[發明專利]雙面晶圓成像裝置及其方法

在審

• 申請號: 202110062148.8
• 申請日: 2021-01-18
• 公開（公告）號: CN113155840A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 王英全;劉逸文;林士智;黃日正
• 申請（專利權）人: 南亞科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N35/00;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

1.一種雙面晶圓成像裝置，包括：

一或多個裝載端，用于一自動搬運裝置的一晶圓盒的一自動裝載操作或是卸載操作；

一或多個機械手臂，用于搬運一晶圓；

一晶圓傳輸載臺，包括三或多個真空吸點，是接觸該晶圓的一背面，該晶圓傳輸載臺還包括一驅動馬達，是產生一線性來回移動，以移動該晶圓；

一第一線掃描相機，安裝在該晶圓傳輸載臺的下方；

一第二線掃描相機，安裝在該晶圓傳輸載臺的上方；

一第一光學鏡片，安裝在該第一線掃描相機上；

一第二光學鏡片，安裝在該第二線掃描相機上；以及

二或多個線光源，分別安裝在該晶圓傳輸載臺的下方及上方。

2.如權利要求1所述的雙面晶圓成像裝置，其中，該二或多個線光源輸出一黃光或一白光。

3.如權利要求1所述的雙面晶圓成像裝置，還包括一或多個晶圓對準器，用于調整該晶圓的一位置及一轉動角度、返回該晶圓到一原點以及讀取一標簽。

4.如權利要求1所述的雙面晶圓成像裝置，還包括一空氣注入元件，包括一第一噴嘴，是對準該第一線掃描相機的該第一光學鏡片。

5.如權利要求4所述的雙面晶圓成像裝置，其中，該空氣注入元件還包括一第二噴嘴，是對準該第二線掃描相機的該第二光學鏡片。

6.如權利要求5所述的雙面晶圓成像裝置，其中，該空氣注入元件注入一氣流，以避免多個粒子粘貼到該第一光學鏡片以及該第二光學鏡片。

7.如權利要求6所述的雙面晶圓成像裝置，其中，當該晶圓尚未通過該雙面晶圓成像裝置進行成像時，則該空氣注入元件注入該氣流。

8.一種晶圓的雙面成像的方法，包括：

擷取該晶圓的一雙面影像，其中當該晶圓通過晶圓傳輸載臺在一往外行程進行搬運時，分別安裝在該晶圓傳輸載臺的下方及上方的一第一線掃描相機以及一第二線掃描相機，是分別截取該晶圓的該雙面影像的一第一背面晶圓影像以及一前面晶圓影像；

轉動該晶圓一預定角度，其中當該晶圓達到該往外行程的一端點時，則位在該晶圓的下方的一晶圓對準器是沿著一垂直方向上升，以拿取該晶圓、轉動該晶圓該預定角度以及返回該晶圓到該晶圓傳輸載臺；

當該晶圓通過該晶圓傳輸載臺在一返回行程進行搬運時，則擷取一第二背面晶圓影像，位在該晶圓傳輸載臺的下方的該第一線掃描相機是擷取該第二背面晶圓影像；以及

執行一影像處理操作，其中被在該第一背面晶圓影像中的一或多個接觸點所占據的一或多個區域，是以該第二背面晶圓影像取代該第一背面晶圓影像，而得到一個實質上完全無遮蔽的晶圓背面影像。

9.如權利要求8所述的方法，其中，該二或多個線光源是分別安裝在該晶圓傳輸載臺的下方及上方，而該二或多個線光源輸出一黃光或一白光。

10.如權利要求8所述的方法，其中，一空氣注入元件包括一第一噴嘴，是對準該第一線掃描相機的一第一光學鏡片。

11.如權利要求10所述的方法，其中，該空氣注入元件還包括一第二噴嘴，是對準該第二線掃描相機的一第二光學鏡片。

12.如權利要求11所述的方法，其中，該空氣注入元件注入一氣流，以避免多個粒子粘貼到該第一光學鏡片以及該第二光學鏡片。

13.如權利要求12所述的方法，其中，當該晶圓尚未進行成像時，該空氣注入元件注入該氣流。