[發明專利]一種智能芯片噴膜儀及其噴膜方法在審
| 申請號: | 202110043876.4 | 申請日: | 2021-01-13 |
| 公開(公告)號: | CN112530845A | 公開(公告)日: | 2021-03-19 |
| 發明(設計)人: | 鄭田來 | 申請(專利權)人: | 鄭田來 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 223800 江蘇省宿遷*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 智能 芯片 噴膜儀 及其 方法 | ||
1.一種智能芯片噴膜儀,包括外殼,其特征在于:所述外殼內設有內腔,所述內腔內設有夾緊裝置,所述夾緊裝置包括與所述內腔左壁面固定連接的驅動固定塊,所述驅動固定塊前端面設有開口向前的驅動槽,所述驅動槽內設有上下滑動的驅動滑塊,所述驅動滑塊前壁面鉸接設有夾具桿,所述夾具桿下壁面固定設有夾具塊,所述夾具塊內設有開口向下的夾具滑槽,所述夾具滑槽內上下滑動設有夾具滑塊,所述夾具滑塊上壁面與所述夾具滑槽上壁面之間連接設有電磁彈簧,所述夾具滑槽左壁面固定設有感應卡,所述內腔內設有冷卻裝置,所述冷卻裝置包括與所述驅動固定塊右端面固定連接的冷卻固定塊,所述冷卻固定塊內設有開口向下的冷卻槽,所述冷卻槽內上下滑動設有冷卻滑塊,所述冷卻滑塊上壁面與所述冷卻槽上壁面之間連接設有兩條冷卻彈簧,所述冷卻固定塊下壁面固定設有安裝塊,所述安裝塊內壁面固定設有風扇固定桿,所述風扇固定桿下端面固定設有風扇軸,所述風扇軸外壁面固定設有成環形的六個風扇頁,通過所述冷卻裝置完成對芯片噴膜后的快速冷卻,所述內腔內設有噴膜裝置,所述噴膜裝置包括與所述內腔右壁面固定連接的噴膜殼體,所述噴膜殼體內設有噴膜液腔,所述噴膜液腔內左右滑動設有第一滑塊,所述噴膜殼體內設有滑腔,所述滑腔內上下滑動設有第二滑塊,所述第一滑塊右壁面與所述噴膜液腔右壁面之間連接有復位彈簧,所述噴膜殼體左壁面固定設有與所述噴膜液腔相通的噴嘴,通過所述噴嘴實現噴膜液的噴灑,所述內腔內設有傳動裝置,所述傳動裝置包括與所述內腔左右壁面固定連接的載物基板,所述載物基板上設有開口向上的載物槽,所述載物槽內設有載物臺,所述載物臺的下壁面與所述載物槽下壁面之間連接有載物彈簧,所述載物臺與所述第一滑塊之間鉸接有第一搖桿,所述第二滑塊與所述第一滑塊之間連接設有第二搖桿,所述載物基板前壁面固定設有變速固定塊,所述變速固定塊內設有變速槽,所述變速槽內設有上下傾斜滑動的變速滑塊,所述變速滑塊上壁面固定設有推動桿,所述推動桿上壁面固定設有變速移動滑板,所述變速移動滑板上壁面滑動設有與所述第二滑塊下壁面固定連接的噴膜液推桿。
2.根據權利要求1所述的一種智能芯片噴膜儀,其特征在于:所述夾緊裝置還包括與所述夾具滑塊下壁面固定連接的夾具壓桿,所述夾具壓桿下壁面固定設有夾具壓板,所述夾具塊上鉸接有左右對稱的擺臂,所述擺臂下固定設有夾具搖塊,所述夾具搖塊內設有夾具搖桿滑槽,所述夾具搖桿滑槽內上下滑動設有夾具搖桿滑塊,所述夾具搖桿滑塊與所述夾具滑塊之間鉸接有夾具搖桿,通過所述夾具搖桿實現夾緊。
3.根據權利要求2所述的一種智能芯片噴膜儀,其特征在于:所述冷卻裝置還包括設置于所述內腔后壁面的驅動電機,所述驅動電機前壁面轉動設有第一軸,所述第一軸前壁面固定設有第一齒輪,所述第一齒輪前壁面固定設有第一鉸接點,所述第一鉸接點與所述驅動滑塊之間鉸接有第三搖桿,所述內腔后壁面轉動設有第二軸,所述第二軸前壁面固定設有與所述第一齒輪相嚙合的第二齒輪,所述冷卻固定塊前壁面轉動設有從動軸,所述從動軸前壁面固定與所述第二齒輪相嚙合的從動輪,所述從動輪與所述冷卻滑塊之間鉸接有冷卻搖桿,通過所述從動輪、第二齒輪以及所述第一齒輪之間的齒輪差實現的所述從動軸快速轉動。
