[發明專利]一種條形靶材組件的厚度評價方法在審
| 申請號： | 202110070733.2 | 申請日： | 2021-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN112923878A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;陳文慶 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B17/02 | 分類號： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 條形 組件 厚度 評價 方法 | ||
1.一種條形靶材組件的厚度評價方法，其特征在于，所述厚度評價方法包括：在條形靶材組件的濺射面測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設值，則所述條形靶材組件合格；
所述測試位點分布在沿條形靶材與靶材長邊平行的直線上，所述直線從一個寬邊延伸到另一個寬邊，所述直線至少分布3條，每條直線上分布5-8個檢測點。
2.如權利要求1所述的厚度評價方法，其特征在于，所述條形靶材組件包括條形鉬靶材組件。
3.如權利要求1或2所述的厚度評價方法，其特征在于，所述直線等間距分布。
4.如權利要求1-3任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述直線分布4-7條。
5.如權利要求1-4任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述每條直線上分布6個檢測點。
6.如權利要求1-5任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述檢測點在直線上等間距分布。
7.如權利要求1-6任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述條形靶材組件中濺射面的長度≥300mm。
8.如權利要求1-7任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述厚度測量中濺射面的溫度≤60℃。
9.如權利要求1-8任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述預設值≥8cm。
10.如權利要求1-9任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述厚度評價方法包括：在條形靶材組件的濺射面測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設值，則所述條形靶材組件合格；
所述測試位點分布在沿條形靶材與靶材長邊平行的直線上，所述直線從一個寬邊延伸到另一個寬邊，所述直線分布4-7條，每條直線上分布5-8個檢測點；
所述直線等間距分布，所述檢測點在直線上等間距分布，所述條形靶材組件包括條形鉬靶材組件。
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