[發(fā)明專利]一種靶材組件的厚度評價方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110070730.9 | 申請日： | 2021-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN112902888A | 公開（公告）日： | 2021-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;時曉旭;蔡旭文 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B17/02 | 分類號： | G01B17/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 組件 厚度 評價 方法 | ||
1.一種靶材組件的厚度評價方法，其特征在于，所述厚度評價方法包括：在靶材組件的濺射面選取17-33個測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設(shè)值，則所述靶材組件合格。
2.如權(quán)利要求1所述的厚度評價方法，其特征在于，所述測試位點分布包括位于所述濺射面中心的測試位點1和圍繞所述濺射面中心的測試位點分布的測試位點2。
3.如權(quán)利要求2所述的厚度評價方法，其特征在于，所述測試位點2為在靶材的濺射面上以測試位點1為圓心的圓上均勻分布。
4.如權(quán)利要求3所述的厚度評價方法，其特征在于，所述圓分布2-3個。
5.如權(quán)利要求4所述的厚度評價方法，其特征在于，所述圓分布2個時，第一個圓的直徑為50-75mm，第二個圓的直徑為250-275mm。
6.如權(quán)利要求4所述的厚度評價方法，其特征在于，所述圓分布3個時，第一個圓的直徑為100-110mm，第二個圓的直徑為190-200mm，第三個圓的直徑為270-280mm。
7.如權(quán)利要求1-6任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述靶材組件中濺射面的直徑≥300mm。
8.如權(quán)利要求1-7任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述厚度測量中濺射面的溫度≤60℃。
9.如權(quán)利要求1-8任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述預設(shè)值≥8cm。
10.如權(quán)利要求1-9任一項所述的厚度評價方法，其特征在于，所述厚度評價方法包括：在靶材組件的濺射面選取17-33個測試位點采用超聲測厚儀進行厚度測量，各個測試位點的厚度值≥預設(shè)值，則所述靶材組件合格；
所述測試位點分布包括位于所述濺射面中心的測試位點1和圍繞所述濺射面中心的測試位點分布的測試位點2；
所述測試位點2為在靶材的濺射面上以測試位點1為圓心的圓上均勻分布；
所述圓分布2-3個；所述圓分布2個時，第一個圓的直徑為50-75mm，第二個圓的直徑為250-275mm；所述圓分布3個時，第一個圓的直徑為100-110mm，第二個圓的直徑為190-200mm，第三個圓的直徑為270-280mm。
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