4.根據權利要求3所述的一種智能芯片噴膜儀,其特征在于:所述傳動裝置還包括轉動設置于所述內腔后壁面的第三軸,所述內腔后壁面轉動設有位于所述第三軸右側的第四軸,所述第三軸與所述第四軸上均設有皮帶輪,兩個所述皮帶輪之間連接有傳動帶,所述內腔后壁面轉動設有第五軸,所述第五軸上固定設有第一斜齒輪,所述第一斜齒輪上嚙合有第二斜齒輪,所述第二斜齒輪頂部固定設有第五軸,所述第五軸上固定設有從動摩擦輪,所述從動摩擦輪上摩擦連接有主動摩擦輪,所述內腔前后端壁中設有移動槽,所述移動槽內可左右滑動的設有主動摩擦輪電機,所述主動摩擦輪電機的輸出軸貫穿所述主動摩擦輪的頂部且與所述主動摩擦輪固定連接,所述輸出軸頂部固定設有轉動塊,所述轉動塊與所述變速滑塊之間轉動連接有摩擦輪搖桿。
5.根據權利要求4所述的一種智能芯片噴膜儀,其特征在于:所述夾具桿左端面設有永磁體,所述驅動固定塊前側面且位于所述夾具桿左側固定設有電磁鐵,所述驅動槽左側內壁頂部固定設有電磁感應塊。
6.根據權利要求5所述的一種智能芯片噴膜儀的噴膜方法:
初始狀態時,主動摩擦輪電機關閉,驅動電機關閉,所述噴膜液腔內充滿噴膜液;
使用時,將待加工的芯片依次放置于傳動帶的右側,打開主動摩擦輪電機,主動摩擦輪電機轉動帶動輸出軸轉動,帶動主動摩擦輪轉動、從動摩擦輪轉動、第二斜齒輪、第一斜齒輪、第五軸轉動以及第五軸轉動,第五軸轉動轉到后帶動第四軸以及第三軸轉動,第三軸轉到后帶動皮帶輪轉動,從而使傳動帶轉動帶動芯片依次左移動;
當芯片即將到達夾緊裝置工作區域時,首次開啟驅動電機,第一軸轉動,帶動第一齒輪轉動,第三搖桿擺動,驅動滑塊下移動,帶動夾具桿、夾具塊、擺臂、夾具搖塊下移、夾具滑塊、夾具壓桿以及夾具壓板整體向下移動,剛好使得夾具壓板抵制移動過來的芯片,夾具壓板上移動,夾具壓桿上移動,夾具滑塊上移動,帶動夾具搖桿擺動,夾具搖桿滑塊下滑動,夾具搖塊擺動,擺臂擺動,電磁彈簧壓縮,夾具滑塊上壁面抵制感應卡,感應卡被接觸控制電磁彈簧維持壓縮狀態,此時第三搖桿繼續擺動,驅動滑塊上移動抵制電磁感應塊,所述電磁鐵與所述永磁體相對,所述電磁感應塊被觸發后控制所述電磁鐵通電,所述電磁鐵通電后與所述永磁體相斥,從而帶動所述夾具桿以及夾具塊向右擺動,當所述夾具塊位于所述載物臺上方后,所述感應卡控制所述電磁彈簧復位,所述夾具搖塊張開,芯片落在載物臺上;
當芯片落在載物臺上后,由于載物臺上芯片的重量的不同,可反應所需焊接用料和所用時長的不同,載物臺下移帶動第一搖桿擺動,第一滑塊左移,噴膜液腔內的電焊液被壓縮并通過噴嘴噴出,第一滑塊左移過程中,所述第二搖桿擺動致使第二滑塊向下移動,第二滑塊向下移動后帶動噴膜液推桿、變速移動滑板、推動桿、變速滑塊、摩擦輪搖桿下移,所述摩擦輪搖桿下移后通過所述輸出軸帶動所述摩擦輪以及所述主動摩擦輪電機向右移動,從而使摩擦輪與所述從動摩擦輪的接觸面積逐漸增大,致使所述從動摩擦輪帶動第五軸轉動的速度變慢,使得傳動帶轉動變慢,從而傳動帶上芯片到達夾緊裝置工作位置時間可以與噴涂時間相匹配;
與此同時,所述第一齒輪轉動轉動后通過第二齒輪帶動從動輪轉動,所述從動輪帶動冷卻搖桿擺動,冷卻滑塊往復上下壓縮冷卻槽內空氣,冷卻彈簧往復收縮,風扇頁轉動帶動,風扇軸轉動,冷卻槽壓縮風力向下,從而實現噴涂液的冷卻,進而實現快速膜化;噴膜加工完成后,人工將噴膜加工后的芯片取下即可,由此,往復即可實現,定速以及定量的芯片噴膜操作。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





