[發(fā)明專利]激光加工設備的故障診斷方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110078543.5
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112926824A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設計）人: 李曼;侯煜;王然;岳嵩;石海燕;張昆鵬;張喆;薛美;張紫辰
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06
• 代理公司: 北京蘭亭信通知識產(chǎn)權代理有限公司 11667
• 代理人: 陳曉瑜

1.一種激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，包括：

獲取設備當前的異常報警信息，并確定所述異常報警信息的報警分數(shù)；

依據(jù)所述異常報警信息，確定多個對應所述異常報警信息的待篩查部件；

依據(jù)所述待篩查部件，確定多個對應所述待篩查部件的待篩查故障；

依據(jù)所述待篩查故障和所述報警分數(shù)，確定每個部件的影響因子；

依據(jù)所述影響因子，確定引起所述異常報警信息的故障部件。

2.根據(jù)權利要求1所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，依據(jù)所述待篩查部件，確定多個對應所述待篩查部件的待篩查故障包括：

確定每個待篩查部件對應的多個可觸發(fā)故障；

依據(jù)設備運行參數(shù)，確定多個可觸發(fā)故障中的無效故障；

排除多個可觸發(fā)故障中的無效故障，將剩余的可觸發(fā)故障確定為待篩查故障。

3.根據(jù)權利要求1所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，依據(jù)所述待篩查故障和所述報警分數(shù)，確定每個部件的影響因子包括：

對每個待篩查部件的多個待篩查故障進行風險分析，以得到每個待篩查故障的第一風險參數(shù)；

依據(jù)所述風險參數(shù)和所述報警分數(shù)，確定所述待篩查故障的第二風險參數(shù)；

依據(jù)所述待篩查部件對應的多個第二風險參數(shù)，確定所述待篩查部件的影響因子。

4.根據(jù)權利要求3所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，對每個待篩查部件的多個待篩查故障進行風險分析包括：

獲取所述待篩查故障的嚴重程度、故障頻度以及探測度；

獲取與所述嚴重程度、故障頻度以及探測度對應的權重值；

對所述嚴重程度、故障頻度以及探測度采用對應的權重值進行加權，以得到所述第一風險參數(shù)。

5.根據(jù)權利要求4所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，依據(jù)所述影響因子，確定引起所述異常報警信息的故障部件之后還包括：對所述故障部件的對應故障的頻度參數(shù)進行更新并存儲。

6.根據(jù)權利要求3所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，依據(jù)所述待篩查部件對應的多個第二風險參數(shù)，確定所述待篩查部件的影響因子包括：對所述待篩查部件對應的多個第二風險參數(shù)進行求和，并將求和結果作為所述待篩查部件的影響因子。

7.根據(jù)權利要求1所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，依據(jù)所述影響因子，確定引起所述異常報警信息的故障部件包括：

將多個待篩查部件按照影響因子由高到低的順序進行排序；

依次篩查多個待篩查部件，并確定引起所述異常報警信息的故障部件。

8.根據(jù)權利要求7所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，將多個待篩查部件按照影響因子由高到低的順序進行排序之前還包括：將多個待篩查部件的影響因子進行歸一化處理。

9.根據(jù)權利要求1所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，獲取設備當前的異常報警信息包括：

將所述激光加工設備按照功能劃分為多級樹狀結構；

依據(jù)異常報警信息的上報路徑，反向逐級確定發(fā)出異常報警信息的報警部件以及異常報警信息。

10.根據(jù)權利要求1所述激光加工設備的故障診斷方法，其特征在于，確定所述異常報警信息的報警分數(shù)包括：依據(jù)所述異常報警信息的目標結果，確定所述異常報警信息的報警分數(shù)。