[發(fā)明專利]聲表面波濾波器及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110036031.2
• 申請日: 2021-01-12
• 公開（公告）號: CN113162577A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設計）人: 岸田和人;垣尾省司;水野潤
• 申請（專利權）人: 株式會社日本制鋼所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H3/08
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

本發(fā)明涉及一種聲表面波濾波器及其制造方法。該聲表面波濾波器包括：氧化物晶體基板；壓電晶體基板，鍵合在所述氧化物晶體基板上；和叉指式換能器電極，形成在所述壓電晶體基板上；其中，所述壓電晶體基板的厚度為0.05至0.5μm，并且使用奇次諧波。

技術領域

本發(fā)明涉及濾波器，尤其涉及一種聲表面波濾波器和用于制造聲表面波濾波器的方法。

背景技術

隨著諸如移動電話之類的移動通信設備的發(fā)展，期望改善聲表面波(SAW，SurfaceAcoustic Wave)濾波器，例如可以提高其頻率并加寬其頻帶。如在申請?zhí)枮?018-026695、2019-004308、2019-145920的日本未審查專利申請公開文件中所披露的，本申請的發(fā)明人已經(jīng)開發(fā)了SAW濾波器，其中壓電晶體基板被鍵合在氧化物基板上，例如作為石英基板。

SAW濾波器包括形成在壓電晶體基板上方的梳狀IDT(叉指式換能器)電極。于1969年12月刊登的第16卷，第12期，IEEE Transactions on Electron Devices期刊中第1014-1017頁中刊登的由H.Engan發(fā)表的“叉指式換能器的空間諧波對彈性表面波的激勵”(以下簡稱為Engan)中公開了SAW濾波器的奇次諧波相對于其基波的相對激勵強度根據(jù)IDT電極的各個電極指寬w和電極指間距p之間的比率(金屬化率)w/d而變化。

發(fā)明內(nèi)容

針對將壓電晶體基板鍵合在氧化物基板上的聲表面波濾波器，發(fā)明人在對其開發(fā)過程中發(fā)現(xiàn)了各種問題。

根據(jù)本發(fā)明的描述以及附圖，其他待解決問題及新穎特征將變得容易理解。

在根據(jù)一實施例的聲表面波濾波器中，在由氧化物晶體制成的支撐基板上鍵合的壓電晶體基板的厚度為0.05至0.5μm，并且使用奇次諧波。

根據(jù)實施例，可以提供優(yōu)良的聲表面波濾波器。

根據(jù)下文給出的詳細描述和附圖，本公開內(nèi)容的上述和其他目的，特征和優(yōu)點將變得更加充分地理解，附圖僅通過說明的方式給出，因此不應視為對本公開內(nèi)容的限制。

附圖說明

圖1是示出根據(jù)第一實施例的使用SAW濾波器的無線電接收電路(radioreceiving circuit)RX的配置示例的框圖。

圖2為第一實施例的SAW濾波器的配置示例的截面圖。

圖3是表示奇次諧波的相對激勵強度與金屬化率的關系的曲線圖。

圖4是示出漏聲表面波關于歸一化的LT基板的厚度h的機電耦合系數(shù)K²的變化的曲線圖，其中該歸一化基于基波的波長λ。

圖5是示出通過根據(jù)第一實施例的SAW濾波器的仿真來分析諧振特性的結果的曲線圖。

具體實施方式

以下，參考附圖對具體實施方式進行詳細描述。然而，本公開不限于以下示出的實施例。此外，為了清晰起見，以下描述和附圖在適當之處進行了簡化。

(第一實施例)

使用聲表面波過濾器的無線電接收電路RX的配置

首先，將參照圖1描述根據(jù)第一實施例的使用聲表面波濾波器(以下也稱為SAW濾波器)的無線電接收電路RX的配置。圖1是示出根據(jù)第一實施例的使用SAW濾波器的無線電接收電路RX的配置示例的框圖。圖1所示的無線電接收電路RX是超外差型無線電接收電路，并且例如用于移動電話。注意，圖1所示的無線電接收電路RX僅是使用SAW濾波器的示例，SAW濾波器的使用不限于任何特定用途。

首先，將給出無線電接收電路RX的概述。