[發(fā)明專利]影像感測器結(jié)構(gòu)及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110052276.4
• 申請日: 2021-01-15
• 公開（公告）號: CN113140582A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林津裕;廖耕潁;葉書佑;陳柏仁;董懷仁;陳咸利
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含：

一半導(dǎo)體基板；

多個影像感測元件，形成于該半導(dǎo)體基板中；

一內(nèi)連接結(jié)構(gòu)，其形成于該半導(dǎo)體基板上；以及

一復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，于該半導(dǎo)體基板上，其中該復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包含一鎢網(wǎng)格、該鎢網(wǎng)格上的一氧化物網(wǎng)格、及一粘附增強網(wǎng)格，該粘附增強網(wǎng)格將該鎢網(wǎng)格與該氧化物網(wǎng)格間隔開。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該粘附增強網(wǎng)格包含多個網(wǎng)格線，所述多個網(wǎng)格線各自具有隨著距該半導(dǎo)體基板的一距離增加而增加的一寬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該鎢網(wǎng)格包含多個網(wǎng)格線，所述多個網(wǎng)格線各自具有隨著距該半導(dǎo)體基板的一距離增加而減少的一寬度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該氧化物網(wǎng)格包含多個網(wǎng)格線，所述多個網(wǎng)格線各自具有一漸縮頂部分段。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含該氧化物網(wǎng)格上的一氮氧化物網(wǎng)格。

6.一種影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含：

一半導(dǎo)體基板；

多個光電二極管，于該半導(dǎo)體基板中；

一內(nèi)連接結(jié)構(gòu)，于該半導(dǎo)體基板上；以及

一復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，于該半導(dǎo)體基板上，其中該復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包含一氧化物網(wǎng)格及該氧化物網(wǎng)格與該半導(dǎo)體基板之間的一金屬網(wǎng)格，且該復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)缺乏一氧化物/金屬界面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，該復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)還包含一氮化物網(wǎng)格，該氮化物網(wǎng)格與該金屬網(wǎng)格的一頂部表面形成一氮化物/金屬界面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包含：

多個彩色濾光片，延伸穿過該氮化物網(wǎng)格。

9.一種影像感測器結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，包含以下步驟：

形成多個光電二極管于一基板中；

形成一內(nèi)連接結(jié)構(gòu)于該基板上；

沉積一金屬網(wǎng)格層在該基板上、一粘附增強層在該金屬網(wǎng)格層上、及一氧化物網(wǎng)格層在該粘附增強層上；以及

蝕刻該金屬網(wǎng)格層、該粘附增強層及該氧化物網(wǎng)格層以形成多個金屬網(wǎng)格線、分別在所述多個金屬網(wǎng)格線上方延伸的多個粘附增強網(wǎng)格線、及分別在所述多個粘附增強網(wǎng)格線上方延伸的多個氧化物網(wǎng)格線。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，還包含以下步驟：

在沉積該金屬網(wǎng)格層之前，形成一緩沖層形成于該基板上，且形成一阻障層于該緩沖層上；以及

蝕刻該阻障層及該緩沖層以形成分別在所述多個金屬網(wǎng)格線下方延伸的多個阻障網(wǎng)格線，及分別在所述多個阻障網(wǎng)格線下方延伸的緩沖網(wǎng)格線。