[發明專利]一種蒸鍍有能提高靈敏度的高反膜的微通道板及蒸鍍方法

在審

• 申請號: 202110047290.5
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112885700A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 李磊;譚遠航;夏曉嬌;李臻;高海鵬;李金沙;馬懷超;許有毅;宋奇庚;楊璽文;李嬌嬌;高兵祥;朱航;許靈吉;鄭林濤;唐順達;李家保;尹昌娟
• 申請（專利權）人: 北方夜視技術股份有限公司
• 主分類號: H01J43/24
• 分類號: H01J43/24;H01J9/12;H01J31/50;C23C14/24;C23C14/14
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

本發明公開了一種蒸鍍有能提高靈敏度的高反膜的微通道板及蒸鍍方法。所述微通道板通過是真空鍍膜技術，在其的輸入端導電層表面鍍制一層介質膜，將輸入端導電層覆蓋；所述介質膜層既能覆蓋微通道板通道入口內的輸入電極，又能覆蓋微通道板輸入端表面上的輸入電極；所述介質膜層材料為鋁或銀。該膜層蒸鍍方法包括在鍍膜機的坩堝中放入蒸發源銀錠或鋁錠、鍍膜機真空度達到2x10^?5時鍍膜程序、鍍膜程序結束后向真空室充入氮氣至恢復至大氣壓并取出微通道板。采用本發明提供的鍍銀或鍍鋁的微通道板制作的像增強器，靈敏度均值比正常管分別提升了7％以上，進一步實現了像增強品質的提升。

技術領域

本發明屬于微光像增強器技術領域，尤其涉及一種蒸鍍有能提高靈敏度的高反膜的微通道板及蒸鍍方法。

背景技術

微光像增強器(Low Level Light Image Intensifier)是微光夜視儀的核心器件，具有將微弱或者不可見的光輻射圖像轉換為可見光圖像的能力，因此微光像增強器應具備光譜轉換、亮度增強和光學成像的功能。目前的微光像增強器由光電陰極、電子光學系統、微通道板和陽極熒光屏組成。

光電陰極正是一種具有能將光學圖像轉換為電子圖像的材料，微通道板(MicroChannel Plate,MCP)是一種蜂窩狀的薄片式電子倍增器件，具有優良的二次電子發射性能，電子進入通道并撞擊內壁表層，會產生二次電子。電子在微通道板內定向電場的作用下，沿輸入面向輸出面加速運動，經過多次碰撞后，在輸出口端就會產生成千上萬倍的電子輸出，從而實現微弱信號的放大。

光電陰極具有一定的透過率，若透過的光可以再次入射到光電陰極上將再次產生光電子。若落在微通道板孔間的電子可以再次進入通道內，那么經過孔間反射的光再次入射在陰極上所產生的光電子就可以成為對成像有效的光電子。在微通道板上鍍膜，增加其反射率，即可增強反射到光電陰極上的光，達到增加靈敏度的效果，且原始靈敏度越高，增加的靈敏度就越多。

發明內容

為了提高像增強器的靈敏度，本發明在現有的像增強器的制作工藝上，提供了一種提高像增強器靈敏度的方法。

本發明提供了一種蒸鍍有能提高靈敏度的高反膜的微通道板及蒸鍍方法。通過真空鍍膜方式，在微通道板的輸入端導電層表面鍍制一層介質膜，將輸入端導電層覆蓋，介質膜層既能覆蓋微通道板通道入口內的輸入電極，又能覆蓋微通道板輸入端表面上的輸入電極。

所述介質膜層材料為鋁和銀，所述鋁錠純度為99.9％，所述銀錠純度為99.9％。

進一步的，所述介質薄膜層蒸鍍的厚度：鋁膜為50nm、銀膜為100nm。

所述介質膜層的蒸鍍工藝如下：

1.將MCP放入鍍膜夾具中，隨后放入鍍膜機的工作轉盤上；

2.在鍍膜機的坩堝中放入蒸發源銀錠或鋁錠；

3.關閉真空鍍膜機門，啟動鍍膜機真空抽氣系統，當系統真空度達到2x10^-5時，鍍膜機自動進行鍍膜程序，

4.30分鐘后，鍍膜程序結束，停止真空抽氣，并向真空室充入氮氣，使真空室的真空度恢復至大氣壓，方可取出微通道板。

進一步的，鍍膜后的MCP采用專用測試管進行靈敏度的測試。測試管按現用像增強器單管工藝制作，其中，MCP放置處采用不銹鋼絲電焊為井字形絲架代替，在靈敏度測試中起到收集電子的作用；陽極熒光屏采用透射率為99％的光學玻璃代替。測量時將MCP貼于陽極玻璃屏上并用黑色護帽覆蓋住陽極屏即可測試不同MCP的反射率對同一像增強器單管靈敏度的影響。

與現有技術相比，本發明具有以下技術效果：采用本發明提供的鍍銀和鍍鋁鋁的微通道板制作的像增強器，靈敏度均值比正常管分別提升了7％以上，進一步實現了像增強品質的提升。

附圖說明