[發(fā)明專利]蒸鍍坩堝及具有該蒸鍍坩堝的蒸鍍設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110035016.6 | 申請日: | 2021-01-12 |
| 公開(公告)號: | CN112877645B | 公開(公告)日: | 2023-06-16 |
| 發(fā)明(設計)人: | 徐海 | 申請(專利權)人: | 合肥京東方卓印科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京律智知識產權代理有限公司 11438 | 代理人: | 王輝;闞梓瑄 |
| 地址: | 230012 安徽省合肥市新*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 坩堝 具有 設備 | ||
1.一種蒸鍍坩堝,其特征在于,包括:
坩堝支架,所述坩堝支架包括底座、固定架和連接于所述底座和所述固定架之間的支撐件;
坩堝本體,所述坩堝本體包括固定本體和可伸縮本體,所述固定本體固定于所述固定架,所述固定本體具有固定容納腔,所述固定本體的一端設置有排出口,所述固定本體的另一端與所述可伸縮本體的一端連通,所述可伸縮本體的另一端為封閉端,所述可伸縮本體沿所述固定本體和所述可伸縮本體的疊加方向伸縮,所述可伸縮本體具有可變容納腔,所述排出口、所述固定容納腔和所述可變容納腔相互連通,所述固定容納腔和所述可變容納腔構成容納腔,用于容納蒸鍍材料;
驅動組件,所述驅動組件包括固定部和移動部,所述固定部固定于所述底座,所述移動部連接于所述可伸縮本體遠離所述排出口的一側,所述移動部沿所述可伸縮本體的伸縮方向往復移動;
導軌,所述導軌連接于所述底座和所述固定架之間,所述移動部與所述導軌滑動連接,所述導軌的數(shù)量為多個,周向均勻分布于所述可伸縮本體的外圍;
所述移動部與所述導軌之間設置有連接板,所述連接板的一端固定連接于所述移動部,所述連接板的另一端滑動連接于所述導軌;
所述連接板與所述導軌的連接處設置有直線軸承,所述連接板連接所述導軌的一端貫穿設置有安裝孔,所述安裝孔與所述直線軸承的軸承孔同軸設置,所述導軌貫穿所述安裝孔和所述軸承孔,所述安裝孔、所述軸承孔和所述導軌的形狀大小相匹配。
2.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述驅動組件還包括驅動電路,所述移動部為第一磁力件,所述固定部為第二磁力件,所述第一磁力件和所述第二磁力件中的至少一者與所述驅動電路電連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述連接板與所述直線軸承之間設置有墊塊,所述墊塊貫穿設置有通孔,所述通孔與所述軸承孔同軸設置。
4.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述支撐件包括多個支撐柱,所述支撐柱周向均勻分布于所述可伸縮本體的外圍,所述支撐柱的頂端與所述固定架可拆卸連接,所述支撐柱的底端與所述底座固定連接。
5.根據(jù)權利要求4所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述支撐柱位于所述導軌遠離所述可伸縮本體的一側。
6.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述可伸縮本體為彈性波紋管。
7.一種蒸鍍設備,其特征在于,包括如權利要求1-6任一項所述的蒸鍍坩堝。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





