[發明專利]一種具有側出氣孔的功率器件高溫高壓測試用探針卡

有效

• 申請號: 202110032439.2
• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN112630480B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 趙梁玉;王艾琳;王興剛;周明
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有側出氣孔的功率器件高溫高壓測試用探針卡，其特征在于，從上到下依次設置進氣系統（1）、PCB板（2）、轉接層（3）、導引板（4）和探針（5）；所述進氣系統（1）底部具有多個下出氣孔（1-1）和側出氣孔（1-2），所述PCB板（2）上分布有與下出氣孔（1-1）位置、形狀和數量均相同的第一通孔（2-1），所述轉接層（3）上分布有與下出氣孔（1-1）位置、形狀和數量均相同的第二通孔（3-1），所述導引板（4）上分布有與下出氣孔（1-1）位置、形狀和數量均相同的第三通孔（4-1），下出氣孔（1-1）、第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）同軸設置，從下出氣孔（1-1）噴射出的高溫高壓氣體，依次經過第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）后，吹入導引板（4）與被測晶圓（6）之間；

所述進氣系統（1）還包括泄壓孔（1-3），所述泄壓孔（1-3）內壁攻有螺紋，并旋擰有調整件（1-5），所述調整件（1-5）包括接觸端（1-5-1）、環形磁鐵（1-5-2）和上磁鐵固定端（1-5-3），所述接觸端（1-5-1）截面為T形、中間具有通孔，接觸端（1-5-1）寬部側壁套有螺紋，用于旋擰在泄壓孔（1-3）內壁，接觸端（1-5-1）窄部設置有環形磁鐵（1-5-2），接觸端（1-5-1）窄部側壁套有螺紋，所述上磁鐵固定端（1-5-3）內壁攻有螺紋，用于旋擰在接觸端（1-5-1）窄部側壁，接觸端（1-5-1）寬部下方與上磁鐵固定端（1-5-3）上方將環形磁鐵（1-5-2）固定；所述泄壓孔（1-3）內壁還旋擰有閥門件（1-4），所述閥門件（1-4）包括截面為倒T形、中間具有上窄下寬階梯通孔的連接件（1-4-1），所述連接件（1-4-1）窄部側壁套有螺紋，用于旋擰在泄壓孔（1-3）內壁，所述階梯通孔的寬部放置有圓形磁鐵（1-4-2），所述圓形磁鐵（1-4-2）上方粘貼有密封墊（1-4-3），圓形磁鐵（1-4-2）側壁設置有豁口，圓形磁鐵（1-4-2）底部設置有豁口，側壁豁口和底部豁口相連，階梯通孔的寬部內壁攻有螺紋，并旋擰有中間具有通孔的遮擋環（1-4-4），圓形磁鐵（1-4-2）在環形磁鐵（1-5-2）的吸引和壓縮空氣的推動下，能夠在遮擋環（1-4-4）上方上下運動；

所述的側出氣孔（1-2）按照恒溫空氣流動方向，橫截面積逐漸增大，在側出氣孔（1-2）的外端部，形狀為寬度大于高度的矩形；在側出氣孔（1-2）的外端部下方，轉軸連接有擋板（1-2-1），所述擋板（1-2-1）的另一側邊緣安裝有拉繩（1-2-2），所述拉繩（1-2-2）從側出氣孔（1-2）的上方穿出，在側出氣孔（1-2）的上方，還設置有拉繩固定端（1-2-3），所述拉繩固定端（1-2-3）包括框架（1-2-3-1），設置在框架（1-2-3-1）中并能夠沿框架（1-2-3-1）上下運動的固定板（1-2-3-2），位于固定板（1-2-3-2）下方和框架（1-2-3-1）底部上方的壓簧（1-2-3-3），位于框架（1-2-3-1）上方的開關（1-2-3-4），所述開關（1-2-3-4）通過穿過框架（1-2-3-1）的支架（1-2-3-5）連接到固定板（1-2-3-2）上，拉繩（1-2-2）從固定板（1-2-3-2）的上方穿過框架（1-2-3-1），在壓簧（1-2-3-3）的作用下，擠在固定板（1-2-3-2）與框架（1-2-3-1）之間，需要調整的時候，按動開關（1-2-3-4），使固定板（1-2-3-2）向下運動，調整拉繩（1-2-2），在調整好位置后，松開開關（1-2-3-4）即可。

2.根據權利要求1所述的一種具有側出氣孔的功率器件高溫高壓測試用探針卡，其特征在于，所述進氣系統（1）中組成泄壓結構的各零部件的安裝方法包括以下步驟：

步驟a、將調整件（1-5）倒置，將環形磁鐵（1-5-2）套在接觸端（1-5-1）上，并旋擰磁鐵固定端（1-5-3），將環形磁鐵（1-5-2）固定；

步驟b、將調整件（1-5）正置，調整件（1-5）的接觸端（1-5-1）旋擰入泄壓孔（1-3）中；

步驟c、將閥門件（1-4）倒置，將下方粘貼有密封墊（1-4-3）的圓形磁鐵（1-4-2）放入閥門件（1-4）的階梯通孔中；

步驟d、將遮擋環（1-4-4）安裝在閥門件（1-4）的階梯通孔中；

步驟e、將閥門件（1-4）正置，將閥門件（1-4）的連接件（1-4-1）旋擰入泄壓孔（1-3）中。