[發(fā)明專利]一種激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110057083.8
• 申請日: 2021-01-15
• 公開（公告）號: CN112857695A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王國棟;馬儒坤;錢都;章思;黃俊;徐秋賦;張航
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責(zé)任公司 34101
• 代理人: 何梅生

本發(fā)明公開了一種激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng),其包括激光陀螺充氣裝置、氦質(zhì)譜檢漏裝置以及真空排氣機組，激光陀螺充氣裝置包括氦氣瓶、氖氣瓶、混氣室、壓力傳感器、質(zhì)量流量計以及與激光陀螺相連接的進(jìn)氣管；激光陀螺的氦質(zhì)譜檢漏裝置包括氦質(zhì)譜檢漏儀、真空排氣機組及噴槍；真空排氣機組由機械泵、分子泵、真空計以及真空排氣管道組成。本發(fā)明將激光陀螺檢漏裝置和激光陀螺充氣封裝裝置系統(tǒng)地結(jié)合在一起，使得這一系列過程銜接得更為緊密，節(jié)約成本，提高了生產(chǎn)效率，采用噴吹法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，極大地提高了激光陀螺的檢漏精度，最小可檢漏率可達(dá)10^?12pa*m³/s的量級。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光陀螺充氣及檢漏的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種激光陀螺穩(wěn)定充氣及高精度檢漏的系統(tǒng)。

背景技術(shù)

激光陀螺是目前應(yīng)用最廣泛最精確的慣性制導(dǎo)設(shè)備，主要應(yīng)用于飛機、火箭，甚至可能在太空中工作，其工作環(huán)境十分惡劣，如果激光陀螺封裝后氣密性差，或者內(nèi)部有雜質(zhì)氣體，將導(dǎo)致激光陀螺諧振腔內(nèi)的氣體組分和壓力發(fā)生變化，最后會影響激光陀螺的測量準(zhǔn)確性。因此，激光陀螺出廠前必須進(jìn)行嚴(yán)格的氣密性檢測。目前常見的氣密性檢測方法是將激光陀螺進(jìn)行抽真空檢驗，如果抽真空能達(dá)到超高真空10^-7Pa，就認(rèn)為氣密性良好。但是儀器的準(zhǔn)確性很難鑒定，不能確保激光陀螺氣密性檢驗合格。

在公開號為CN110631774A的專利文件中公開了《光電元件氦質(zhì)譜檢漏方法》，該專利所述的光電元件氦質(zhì)譜檢漏方法先將待檢產(chǎn)品置于充滿氦氣第一真空容器內(nèi)密封保壓一段時間，若待檢產(chǎn)品存在泄漏，則氦氣就會通過漏孔進(jìn)入待檢產(chǎn)品的腔室內(nèi)；再將待檢產(chǎn)品置于真空箱內(nèi)進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。該方法一方面需要先對待檢件進(jìn)行氦氣浸沒，再進(jìn)行抽真空，保壓和檢漏所需時間長，步驟繁瑣，檢漏效率低；此外該方法在檢漏時內(nèi)外壓差無法同時確定，漏率不穩(wěn)定，測量結(jié)果誤差較大。

在公開號為CN109211491A的專利文件中公開了《一種檢驗激光陀螺氣密性的方法》，該專利采用先經(jīng)過高低溫測試、抗沖擊測試后，再通電后用肉眼觀測激光陀螺的發(fā)光情況的方法來判定激光陀螺儀是否合格。但該方法存在人工觀測不夠客觀的問題，此外如果漏孔很小，在1-3天內(nèi)對激光陀螺的發(fā)光情況不會產(chǎn)生明顯的影響，只能保證激光陀螺不會出現(xiàn)較大漏孔，對于微小漏孔難檢測到。

由此可見，當(dāng)前激光陀螺氣密性檢測主要存在的技術(shù)問題是：檢漏精度不高，如何設(shè)計一種高精度的激光陀螺檢漏系統(tǒng)是本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決激光陀螺儀在檢測過程中對微小漏孔檢測困難的問題，提高激光陀螺的檢測精度和激光陀螺產(chǎn)品的可靠性,本發(fā)明提供一種激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng)。

本發(fā)明為解決技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng)，其特點是所述檢漏系統(tǒng)包括：激光陀螺檢漏裝置、激光陀螺充氣裝置及真空排氣機組，氦質(zhì)譜檢漏時用噴吹法，可精確定位漏孔的位置，檢漏精度可達(dá)10^-12pa.m³/s量級；所述激光陀螺充氣裝置可向激光陀螺內(nèi)充入一定比例一定壓強的工作氣體。

本發(fā)明激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng)的特點也在于：所述激光陀螺充氣裝置、真空排氣機組通過三通管與激光陀螺相連接，與所述三通管相連接的三條管路上分別設(shè)有第一截止閥、第二截止閥和抽氣閥。

本發(fā)明激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng)的特點也在于：所述激光陀螺充氣裝置包括氖氣瓶、氦氣瓶、混氣室以及與激光陀螺相連接的進(jìn)氣管；所述氖氣瓶和氦氣瓶分別通過管道直接連接在混氣室上。

本發(fā)明激光陀螺穩(wěn)定充氣和高精度檢漏系統(tǒng)的特點也在于：所述氖氣瓶和氦氣瓶的流量通過安裝在與混氣室相連的管道上的第三截止閥、第四截止閥以及第一流量計和第二流量計進(jìn)行檢測和控制。