[發(fā)明專利]一種生瓷疊片裝置及方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110042525.1 | 申請(qǐng)日: | 2021-01-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112786519A | 公開(公告)日: | 2021-05-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊述洪;凌丹丹 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國兵器工業(yè)集團(tuán)第二一四研究所蘇州研發(fā)中心 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/48 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224 | 代理人: | 張賞 |
| 地址: | 215163 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 生瓷疊片 裝置 方法 | ||
1.一種生瓷疊片裝置,其特征在于,包括:
用于放置生瓷片且對(duì)生瓷片進(jìn)行脫膜的承片臺(tái),
用于將脫膜后的生瓷片運(yùn)送至收集臺(tái)以及對(duì)生瓷片噴射粘結(jié)膠的運(yùn)片吸盤,
和用于疊片的收集臺(tái);
所述運(yùn)片吸盤位于承片臺(tái)和收集臺(tái)之間;
所述承片臺(tái)的四角各設(shè)一個(gè)第一定位銷,所述第一定位銷與生瓷片四角的定位孔一一對(duì)應(yīng);
所述運(yùn)片吸盤的四角各設(shè)一個(gè)定位孔,所述定位孔與生瓷片四角的定位孔一一對(duì)應(yīng);
所述運(yùn)片吸盤的四周設(shè)有噴膠孔,用于噴射粘結(jié)膠;
所述收集臺(tái)的四角各設(shè)一個(gè)第二定位銷,所述第二定位銷與生瓷片四角的定位孔一一對(duì)應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生瓷疊片裝置,其特征在于,所述承片臺(tái)為多孔石臺(tái)面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生瓷疊片裝置,其特征在于,所述噴膠孔設(shè)于運(yùn)片吸盤上的定位孔之間,兩兩定位孔之間各設(shè)置3個(gè)噴膠孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生瓷疊片裝置,其特征在于,所述運(yùn)片吸盤采用真空式吸盤。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生瓷疊片裝置,其特征在于,所述運(yùn)片吸盤配置有豎直導(dǎo)軌和水平導(dǎo)軌。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生瓷疊片裝置,其特征在于,所述裝置底部設(shè)有腳踏開關(guān),用于開啟承片臺(tái)的真空。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生瓷疊片裝置,其特征在于,所述裝置臺(tái)面上設(shè)有按鈕式開關(guān),用于控制運(yùn)片吸盤沿導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。
8.一種生瓷疊片方法,其特征在于,包括:
a.將印有生瓷片空腔圖形的承片紙放在承片臺(tái)上,使承片紙的定位孔一一對(duì)應(yīng)套在第一定位銷上;
b.開啟腳踏開關(guān),將四角帶定位孔的頂層生瓷片放在承片臺(tái)上印有空腔圖形的承片紙上,使定位孔一一對(duì)應(yīng)套在第一定位銷上;所述頂層生瓷片的聚酯膜向上;腳踏開關(guān)開啟后,承片紙和生瓷片一起牢牢吸在承片臺(tái)上;
c.采用有粘性的滾輪粘住生瓷片上聚酯膜的一角,壓住并滾動(dòng),將聚酯膜揭開;
d.按下運(yùn)片吸盤的啟動(dòng)按鈕,將生瓷片運(yùn)到收集臺(tái)上;
e.控制運(yùn)片吸盤從收集臺(tái)上上升到一定距離,開啟電磁閥,運(yùn)片吸盤的噴膠孔噴射粘結(jié)膠,噴灑在生瓷片上;
f.更換印有下一層生瓷片空腔圖形的承片紙?zhí)自诔衅_(tái)上,并將下一層生瓷片采用步驟b的方法放在承片臺(tái)上;
g.重復(fù)步驟c~f直到倒數(shù)第二層生瓷片疊放完成;
h.重復(fù)步驟c~d,完成最后一層生瓷片的疊放;
i.連同收集臺(tái)一起取下生瓷坯,進(jìn)行后續(xù)工序操作。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種生瓷疊片方法,其特征在于,所述將生瓷片運(yùn)到收集臺(tái)上,具體包括:
運(yùn)片吸盤運(yùn)行到承片臺(tái)上方,下降并壓住承片臺(tái)上的生瓷片;
打開運(yùn)片吸盤真空,同時(shí)關(guān)閉承片臺(tái)的真空;
運(yùn)片吸盤吸住生瓷片后上升并運(yùn)行到收集臺(tái)上方;
運(yùn)片吸盤下降并壓到收集臺(tái)上,關(guān)閉運(yùn)片吸盤真空,打開壓空,將生瓷片四角的定位孔套在四個(gè)第二定位銷上。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種生瓷疊片方法,其特征在于,還包括:
預(yù)先裁剪承片紙,將承片紙裁剪成生瓷片一樣大小,并在承片紙打上定位孔,用玻璃釉漿料在承片紙上印刷與生瓷片一致的空腔圖形;
所述定位孔與承片臺(tái)上的第一定位銷一一對(duì)應(yīng)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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