[發明專利]一種用于生產半導體材料箔的裝置及方法

有效

• 申請號: 202110053782.5
• 申請日: 2021-01-15
• 公開（公告）號: CN112893789B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 杜達敏;方一航;王天樂
• 申請（專利權）人: 臺州學院
• 主分類號: B22D11/06
• 分類號: B22D11/06
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 殷篩網

1.一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述用于生產半導體材料箔的裝置包括底座及安裝在所述底座上的加工臺，所述底座上通過安裝架固定有熱熔罐，所述熱熔罐與安裝在其側端的輸送腔連通，所述輸送腔上安裝有出口朝向所述加工臺的出料管，且所述出料管上設置有傾斜部，所述輸送腔的內側設置有輸送組件，當輸送組件運動時以將輸送腔內的半導體原料進行擠壓輸送，以使出料管流出的半導體原料具有外部壓力；

所述加工臺上放置有基板帶，所述基板帶朝向所述加工臺的一側粘附有柔性磁鐵，所述加工臺的一端安裝有驅動輥，所述驅動輥上安裝有與所述柔性磁鐵吸引的環形金屬，當所述驅動輥轉動時配合環形金屬與柔性磁鐵的作用驅動基板帶水平移動，所述驅動輥的側端還設置有與所述柔性磁鐵連接的收卷輥，所述收卷輥的轉軸通過第一傳動帶與安裝在所述底座上的第二電機的輸出軸轉動連接，且通過第二傳動帶與所述驅動輥的轉軸轉動連接；

所述加工臺上與所述出料管出口相對的位置處設置有冷卻流道，所述冷卻流道與安裝在底座側端的循環組件連通；所述基板帶在移動過程中與出料管的端部抵接，半導體原料通過傾斜部流出，從而使得半導體材料箔形成厚度相同。

2.根據權利要求1所述的一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述輸送組件包括轉動安裝在所述輸送腔內的輸送軸及固定在所述輸送軸上的螺旋葉片。

3.根據權利要求1所述的一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述熱熔罐的內側轉動安裝有攪拌軸，所述攪拌軸的一端貫穿所述熱熔罐且通過錐齒輪組與輸送軸的轉軸轉動連接，另一端與安裝在所述熱熔罐上的第一電機的輸出軸固定連接；

位于所述熱熔罐內的攪拌軸上固定有多組攪拌棒。

4.根據權利要求3所述的一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述熱熔罐的外側包裹有加熱件。

5.根據權利要求3所述的一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述攪拌軸上還通過連接桿固定有至少一個與所述熱熔罐內壁抵接的刮板。

6.根據權利要求1所述的一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述循環組件包括安裝在所述底座上的循環泵，所述循環泵的進口通過導管與所述冷卻流道的一端連通，所述循環泵的進口連通有安裝在所述底座上的冷卻腔連通，所述冷卻腔遠離所述循環泵的一側通過另一導管與所述冷卻流道的另一端連通。

7.根據權利要求6所述的一種用于生產半導體材料箔的裝置，其特征在于，所述冷卻流道呈蛇形狀設置，且所述冷卻流道內填充有冷卻油。

8.一種用于生產半導體材料箔的方法，其特征在于，采用如權利要求1-7任意一項所述的用于生產半導體材料箔的裝置，所述用于生產半導體材料箔的方法包括：

將熱熔后的半導體原料置于熱熔罐內，半導體原料流入到輸送腔內并通過出料管流出，同時輸送腔內的輸送組件對半導體原料產生推動力；

將基板帶通過柔性磁鐵與驅動輥的作用在加工臺上勻速移動，半導體原料通過出料管流出，并通過設置的傾斜部使得半導體原料流到基板帶上，通過冷卻流道的作用形成半導體材料箔。