[發明專利]一種硅片清洗方法

有效

• 申請號: 202110072089.2
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112387647B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;周志勇
• 申請（專利權）人: 常州江蘇大學工程技術研究院;江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B5/14
• 代理公司: 蕪湖市昌強專利代理事務所(特殊普通合伙) 34203
• 代理人: 張宇江

1.一種硅片清洗方法，其特征在于，包括：

清洗池和能夠沉入清洗池的花籃主體；花籃主體包括兩平行設置的端板，分別與兩端板固定連接的三個齒桿，三個齒桿排列成“L”形，齒桿上均布有若干夾緊齒；兩端板之間還設置有分別與三個齒桿一一對應的三個支撐桿，三個支撐桿排列成與三個齒桿相對的“L”形，端板位于支撐桿的位置處分別開設有一向斜下方延伸的滑動槽，且滑動槽的端部固定連接有與支撐桿接觸連接的撐開彈簧，支撐桿的兩端分別穿過兩端板；清洗池的兩短邊內側壁分別設置有一推塊，且清洗池的池底設置有與池底的短邊平行的滑軌，推塊具有一階梯形推動面，推動面能夠同時與三個支撐桿接觸；端板能夠插入清洗池并沿滑軌滑動；

將硅片依次插入齒桿上相鄰兩夾緊齒之間，以使硅片支撐在各支撐桿上；

將安裝好硅片后的花籃主體放至清洗池的池底；

推動端板沿滑軌向推塊滑動至三個支撐桿分別與推動面接觸后，打開噴淋；

繼續推動端板使得推塊推動支撐桿沿滑動槽由高處滑動至低處，并壓縮撐開彈簧，以使硅片向支撐桿跌落并露出硅片與夾緊齒夾緊的區域；

松開端板，撐開彈簧回彈，支撐桿推動各硅片整齊插回各夾緊齒之間。

2.如權利要求1的一種硅片清洗方法，其特征在于，

在花籃主體放至清洗池的池底后，通過推動電機實現端板的推動；

在硅片清洗完成后，通過推動電機實現端板的松開。

3.如權利要求2的一種硅片清洗方法，其特征在于，

在三個支撐桿分別與推動面接觸后，通過噴頭噴出清洗液以噴淋硅片。

4.如權利要求3的一種硅片清洗方法，其特征在于，

兩端板之間轉動連接有一安裝板，安裝板的底部排列有若干等間距分布的刮板，且刮板的寬度等于相鄰兩硅片之間的距離，刮板與安裝板之間通過恢復彈簧連接，刮板的頂壁開設有集水槽；

在花籃主體置于清洗池的池底后，在兩端板之間安裝安裝板；

在噴頭打開后，將安裝板轉動至蓋合在硅片上；

噴頭噴出的清洗液收集在集水槽內并壓迫刮板分別刮除兩側硅片表面的污漬。

5.如權利要求4的一種硅片清洗方法，其特征在于，

刮板的頂部鏡像設置有兩刮條，且刮板的底部鏡像設置有兩刷頭；

集水槽內收集足夠清洗液后，刮板下降，通過刷頭貼合硅片表面并刷除硅片表面的污漬；

集水槽內的清洗液排空后，刮板上升，通過刮條貼合硅片表面并刮除硅片表面的水漬。

6.如權利要求5的一種硅片清洗方法，其特征在于，

在關閉噴頭后，通過溢水孔排空集水槽內的清洗液。

7.如權利要求6的一種硅片清洗方法，其特征在于，

刮板的頂壁開設有兩鏡像設置的疏水槽，且疏水槽位于刮條與集水槽之間；

刮條刮除硅片表面的水漬后，通過刮條將清洗液導入疏水槽內；

再通過疏水槽將清洗液從刮板的兩側排出。

8.如權利要求7的一種硅片清洗方法，其特征在于，

兩端板的相對側壁分別對應設置有一轉軸，轉軸位于頂部的支撐桿上方，且轉軸能夠插接轉動一聯動片，聯動片延伸至頂部的支撐桿兩側；兩端板的相對側壁分別對應設置有一第一限位塊，第一限位塊與轉軸等高；兩端板的相對側壁還分別對應設置一第二限位塊，第二限位塊位于轉軸的斜上方，且轉軸位于第一限位塊和第二限位塊之間；

在花籃主體放至清洗池的池底后，通過聯動片插入轉軸，以使安裝板轉動；

在安裝板打開后，通過第二限位塊支撐安裝板；

在安裝板蓋合在硅片上后，通過第一限位塊支撐安裝板。

9.如權利要求8的一種硅片清洗方法，其特征在于，

聯動片包括一扇形的插接片和固定在插接片兩端的擋板，插接片的弧心角大于180°，插接片與轉軸相適配，且兩擋板延伸至頂部的支撐桿兩側；

支撐桿沿滑動槽由高處向低處滑動時，支撐桿推動右側的擋板，以使安裝板蓋合在硅片上；

支撐桿沿滑動槽由低處向高處滑動時，支撐桿推動左側的擋板，以使安裝板打開。