[發明專利]一種靶材組件的厚度評價方法

在審

• 申請號: 202110070730.9
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112902888A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;時曉旭;蔡旭文
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B17/02
• 分類號: G01B17/02;C23C14/34
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發明涉及一種靶材組件的厚度評價方法，所述厚度評價方法包括：在靶材組件的濺射面選取17?33個測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設值，則所述靶材組件合格。本發明提供的方案，通過選擇合適的位點個數，測定特定的測試點處靶材組件的厚度與預設值相對比，實現了靶材厚度的精準把控，可以保證靶材在濺射過程中不被擊穿，顯著地提高了濺射過程中的作業效率，可以有效地提高產品的良品率。

技術領域

本發明涉及靶材領域，具體涉及一種靶材組件的厚度評價方法。

背景技術

靶材作為濺射鍍膜的濺射源，常用的靶材有多種，如鈦靶材、鋁靶材和鉬靶材等。

如CN111705301A公開了一種防變形鈦靶材，所述靶材包括背板以及與所述背板連接的濺射部，所述濺射部尺寸小于所述背板的尺寸，所述背板邊緣設置有至少兩個安裝臺階孔，所述安裝臺階孔包括沉孔以及底孔，所述沉孔的深度與所述底孔的深度的比例為1.25-1.55。所述靶材在使用后變形性小，易拆卸，且使用過程中無打火現象。

CN1386879A公開了一種鋁合金靶材的制造技術，它能夠容易地使鋁母相中的鋁-碳相無大的偏析，微細析出。在該鋁中含碳的鋁系合金靶材的制造方法中,將鋁投入碳坩堝中，加熱至1600－2500℃，將鋁熔化，在碳坩堝中生成鋁-碳合金，使該熔液冷卻凝固，由此形成鋁-碳相均勻微細地分散在鋁母相中的鋁-碳合金。或者，將該鋁-碳合金再熔化，加入鎂等添加元素，攪拌后進行鑄造。

CN102922225A公開了一種鉬靶材的制備方法，該方法是將鉬錠經加熱擠壓，加熱鍛造和加熱軋制后校平，再根據成品尺寸下料、銑削和表面處理得到鉬靶材。通過本發明的制備方法可獲得晶粒尺寸、相對密度以及產品尺寸均滿足鍍膜行業要求的鉬靶材，實驗顯示，制備鉬靶材晶粒尺寸在120-160μm之間，相對密度大于99％。

靶材在濺射過程中，對于的厚度尺寸要求非常高，但是由于靶材組件是由靶材和背板兩部分焊接而成，從尺寸上無法識別車削厚度，很難把控，且車削過多或多少，會影響產品在腔體內的濺射效果。

然而，現階段靶材組件的厚度，僅是通過測量焊接前靶材和背板各自的厚度及焊接加工中的加工量對靶材的厚度進行大致判斷，無法準確的測定或判定靶材的厚度，進而無法杜絕由于靶材厚度不合格導致濺射過程中靶材擊穿進而將背板作為靶材進行濺射，對產品造成不可逆的損害，影響生產效率。

發明內容

鑒于現有技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種靶材組件的厚度評價方法，實現了靶材組件厚度的精準測定，可使得濺射過程中靶材在不擊穿的情況下對靶材進行高效的利用，同時也解決了靶材擊穿所帶來的影響生產效率，對產品造成損害的問題。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

本發明提供了一種靶材組件的厚度評價方法，所述厚度評價方法包括：在靶材組件的濺射面選取17-33個測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設值，則所述靶材組件合格。

本發明提供的方案，通過選擇合適的位點個數，測定特定的測試點處靶材的厚度，與預設值相對比，實現了靶材組件厚度的精準把控，可以保證靶材在濺射過程中不被擊穿，顯著地提高了濺射過程中的作業效率，可以有效地提高產品的良品率。

本發明中，本領域技術人員應熟知超聲測厚儀的原理為：探頭發射的超聲波脈沖通過被測物體到達材料分界面時，脈沖被反射回探頭通過精確測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度，由于本發明中靶材和背板通過焊接得到，即存在材料分界面，即采用超聲測厚儀從靶材濺射面進行測量時可以得到靶材的厚度而非靶材組件的整體厚度。

作為本發明優選的技術方案，所述測試位點分布包括位于所述濺射面中心的測試位點1和圍繞所述濺射面中心的測試位點分布的測試位點2。