[發明專利]一種蒸發源裝置和蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202110070752.5
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112899621B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 晉亞杰;劉金彪;肖昂;羅楠;胡斌;加新星;劉文豪;李靖;李元星;姬磊;徐天宇;周杰;蘭代江;朱伍權;黨博譚;陳熙;譚志煒;龍燕;李端瑞;王強;高俊
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/56
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 張磊

本發明公開一種蒸發源裝置，包括：坩堝，用于容納蒸鍍材料，所述坩堝的頂面設有用于輸出所述蒸鍍材料的噴嘴；以及第一殼體，用于容納所述坩堝，所述第一殼體具有平行于所述坩堝的頂面的兩個表面，其中靠近噴嘴的表面設有角度板，角度板的面積最大的表面與第一殼體的平行于坩堝的頂面的兩個表面相垂直，用于限制所述蒸鍍材料的蒸鍍角，在第一殼體的未設置所述角度板的表面開設有活動門，通過開啟所述活動門，所述坩堝能夠移動到所述第一殼體的外側。本發明的蒸發源裝置在遠離角度板處設置活動門，通過開啟活動門將坩堝移入或移出殼體，從而實現無需拆卸角度板即可更換坩堝，避免了拆裝角度板時的污染問題，降低了清潔角度板的清洗成本。

技術領域

本發明涉及OLED顯示技術領域。更具體地，涉及一種用于OLED蒸鍍工藝的蒸發源裝置。

背景技術

有機電致發光器件(OrganicLight-EmittingDiode，以下簡稱：OLED)的典型結構是在ITO玻璃上制作一層幾十納米厚的發光材料——也就是人們通常所說OLED屏幕像素自發光材料，發光層上方有一層金屬電極，電極加電壓，發光層產生光輻射，目前常采用蒸鍍工藝在ITO玻璃上形成發光層。

蒸鍍就是真空中通過電流加熱，電子束轟擊加熱和激光加熱等方法，使有機發光材料蒸發成原子或分子，它們隨即以較大的自由程作直線運動，碰撞基片表面而凝結，形成發光層薄膜。其中蒸發源是加熱有機發光材料使其蒸發的裝置，現有的蒸發源，其頂部的蓋板上設有用來控制蒸發角度的角度版，在將坩堝取出更換時，必須先要拆除角度板和蓋板，才能將坩堝從蒸發源的上方取出，之后將角度板及蓋板等相關部件再次安裝在蒸發源頂部，整個過程繁瑣、耗時久。拆下的角度板因被前次蒸鍍已經附著上了有機發光材料，若再次進行拆裝動作就會產生對產品的污染，因此，拆過的角度板相關部件需要進行清洗，產生巨大清洗費。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于OLED蒸鍍工藝的蒸發源裝置，該蒸發源裝置在更換坩堝時，無需拆卸位于蒸發源裝置上的角度板。

根據本發明的一個方面，提供了一種蒸發源裝置，包括：

坩堝，用于容納蒸鍍材料，所述坩堝的頂面設有用于輸出所述蒸鍍材料的噴嘴；以及

第一殼體，用于容納所述坩堝，所述第一殼體具有平行于所述坩堝的頂面的兩個表面，其中靠近所述噴嘴的表面設有角度板，所述角度板的面積最大的表面與所述第一殼體的平行于所述坩堝的頂面的兩個表面相垂直，用于限制所述蒸鍍材料的蒸鍍角，在所述第一殼體的未設置所述角度板的表面開設有活動門，通過開啟所述活動門，所述坩堝能夠移動到所述第一殼體的外側。

優選地，所述角度板設置在所述第一殼體的頂面，所述第一殼體的一側壁與所述第一殼體可開合連接形成活動門。

優選地，所述活動門連接有一底板，所述坩堝放置于所述底板上，并能夠隨所述底板滑入或滑出所述第一殼體。

優選地，所述底板通過滑軌與所述第一殼體滑動連接。

優選地，所述底板與第一殼體之間還設有直線往復驅動裝置，所述直線往復驅動裝置能夠驅動所述底板沿所述滑軌往復移動。

優選地，所述直線往復驅動裝置為齒輪齒條機構，所述齒輪齒條機構包括設置在所述底板上的齒條，以及與所述第一殼體連接的電機，所述電機輸出軸連接有齒輪，通過所述齒輪與齒條的配合驅動所述底板滑動。

優選地，所述第一殼體內設有隔板，所述隔板將所述第一殼體內的收容空間分隔成第一收容空間和第二收容空間，所述坩堝位于第一收容空間內，所述電機位于所述第二收容空間內。

優選地，所述底板上設有加熱部件，所述加熱部件環繞所述坩堝布置，并與坩堝的側壁之間具有間隙，所述蒸發源裝置還包括設置在所述第一殼體和/或所述底板上的對位裝置，所述對位裝置被配置為能夠推動所述坩堝，使所述坩堝位于所述加熱部件的中央。