[發明專利]氣體傳輸設備的檢測方法、檢測裝置與氣體傳輸設備

有效

• 申請號: 202110055353.1
• 申請日: 2021-01-15
• 公開（公告）號: CN112899663B
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發明（設計）人: 顧瑤
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/455;G01M3/28
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 孫寶海;袁禮君

1.一種氣體傳輸設備的檢測方法，其特征在于，包括：

控制機臺流量控制裝置的進氣口連接第一進氣管道，并控制所述進氣口的進氣閥門開啟以及所述機臺流量控制裝置的輸氣閥門關閉；

控制所述機臺流量控制裝置的抽氣閥門開啟，在第一氣體經過所述機臺流量控制裝置中的質量流量控制器的流量達到預設目標值后，控制所述抽氣閥門關閉；

獲取所述第一氣體在第一預設時長內經過所述質量流量控制器的第一流量最小值；

根據所述第一流量最小值確定所述機臺流量控制裝置的閥門泄漏檢測結果、進氣管道堵塞檢測結果、質量流量控制器安裝方向檢測結果；

其中，所述根據所述第一流量最小值確定所述機臺流量控制裝置的閥門泄漏檢測結果、進氣管道堵塞檢測結果、質量流量控制器安裝方向檢測結果包括：

在所述第一流量最小值小于預設最小值時，輸出質量流量控制器安裝方向錯誤提示信息；

在所述第一流量最小值大于預設最大值時，控制所述進氣閥門關閉，并在控制所述進氣口連接第二進氣管道后，控制所述進氣閥門開啟；控制所述抽氣閥門開啟，在第二氣體經過所述質量流量控制器的流量達到所述預設目標值后，控制所述抽氣閥門關閉；獲取所述第二氣體在所述第一預設時長內經過所述質量流量控制器的第二流量最小值；

如果所述第二流量最小值大于所述預設最大值，輸出第二進氣管道壓力測試提示信息，獲取所述第二進氣管道的壓力測試結果，在所述第二進氣管道的壓力測試結果為合格時，輸出閥門泄漏提示信息；在所述第二進氣管道的壓力測試結果為不合格時，輸出第一進氣管道壓力測試提示信息，獲取所述第一進氣管道的壓力測試結果；在所述第一進氣管道的壓力測試結果為合格時，輸出所述閥門泄漏提示信息；

如果所述第二流量最小值小于等于所述預設最大值，輸出第一進氣管道堵塞提示信息。

2.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述第一預設時長為50～100s。

3.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述控制所述機臺流量控制裝置的抽氣閥門開啟包括：

在所述進氣閥門開啟第二預設時長后，控制所述抽氣閥門開啟。

4.如權利要求3所述的檢測方法，其特征在于，所述第二預設時長為不大于10s。

5.如權利要求1或3所述的檢測方法，其特征在于，所述在第一氣體經過所述機臺流量控制裝置中的質量流量控制器的流量達到預設目標值后，控制所述抽氣閥門關閉包括：

在判斷所述抽氣閥門開啟第三預設時長后關閉所述抽氣閥門。

6.如權利要求5所述的檢測方法，其特征在于，所述第三預設時長為30s。

7.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述預設最小值為0.1sccm。

8.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述預設最大值為5sccm。

9.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述第一氣體的種類包括SiH₄、WF₆、B₂H₆。

10.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述預設目標值包括50sccm～500sccm。