[發明專利]蒸鍍坩堝及具有該蒸鍍坩堝的蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202110035016.6
• 申請日: 2021-01-12
• 公開（公告）號: CN112877645B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 徐海
• 申請（專利權）人: 合肥京東方卓印科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

本公開提供了一種蒸鍍坩堝及具有該蒸鍍坩堝的蒸鍍設備，屬于顯示技術領域，該蒸鍍坩堝包括：坩堝支架，包括底座、固定架和連接于底座和固定架之間的支撐件；坩堝本體，包括固定本體和可伸縮本體，固定本體具有固定容納腔，固定本體的一端設置有排出口，另一端與可伸縮本體的一端連通，可伸縮本體具有可變容納腔，固定容納腔和可變容納腔構成容納腔，用于容納蒸鍍材料；驅動組件，包括固定部和移動部，固定部固定于底座，移動部連接于可伸縮本體遠離排出口的一側，移動部沿可伸縮本體的伸縮方向往復移動。本公開提供的蒸鍍坩堝，驅動組件通過驅動可伸縮本體伸縮，維持蒸鍍材料與排出口之間的距離基本不變，確保蒸鍍的均一性和穩定性。

技術領域

本公開涉及顯示技術領域，尤其涉及一種蒸鍍坩堝及具有該蒸鍍坩堝的蒸鍍設備。

背景技術

近年隨著移動消費電子產品的不斷更新換代，帶動了顯示器行業的迅速發展。在顯示器制造工藝中，材料蒸鍍是較為核心的一段工藝。蒸鍍是指在高真空環境下對鍍膜材料進行加熱，使其升華并在基板上成膜。目前，在顯示產品的蒸鍍工藝中，所使用的蒸鍍坩堝均為容納腔體深度固定的結構。隨著坩堝容納腔體內蒸鍍材料的減少，蒸鍍材料與腔體頂部的距離逐漸增加，從而影響蒸鍍均一性及穩定性。

所述背景技術部分公開的上述信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

本公開的目的在于提供一種蒸鍍坩堝及具有該蒸鍍坩堝的蒸鍍設備，該蒸鍍坩堝坩堝本體包括可伸縮本體，驅動組件通過驅動可伸縮本體伸縮，進而改變可變容納腔的大小，并進一步改變容納腔內蒸鍍材料與排出口之間的距離，維持蒸鍍材料與排出口之間的距離基本不變，從而確保蒸鍍的均一性和穩定性。

為實現上述發明目的，本公開采用如下技術方案：

根據本公開的第一個方面，提供一種蒸鍍坩堝，包括：

坩堝支架，所述坩堝支架包括底座、固定架和連接于所述底座和所述固定架之間的支撐件；

坩堝本體，所述坩堝本體包括固定本體和可伸縮本體，所述固定本體固定于所述固定架，所述固定本體具有固定容納腔，所述固定本體的一端設置有排出口，所述固定本體的另一端與所述可伸縮本體的一端連通，所述可伸縮本體的另一端為封閉端，所述可伸縮本體沿所述固定本體和所述可伸縮本體的疊加方向伸縮，所述可伸縮本體具有可變容納腔，所述排出口、所述固定容納腔和所述可變容納腔相互連通，所述固定容納腔和所述可變容納腔構成容納腔，用于容納蒸鍍材料；

驅動組件，所述驅動組件包括固定部和移動部，所述固定部固定于所述底座，所述移動部連接于所述可伸縮本體遠離所述排出口的一側，所述移動部沿所述可伸縮本體的伸縮方向往復移動。

在本公開的一種示例性實施例中，所述驅動組件還包括驅動電路，所述移動部為第一磁力件，所述固定部為第二磁力件，所述第一磁力件和所述第二磁力件中的至少一者與所述驅動電路電連接。

在本公開的一種示例性實施例中，所述蒸鍍坩堝還包括：

導軌，所述導軌連接于所述底座和所述固定架之間，所述移動部與所述導軌滑動連接。

在本公開的一種示例性實施例中，所述移動部與所述導軌之間設置有連接板，所述連接板的一端固定連接于所述移動部，所述連接板的另一端滑動連接于所述導軌。

在本公開的一種示例性實施例中，所述連接板與所述導軌的連接處設置有直線軸承，所述連接板連接所述導軌的一端貫穿設置有安裝孔，所述安裝孔與所述直線軸承的軸承孔同軸設置，所述導軌貫穿所述安裝孔和所述軸承孔，所述安裝孔、所述軸承孔和所述導軌的形狀大小相匹配。

在本公開的一種示例性實施例中，所述連接板與所述直線軸承之間設置有墊塊，所述墊塊貫穿設置有通孔，所述通孔與所述軸承孔同軸設置。