[發明專利]一種蒸鍍有能提高靈敏度的高反膜的微通道板及蒸鍍方法在審
| 申請號： | 202110047290.5 | 申請日： | 2021-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN112885700A | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發明（設計）人： | 李磊;譚遠航;夏曉嬌;李臻;高海鵬;李金沙;馬懷超;許有毅;宋奇庚;楊璽文;李嬌嬌;高兵祥;朱航;許靈吉;鄭林濤;唐順達;李家保;尹昌娟 | 申請（專利權）人： | 北方夜視技術股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J43/24 | 分類號： | H01J43/24;H01J9/12;H01J31/50;C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 昆明今威專利商標代理有限公司 53115 | 代理人： | 賽曉剛 |
| 地址： | 650217*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 蒸鍍有能 提高 靈敏度 高反膜 通道 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種蒸鍍有能提高靈敏度的高反膜的微通道板，包括微通道板，其特征在于：
通過真空鍍膜方式在微通道板的輸入端導電層表面鍍制一層介質膜，將輸入端導電層覆蓋；
所述介質膜層既能覆蓋微通道板通道入口內的輸入電極，又能覆蓋微通道板輸入端表面上的輸入電極；
所述介質膜層的材料為鋁或銀。
2.根據權利要求1所述的微通道板，其特征在于：
所述鋁質介質薄膜層蒸鍍的厚度為50nm。
3.根據權利要求1所述的微通道板，其特征在于：
所述銀質介質薄膜層蒸鍍的厚度為100nm。
4.根據權利要求1或2所述的微通道板，其特征在于：
所述介質膜層材料鋁的純度為99.9％。
5.根據權利要求1或3所述的微通道板，其特征在于：
所述介質膜層材料銀的純度為99.9％。
6.根據權利要求1至4任一項所述的微通道板的蒸鍍方法，其特征在于蒸鍍工藝如下：
(1)將MCP放入鍍膜夾具中，隨后放入鍍膜機的工作轉盤上；
(2)在鍍膜機的坩堝中放入蒸發源銀錠或鋁錠；
(3)關閉真空鍍膜機門，啟動鍍膜機真空抽氣系統，當系統真空度達到2x10-5時，鍍膜機自動進行鍍膜程序；
(4)30分鐘后，鍍膜程序結束，停止真空抽氣，并向真空室充入氮氣，使真空室的真空度恢復至大氣壓，取出微通道板。
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