[發明專利]一種蒸發源裝置和蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202110070752.5
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112899621B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 晉亞杰;劉金彪;肖昂;羅楠;胡斌;加新星;劉文豪;李靖;李元星;姬磊;徐天宇;周杰;蘭代江;朱伍權;黨博譚;陳熙;譚志煒;龍燕;李端瑞;王強;高俊
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/56
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 張磊

1.一種蒸發源裝置，其特征在于，包括：

坩堝，用于容納蒸鍍材料，所述坩堝的頂面設有用于輸出所述蒸鍍材料的噴嘴，所述坩堝的外側表面設有凹槽；以及

第一殼體，用于容納所述坩堝，所述第一殼體具有平行于所述坩堝的頂面的兩個表面，其中靠近所述噴嘴的表面設有角度板，所述角度板的面積最大的表面與所述第一殼體的平行于所述坩堝的頂面的兩個表面相垂直，用于限制所述蒸鍍材料的蒸鍍角，在所述第一殼體的未設置所述角度板的表面開設有活動門，通過開啟所述活動門，所述坩堝能夠移動到所述第一殼體的外側，所述角度板設置在所述第一殼體的頂面，所述第一殼體的一側壁與所述第一殼體可開合連接形成活動門，所述活動門連接有一底板，所述坩堝放置于所述底板上，并能夠隨所述底板滑入或滑出所述第一殼體，所述底板上設有加熱部件，所述加熱部件環繞所述坩堝布置，并與坩堝的側壁之間具有間隙，所述底板設有多個與所述凹槽對應的定位柱，以使盛裝有不同蒸鍍材料的所述坩堝位于對應的所述加熱部件處。

2.根據權利要求1所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述底板通過滑軌與所述第一殼體滑動連接。

3.根據權利要求2所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述底板與第一殼體之間還設有直線往復驅動裝置，所述直線往復驅動裝置能夠驅動所述底板沿所述滑軌往復移動。

4.根據權利要求3所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述直線往復驅動裝置為齒輪齒條機構，所述齒輪齒條機構包括設置在所述底板上的齒條，以及與所述第一殼體連接的電機，所述電機輸出軸連接有齒輪，通過所述齒輪與齒條的配合驅動所述底板滑動。

5.根據權利要求4所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述第一殼體內設有隔板，所述隔板將所述第一殼體內的收容空間分隔成第一收容空間和第二收容空間，所述坩堝位于第一收容空間內，所述電機位于所述第二收容空間內。

6.根據權利要求1所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述蒸發源裝置還包括設置在所述第一殼體和/或所述底板上的對位裝置，所述對位裝置被配置為能夠推動所述坩堝，使所述坩堝位于所述加熱部件的中央。

7.根據權利要求6所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述對位裝置為至少兩個設置在所述坩堝相對側的并能夠推動所述坩堝移動的氣缸。

8.根據權利要求7所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述第一殼體還連接有用于收容所述氣缸的第二殼體，所述氣缸的自由端能夠穿過所述第二殼體的側壁與所述坩堝的側壁抵接。

9.根據權利要求1所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述底板上還設有環繞所述加熱部件的隔熱板，所述隔熱板設有多個朝向所述坩堝方向延伸的定位柱，所述坩堝的外側表面開設有與所述定位柱對應的凹槽，所述定位柱的端部位于所述凹槽內。

10.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的蒸發源裝置。