[發(fā)明專利]一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備

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• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112750748A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王俊偉
• 申請（專利權(quán)）人: 南京邁果電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B08B5/02
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• 代理人: 暫無信息

1.一種穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，包括連接管(1)和吸嘴(2)，所述連接管(1)豎向設(shè)置，所述吸嘴(2)安裝在連接管(1)的底端，所述連接管(1)內(nèi)設(shè)有真空裝置，其特征在于，所述連接管(1)上設(shè)有穩(wěn)定機(jī)構(gòu)和清潔機(jī)構(gòu)；

所述穩(wěn)定機(jī)構(gòu)包括動力組件、穩(wěn)定組件、轉(zhuǎn)動軸(3)、支撐板(4)、兩個軸承(5)和兩個連接桿(6)，所述轉(zhuǎn)動軸(3)的軸線與連接管(1)的軸線垂直且相交，所述轉(zhuǎn)動軸(3)的中端與連接管(1)的頂端密封且固定連接，所述軸承(5)的內(nèi)圈安裝在轉(zhuǎn)動軸(3)上，所述連接管(1)位于兩個軸承(5)之間，所述連接桿(6)與連接管(1)平行，所述連接桿(6)與軸承(5)一一對應(yīng)，所述連接桿(6)的底端固定在軸承(5)的外圈，所述支撐板(4)與連接管(1)平行，所述連接桿(6)的頂端固定在支撐板(4)的底部，所述動力組件設(shè)置在轉(zhuǎn)動軸(3)上且與轉(zhuǎn)動軸(3)傳動連接，所述穩(wěn)定組件設(shè)置在支撐板(4)上；

所述穩(wěn)定組件包括移動板(7)、電磁鐵(8)、擠壓盤(9)和至少三個傳動單元，所述移動板(7)與連接管(1)垂直，所述移動板(7)位于支撐板(4)的上方且與支撐板(4)之間設(shè)有間隙，所述擠壓盤(9)與連接管(1)同軸設(shè)置且位于轉(zhuǎn)動軸(3)和支撐板(4)之間，所述擠壓盤(9)與轉(zhuǎn)動軸(3)之間設(shè)有間隙，所述電磁鐵(8)固定在支撐板(4)的頂部，所述電磁鐵(8)與移動板(7)正對設(shè)置且之間設(shè)有間隙，所述移動板(7)的制作材料為鐵，所述傳動單元以連接管(1)的軸線為中心周向均勻分布；

所述傳動單元包括推桿(10)、彈簧(11)和導(dǎo)孔，所述導(dǎo)孔設(shè)置在支撐板(4)上，所述推桿(10)與連接管(1)平行且位于擠壓盤(9)和移動板(7)之間，所述推桿(10)穿過導(dǎo)孔且與導(dǎo)孔的內(nèi)壁滑動連接，所述推桿(10)的頂端固定在移動板(7)上，所述推桿(10)的底端與擠壓盤(9)連接，所述彈簧(11)位于移動板(7)和支撐板(4)之間，所述移動板(7)通過彈簧(11)與支撐板(4)連接；

所述清潔機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)(12)和至少三個清潔組件，所述驅(qū)動電機(jī)位于擠壓盤(9)和支撐板(4)之間，所述驅(qū)動電機(jī)與擠壓盤(9)傳動連接且與推桿(10)固定連接，所述清潔組件與推桿(10)一一對應(yīng)；

所述清潔組件包括固定桿(13)、滾珠(14)、移動管(15)、第一單向閥(16)、通孔和至少兩個第二單向閥(17)，所述擠壓盤(9)的頂部設(shè)有環(huán)形槽，所述環(huán)形槽與連接管(1)同軸設(shè)置，所述滾珠(14)的球心設(shè)置在環(huán)形槽內(nèi)，所述滾珠(14)與環(huán)形槽匹配且與環(huán)形槽的內(nèi)壁滑動連接，所述滾珠(14)的球徑大于環(huán)形槽的槽口寬度，所述滾珠(14)固定在推桿(10)的底端，所述固定桿(13)與連接管(1)平行且位于擠壓盤(9)和支撐板(4)之間，所述固定桿(13)的頂端固定在支撐板(4)上，所述通孔設(shè)置在擠壓盤(9)上，所述通孔和移動管(15)均與固定管同軸設(shè)置，所述固定桿(13)插入移動管(15)的頂端，所述移動管(15)與固定桿(13)滑動且密封連接，所述移動管(15)與推桿(10)固定連接，所述第一單向閥(16)安裝在移動管(15)內(nèi)的底端，所述移動管(15)上設(shè)有至少兩個氣孔，所述氣孔以移動管(15)的軸線為中心周向均勻分布，所述第二單向閥(17)與氣孔一一對應(yīng)且安裝在氣孔內(nèi)，所述第二單向閥(17)位于第一單向閥(16)和固定桿(13)之間。

2.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，所述第一電機(jī)(12)為伺服電機(jī)。

3.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，所述動力組件包括第二電機(jī)(18)、驅(qū)動齒輪(19)和從動齒輪(20)，所述從動齒輪(20)安裝在轉(zhuǎn)動軸(3)上，所述驅(qū)動電機(jī)與推桿(10)固定連接且與驅(qū)動齒輪(19)傳動連接，所述驅(qū)動齒輪(19)與從動齒輪(20)嚙合。

4.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，所述推桿(10)上涂有潤滑油。

5.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，所述推桿(10)的兩端均設(shè)有倒角。

6.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定型半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，所述擠壓盤(9)的制作材料為橡膠。