得到每個待篩查故障的第一風險參數；

依據所述風險參數和所述報警分數，確定所述待篩查故障的第二風險參數；

依據所述待篩查部件對應的多個第二風險參數，確定所述待篩查部件的影響因子。

可選地，對每個待篩查部件的多個待篩查故障進行風險分析包括：

獲取所述待篩查故障的嚴重程度、故障頻度以及探測度；

獲取與所述嚴重程度、故障頻度以及探測度對應的權重值；

對所述嚴重程度、故障頻度以及探測度采用對應的權重值進行加權，以得到所述第一風險參數。

可選地，依據所述影響因子，確定引起所述異常報警信息的故障部件之后還包括：對所述故障部件的對應故障的頻度參數進行更新并存儲。