[發(fā)明專利]一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110066384.7
• 申請(qǐng)日: 2021-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN112750748A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王俊偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京邁果電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;B08B5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，包括連接管和吸嘴，所述連接管豎向設(shè)置，所述吸嘴安裝在連接管的底端，所述連接管內(nèi)設(shè)有真空裝置，所述連接管上設(shè)有穩(wěn)定機(jī)構(gòu)和清潔機(jī)構(gòu)，所述穩(wěn)定機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力組件、穩(wěn)定組件、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、支撐板、兩個(gè)軸承和兩個(gè)連接桿，所述穩(wěn)定組件包括移動(dòng)板、電磁鐵、擠壓盤和至少三個(gè)傳動(dòng)單元，所述傳動(dòng)單元包括推桿、彈簧和導(dǎo)孔，所述清潔機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)和至少三個(gè)清潔組件，所述清潔組件包括固定桿、滾珠、移動(dòng)管、第一單向閥、通孔和至少兩個(gè)第二單向閥，該穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備通過穩(wěn)定機(jī)構(gòu)提高了吸嘴吸附芯片移動(dòng)的穩(wěn)定性，不僅如此，還通過清潔機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了清潔吸嘴的功能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體元件領(lǐng)域，特別涉及一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，而芯片是半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱，又稱微電路、微芯片、集成電路。而芯片在封裝過程中，則需要通過吸附裝置使吸嘴吸附晶片并移動(dòng)至基板上進(jìn)行貼裝。

現(xiàn)有的吸附裝置在工作過程中，吸嘴與晶片接觸部位易沾染雜質(zhì)而影響與晶片之間的密封性，降低了實(shí)用性，不僅如此，吸嘴吸附晶片在平移過程中，為了提高工作效率，平移速度較快，晶片在風(fēng)阻作用下易從吸嘴上脫落，降低了穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，包括連接管和吸嘴，所述連接管豎向設(shè)置，所述吸嘴安裝在連接管的底端，所述連接管內(nèi)設(shè)有真空裝置，所述連接管上設(shè)有穩(wěn)定機(jī)構(gòu)和清潔機(jī)構(gòu)；

所述穩(wěn)定機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力組件、穩(wěn)定組件、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、支撐板、兩個(gè)軸承和兩個(gè)連接桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸線與連接管的軸線垂直且相交，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的中端與連接管的頂端密封且固定連接，所述軸承的內(nèi)圈安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述連接管位于兩個(gè)軸承之間，所述連接桿與連接管平行，所述連接桿與軸承一一對(duì)應(yīng)，所述連接桿的底端固定在軸承的外圈，所述支撐板與連接管平行，所述連接桿的頂端固定在支撐板的底部，所述動(dòng)力組件設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上且與轉(zhuǎn)動(dòng)軸傳動(dòng)連接，所述穩(wěn)定組件設(shè)置在支撐板上；

所述穩(wěn)定組件包括移動(dòng)板、電磁鐵、擠壓盤和至少三個(gè)傳動(dòng)單元，所述移動(dòng)板與連接管垂直，所述移動(dòng)板位于支撐板的上方且與支撐板之間設(shè)有間隙，所述擠壓盤與連接管同軸設(shè)置且位于轉(zhuǎn)動(dòng)軸和支撐板之間，所述擠壓盤與轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間設(shè)有間隙，所述電磁鐵固定在支撐板的頂部，所述電磁鐵與移動(dòng)板正對(duì)設(shè)置且之間設(shè)有間隙，所述移動(dòng)板的制作材料為鐵，所述傳動(dòng)單元以連接管的軸線為中心周向均勻分布；

所述傳動(dòng)單元包括推桿、彈簧和導(dǎo)孔，所述導(dǎo)孔設(shè)置在支撐板上，所述推桿與連接管平行且位于擠壓盤和移動(dòng)板之間，所述推桿穿過導(dǎo)孔且與導(dǎo)孔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述推桿的頂端固定在移動(dòng)板上，所述推桿的底端與擠壓盤連接，所述彈簧位于移動(dòng)板和支撐板之間，所述移動(dòng)板通過彈簧與支撐板連接；

所述清潔機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)和至少三個(gè)清潔組件，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)位于擠壓盤和支撐板之間，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)與擠壓盤傳動(dòng)連接且與推桿固定連接，所述清潔組件與推桿一一對(duì)應(yīng)；

所述清潔組件包括固定桿、滾珠、移動(dòng)管、第一單向閥、通孔和至少兩個(gè)第二單向閥，所述擠壓盤的頂部設(shè)有環(huán)形槽，所述環(huán)形槽與連接管同軸設(shè)置，所述滾珠的球心設(shè)置在環(huán)形槽內(nèi)，所述滾珠與環(huán)形槽匹配且與環(huán)形槽的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述滾珠的球徑大于環(huán)形槽的槽口寬度，所述滾珠固定在推桿的底端，所述固定桿與連接管平行且位于擠壓盤和支撐板之間，所述固定桿的頂端固定在支撐板上，所述通孔設(shè)置在擠壓盤上，所述通孔和移動(dòng)管均與固定管同軸設(shè)置，所述固定桿插入移動(dòng)管的頂端，所述移動(dòng)管與固定桿滑動(dòng)且密封連接，所述移動(dòng)管與推桿固定連接，所述第一單向閥安裝在移動(dòng)管內(nèi)的底端，所述移動(dòng)管上設(shè)有至少兩個(gè)氣孔，所述氣孔以移動(dòng)管的軸線為中心周向均勻分布，所述第二單向閥與氣孔一一對(duì)應(yīng)且安裝在氣孔內(nèi)，所述第二單向閥位于第一單向閥和固定桿之間。

作為優(yōu)選，為了提高驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力，所述第一電機(jī)為伺服電機(jī)。