[發明專利]一種生瓷疊片裝置及方法

在審

• 申請號: 202110042525.1
• 申請日: 2021-01-13
• 公開（公告）號: CN112786519A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 楊述洪;凌丹丹
• 申請（專利權）人: 中國兵器工業集團第二一四研究所蘇州研發中心
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/48
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 張賞

本發明公開了一種生瓷疊片裝置及方法，該方法將對四角帶有定位孔的生瓷片置于四角帶有定位銷的承片臺上，并采用真空使生瓷片吸附在承片臺上進行脫模，然后采用真空吸盤將脫模后的生瓷片置于四角帶有定位銷的收集臺上，并利用吸盤噴射粘結膠進行疊片。本發明在疊片去除聚酯膜時，為了保證生瓷片不受損傷，在揭膜時利用真空吸附，將生瓷片牢牢吸附在承片臺上，使得生瓷片正反受力均勻，達到了生瓷片不變形，不受損傷的目的。

技術領域

本發明涉及一種生瓷疊片裝置及方法，屬于疊片技術領域。

背景技術

LTCC（低溫共燒陶瓷）電路具有三維布線密度高、可內埋集成元件、高頻傳輸性能好、環境適應能力強、長期可靠性高等顯著特點，已成為現代微電子組件的典型先進電路。在LTCC基板生產過程中，疊片工序是一個不可返工的過程，其精度高低直接影響了后續的組裝、電路的高頻性能、微波傳輸性能等。

目前，常用的疊片方法主要有：

1、利用疊片機，按照上片、真空吸片、揭膜、自動對準、運片、疊壓、熱壓（或噴膠），反復循環的方式進行。缺點：對于有多空腔的生瓷，在揭膜時容易導致生瓷片從吸盤脫落，導致生瓷片損壞。

2、疊片臺手動疊片：利用疊片臺的定位銷套生瓷片、揭膜、涂膠，反復循環。缺點：揭膜時會對生瓷有一個拉伸作用，容易導致生瓷片變形；不能對帶有多空腔、異型空腔的生瓷片揭膜；疊片精度較低。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供一種針對含有空腔的LTCC基板制作工藝中的生瓷疊片裝置及方法，該方法精準度高，滿足微波、空腔等高精度要求。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案如下：

本發明提供一種生瓷疊片裝置，包括：

用于放置生瓷片且對生瓷片進行脫模的承片臺，

用于將脫模后的生瓷片運送至收集臺以及對生瓷片噴射粘結膠的運片吸盤，

和用于疊片的收集臺；

所述運片吸盤位于承片臺和收集臺之間；

所述承片臺的四角各設一個第一定位銷，所述第一定位銷與生瓷片四角的定位孔一一對應；

所述運片吸盤的四角各設一個定位孔，所述定位孔與生瓷片四角的定位孔一一對應；

所述運片吸盤的四周設有噴膠孔，用于噴射粘結膠；

所述收集臺的四角各設一個第二定位銷，所述第二定位銷與生瓷片四角的定位孔一一對應。

進一步的，所述承片臺為多孔石臺面。

進一步的，所述噴膠孔設于運片吸盤上的定位孔之間，兩兩定位孔之間各設置3個噴膠孔。

進一步的，所述運片吸盤采用真空式吸盤。

進一步的，所述運片吸盤配置有豎直導軌和水平導軌。

進一步的，所述裝置底部設有腳踏開關，用于開啟承片臺的真空。

進一步的，所述裝置臺面上設有按鈕式開關，用于控制運片吸盤沿導軌運動。

本發明還提供一種生瓷疊片方法，包括：

a.將印有生瓷片空腔圖形的承片紙放在承片臺上，使承片紙的定位孔一一對應套在第一定位銷上；

b.開啟腳踏開關，將四角帶定位孔的頂層生瓷片放在承片臺上印有空腔圖形的承片紙上，使定位孔一一對應套在第一定位銷上；所述頂層生瓷片的聚酯膜向上；腳踏開關開啟后，承片紙和生瓷片一起牢牢吸在承片臺上；

c.采用有粘性的滾輪粘住生瓷片上聚酯膜的一角，壓住并滾動，將聚酯膜揭開；

d.按下運片吸盤的啟動按鈕，將生瓷片運到收集臺上；

e.控制運片吸盤從收集臺上上升到一定距離，開啟電磁閥，運片吸盤的噴膠孔噴射粘結膠，噴灑在生瓷片上；