[發(fā)明專利]一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110054099.3
• 申請(qǐng)日: 2021-01-15
• 公開（公告）號(hào): CN112880575B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董新平;晉景濤;葛新鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 許昌學(xué)院
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06;G01B5/00
• 代理公司: 蘇州拓云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32344
• 代理人: 王超

1.一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其包括：機(jī)臺(tái)(1)、居中固定組件(2)以及位移測(cè)定組件(3)，其中，所述居中固定組件(2)固定安裝在機(jī)臺(tái)(1)上端面的右側(cè)，用于對(duì)待檢測(cè)光學(xué)元器件進(jìn)行居中夾持固定，所述位移測(cè)定組件(3)設(shè)置在居中固定組件(2)的正上方，以便對(duì)待測(cè)量光學(xué)元器件進(jìn)行厚度檢測(cè)，所述機(jī)臺(tái)(1)上還設(shè)置有輔助照明燈(5)，其特征在于：所述位移測(cè)定組件(3)滑動(dòng)設(shè)置在氣動(dòng)滑軌(4)上，以實(shí)現(xiàn)位移測(cè)定組件(3)的上下精確位移；

所述位移測(cè)定組件(3)與居中固定組件(2)的豎直方向上的中心軸線相互共線，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)待檢測(cè)光學(xué)元器件的中心厚度進(jìn)行精確的測(cè)量；

所述居中固定組件(2)包括支撐殼體(21)、夾緊組件(22)以及調(diào)節(jié)裝置(23)，所支撐殼體(21)的內(nèi)壁上圓周滑動(dòng)設(shè)置有多個(gè)調(diào)節(jié)裝置(23)，且，每個(gè)所述調(diào)節(jié)裝置(23)遠(yuǎn)離支撐殼體(21)內(nèi)壁的一端固定安裝有夾緊組件(22)；

每個(gè)所述調(diào)節(jié)裝置(23)的下端均通過電動(dòng)伸縮桿一(25)與支撐殼體(21)的底壁固定連接；

所述支撐殼體(21)的底壁中部固定安裝有底部壓感觸頭(24)，且，所述底部壓感觸頭(24)與頂部壓感觸頭(35)在豎直方向上的中心軸線相共線；

在未放入待測(cè)量透鏡的情況下，所述位移測(cè)定組件(3)下移至最大位移處時(shí)，頂部壓感觸頭(35)的底端恰好與底部壓感觸頭(24)的頂端相接觸；

所述夾緊組件(22)包括支撐托座(221)、感壓滑塊(222)、上夾板(223)、限位套殼(224)以及中樞滑塊(225)，所述感壓滑塊(222)滑動(dòng)設(shè)置在支撐托座(221)的底部，且，其右端通過多個(gè)彈簧二與支撐托座(221)的側(cè)壁相固定連接，所述限位套殼(224)固定設(shè)置在支撐托座(221)的頂壁上，所述中樞滑塊(225)的上端通過若干彈簧三滑動(dòng)設(shè)置在限位套殼(224)的內(nèi)部，所述中樞滑塊(225)的左端固定連接有上夾板(223)；

所述感壓滑塊(222)的右上部為斜面結(jié)構(gòu)，且，所述斜面結(jié)構(gòu)與中樞滑塊(225)下端的斜面相匹配。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其特征在于：所述位移測(cè)定組件(3)包括頂板(31)、調(diào)節(jié)桿(32)、限位板(33)以及承接座(34)，所述頂板(31)的下端面上對(duì)稱安裝有兩個(gè)調(diào)節(jié)桿(32)，兩個(gè)所述調(diào)節(jié)桿(32)的伸縮端固定在承接座(34)的上端面；

所述承接座(34)的橫截面為T形結(jié)構(gòu)，且，所述承接座(34)豎直部分外部滑動(dòng)套設(shè)有限位板(33)，所述限位板(33)的最大直徑大于支撐殼體(21)頂端開口的直徑；

所述調(diào)節(jié)桿(32)的伸縮軸外部套設(shè)有彈簧一(321)；

所述承接座的下端設(shè)置有頂部壓感觸頭(35)，且，所述頂部壓感觸頭(35)為弧面錐形結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其特征在于：所述頂板(31)的下端面內(nèi)圓周上均勻嵌入有多個(gè)激光接收器(331)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其特征在于：所述承接座(34)的上端面內(nèi)圓周上均勻嵌入有若干激光發(fā)射器(341)，且，若干所述激光發(fā)射器(341)的位置與數(shù)量均與頂板(31)內(nèi)的多個(gè)激光接收器(331)相匹配，以便測(cè)得承接座(34)各方位的位移變化量。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其特征在于：所述上夾板(223)的左側(cè)面和下側(cè)面、感壓滑塊(222)的左側(cè)面以及支撐托座(221)下端的左側(cè)面和上側(cè)面上均包裹有柔性棉，其中，所述支撐托座(221)上側(cè)面包裹柔性棉的區(qū)域與上夾板(223)下側(cè)面包裹柔性棉的區(qū)域相匹配。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其特征在于：所述上夾板(223)的左側(cè)面與支撐托座(221)的左側(cè)面所在圓周的半徑相等，所述感壓滑塊(222)的左側(cè)面所在圓周的半徑小于上夾板(223)左側(cè)面所在圓周的半徑。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光學(xué)元器件檢測(cè)的高精度測(cè)厚儀，其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置(23)包括電動(dòng)調(diào)節(jié)桿二(231)以及穩(wěn)固套桿(232)，所述電動(dòng)調(diào)節(jié)桿二(231)的上下兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有多個(gè)穩(wěn)固套桿(232)，所述電動(dòng)調(diào)節(jié)桿二(231)以及多個(gè)穩(wěn)固套桿(232)的伸縮端均固定在支撐托座(221)上。