[發(fā)明專利]一種條形靶材組件的厚度評價方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110070733.2
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112923878A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;陳文慶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B17/02
• 分類號: G01B17/02
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發(fā)明涉及一種條形靶材組件的厚度評價方法，所述厚度評價方法包括：在條形靶材組件的濺射面測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各條測試位點的厚度值≥預設值，則所述條形靶材組件合格；所述測試位點分布在沿條形靶材與靶材長邊平行的直線上，所述直線從一個寬邊延伸到另一個寬邊，所述直線至少分布3條，每條直線上分布5?8個檢測點。本發(fā)明提供的方案，通過選擇合適的位點個數(shù)，測定特定的測試點處靶材的厚度，與預設值相對比，實現(xiàn)了條形靶材組件厚度的精準把控，可以保證靶材在濺射過程中不被擊穿，顯著地提高了濺射過程中的作業(yè)效率，可以有效地提高產品的良品率。

技術領域

本發(fā)明涉及靶材領域，具體涉及一種條形靶材組件的厚度評價方法。

背景技術

靶材作為濺射鍍膜的濺射源，常用的靶材有多種，如鈦靶材、鋁靶材和鉬靶材等。常見的條形靶材主要的條形鉬靶。

如CN108950494A公開了一種長條形鉬靶材的制作方法，包括如下步驟：混料、冷等靜壓、燒結、熱軋、退火、裁切、機加工，得到多條長條形鉬靶。本發(fā)明的長條形鉬靶材的制作方法采用提高坯料單重，一次熱軋出一塊大板，然后分割成多塊長條形鉬靶材，大大提高了生產效率，使得靶材與靶材之間的一致性較好，成品率高，節(jié)省原材料，保證了產品的質量。CN1386879A公開了一種鋁合金靶材的制造技術，它能夠容易地使鋁母相中的鋁-碳相無大的偏析，微細析出。在該鋁中含碳的鋁系合金靶材的制造方法中,將鋁投入碳坩堝中，加熱至1600-2500℃，將鋁熔化，在碳坩堝中生成鋁-碳合金，使該熔液冷卻凝固，由此形成鋁-碳相均勻微細地分散在鋁母相中的鋁-碳合金。或者，將該鋁-碳合金再熔化，加入鎂等添加元素，攪拌后進行鑄造。

CN102922225A公開了一種鉬靶材的制備方法，該方法是將鉬錠經加熱擠壓，加熱鍛造和加熱軋制后校平，再根據(jù)成品尺寸下料、銑削和表面處理得到鉬靶材。通過本發(fā)明的制備方法可獲得晶粒尺寸、相對密度以及產品尺寸均滿足鍍膜行業(yè)要求的鉬靶材，實驗顯示，制備鉬靶材晶粒尺寸在120-160μm之間，相對密度大于99％。

靶材在濺射過程中，對于的厚度尺寸要求非常高，但是由于靶材組件是由靶材和背板兩部分焊接而成，從尺寸上無法識別車削厚度，很難把控，且車削過多或多少，會影響產品在腔體內的濺射效果。

然而，現(xiàn)階段條形靶材組件的厚度，僅是通過測量焊接前靶材和背板各自的厚度及焊接加工中的加工量對靶材的厚度進行大致判斷，無法準確的測定或判定靶材的厚度，同時由于條形鉬靶材形狀的特殊性不宜采用原有的厚度測試方法，進而無法杜絕由于靶材厚度不合格導致濺射過程中靶材擊穿進而將背板作為靶材進行濺射，對產品造成不可逆的損害，影響生產效率。

發(fā)明內容

鑒于現(xiàn)有技術中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種條形靶材組件的厚度評價方法，實現(xiàn)了條形靶材組件厚度的精準測定，可使得濺射過程中靶材在不擊穿的情況下對靶材進行高效的利用，同時也解決了靶材擊穿所帶來的影響生產效率，對產品造成損害的問題。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術方案：

本發(fā)明提供了一種條形靶材組件的厚度評價方法，所述厚度評價方法包括：在條形靶材組件的濺射面測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設值，則所述條形靶材組件合格；

所述測試位點分布在沿條形靶材與靶材長邊平行的直線上，所述直線從一個寬邊延伸到另一個寬邊，所述直線至少分布3條，每條直線上分布5-8個檢測點。

本發(fā)明提供的方案，通過選擇合適的位點個數(shù)，測定特定的測試點處靶材的厚度，與預設值相對比，實現(xiàn)了條形靶材組件厚度的精準把控，可以保證靶材在濺射過程中不被擊穿，顯著地提高了濺射過程中的作業(yè)效率，可以有效地提高產品的良品率。