1.一種雙面晶圓成像裝置,包括:
一或多個(gè)裝載端,用于一自動(dòng)搬運(yùn)裝置的一晶圓盒的一自動(dòng)裝載操作或是卸載操作;
一或多個(gè)機(jī)械手臂,用于搬運(yùn)一晶圓;
一晶圓傳輸載臺(tái),包括三或多個(gè)真空吸點(diǎn),是接觸該晶圓的一背面,該晶圓傳輸載臺(tái)還包括一驅(qū)動(dòng)馬達(dá),是產(chǎn)生一線性來回移動(dòng),以移動(dòng)該晶圓;
一第一線掃描相機(jī),安裝在該晶圓傳輸載臺(tái)的下方;
一第二線掃描相機(jī),安裝在該晶圓傳輸載臺(tái)的上方;
一第一光學(xué)鏡片,安裝在該第一線掃描相機(jī)上;
一第二光學(xué)鏡片,安裝在該第二線掃描相機(jī)上;以及
二或多個(gè)線光源,分別安裝在該晶圓傳輸載臺(tái)的下方及上方。
2.如權(quán)利要求1所述的雙面晶圓成像裝置,其中,該二或多個(gè)線光源輸出一黃光或一白光。
3.如權(quán)利要求1所述的雙面晶圓成像裝置,還包括一或多個(gè)晶圓對(duì)準(zhǔn)器,用于調(diào)整該晶圓的一位置及一轉(zhuǎn)動(dòng)角度、返回該晶圓到一原點(diǎn)以及讀取一標(biāo)簽。
4.如權(quán)利要求1所述的雙面晶圓成像裝置,還包括一空氣注入元件,包括一第一噴嘴,是對(duì)準(zhǔn)該第一線掃描相機(jī)的該第一光學(xué)鏡片。
5.如權(quán)利要求4所述的雙面晶圓成像裝置,其中,該空氣注入元件還包括一第二噴嘴,是對(duì)準(zhǔn)該第二線掃描相機(jī)的該第二光學(xué)鏡片。
6.如權(quán)利要求5所述的雙面晶圓成像裝置,其中,該空氣注入元件注入一氣流,以避免多個(gè)粒子粘貼到該第一光學(xué)鏡片以及該第二光學(xué)鏡片。
7.如權(quán)利要求6所述的雙面晶圓成像裝置,其中,當(dāng)該晶圓尚未通過該雙面晶圓成像裝置進(jìn)行成像時(shí),則該空氣注入元件注入該氣流。
8.一種晶圓的雙面成像的方法,包括:
擷取該晶圓的一雙面影像,其中當(dāng)該晶圓通過晶圓傳輸載臺(tái)在一往外行程進(jìn)行搬運(yùn)時(shí),分別安裝在該晶圓傳輸載臺(tái)的下方及上方的一第一線掃描相機(jī)以及一第二線掃描相機(jī),是分別截取該晶圓的該雙面影像的一第一背面晶圓影像以及一前面晶圓影像;
轉(zhuǎn)動(dòng)該晶圓一預(yù)定角度,其中當(dāng)該晶圓達(dá)到該往外行程的一端點(diǎn)時(shí),則位在該晶圓的下方的一晶圓對(duì)準(zhǔn)器是沿著一垂直方向上升,以拿取該晶圓、轉(zhuǎn)動(dòng)該晶圓該預(yù)定角度以及返回該晶圓到該晶圓傳輸載臺(tái);
當(dāng)該晶圓通過該晶圓傳輸載臺(tái)在一返回行程進(jìn)行搬運(yùn)時(shí),則擷取一第二背面晶圓影像,位在該晶圓傳輸載臺(tái)的下方的該第一線掃描相機(jī)是擷取該第二背面晶圓影像;以及
執(zhí)行一影像處理操作,其中被在該第一背面晶圓影像中的一或多個(gè)接觸點(diǎn)所占據(jù)的一或多個(gè)區(qū)域,是以該第二背面晶圓影像取代該第一背面晶圓影像,而得到一個(gè)實(shí)質(zhì)上完全無遮蔽的晶圓背面影像。
9.如權(quán)利要求8所述的方法,其中,該二或多個(gè)線光源是分別安裝在該晶圓傳輸載臺(tái)的下方及上方,而該二或多個(gè)線光源輸出一黃光或一白光。
10.如權(quán)利要求8所述的方法,其中,一空氣注入元件包括一第一噴嘴,是對(duì)準(zhǔn)該第一線掃描相機(jī)的一第一光學(xué)鏡片。
11.如權(quán)利要求10所述的方法,其中,該空氣注入元件還包括一第二噴嘴,是對(duì)準(zhǔn)該第二線掃描相機(jī)的一第二光學(xué)鏡片。
12.如權(quán)利要求11所述的方法,其中,該空氣注入元件注入一氣流,以避免多個(gè)粒子粘貼到該第一光學(xué)鏡片以及該第二光學(xué)鏡片。
13.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,當(dāng)該晶圓尚未進(jìn)行成像時(shí),該空氣注入元件注入該氣流。