[發明專利]一種轉移裝置及轉移方法

在審

• 申請號: 202110031508.8
• 申請日: 2021-01-11
• 公開（公告）號: CN112864076A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 高志坤;彭錦濤;秦斌;王瑋
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/66;H01L21/67;H01L33/48
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 解婷婷;曲鵬

一種轉移裝置及轉移方法，所述轉移裝置包括設置在所述襯底上的至少一個轉移結構，所述轉移結構包括：光敏檢測子電路、轉移控制子電路和轉移頭，所述光敏檢測子電路連接所述轉移控制子電路，所述轉移控制子電路連接所述轉移頭，所述光敏檢測子電路被配置為，檢測發光元件是否發光，輸出光敏檢測信號至所述轉移控制子電路；所述轉移控制子電路被配置為，根據所述光敏檢測信號，輸出轉移控制信號至所述轉移頭，以控制所述轉移頭產生或失去吸附力；所述轉移頭被配置為，接收所述轉移控制子電路的轉移控制信號，產生或失去吸附力，以拾取或釋放所述發光元件。

技術領域

本申請實施例涉及但不限于顯示技術，尤指一種轉移裝置及轉移方法。

背景技術

微型發光二極管(Micro-LED)顯示技術兼具液晶顯示(Liquid Crystal Display，LCD)和有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)的優點，具有低功耗、高亮度、高對比度、超高分辨率與色彩飽和度、反應速度快、超省電、長壽命、效率高等特點，被視作現有技術水平下的終極顯示技術。制備過程中涉及檢測合格后將發光二極管(LightEmitting Diode，LED)轉移到顯示基板上的巨量轉移過程，技術難度較大。

發明內容

以下是對本文詳細描述的主題的概述。本概述并非是為了限制權利要求的保護范圍。

本公開實施例提供了一種轉移裝置和轉移方法，提高轉移效率。

一方面，本公開實施例提供了一種轉移裝置，包括設置在襯底上的至少一個轉移結構，所述轉移結構包括：光敏檢測子電路、轉移控制子電路和轉移頭，所述光敏檢測子電路連接所述轉移控制子電路，所述轉移控制子電路連接所述轉移頭，其中：

所述光敏檢測子電路被配置為，檢測發光元件是否發光，輸出光敏檢測信號至所述轉移控制子電路；

所述轉移控制子電路被配置為，根據所述光敏檢測信號，輸出轉移控制信號至所述轉移頭，以控制所述轉移頭產生或失去吸附力；

所述轉移頭被配置為，接收所述轉移控制子電路的轉移控制信號，產生或失去吸附力，以拾取或釋放所述發光元件。

在一示例性實施例中，所述光敏檢測子電路包括光控開關子電路，

所述光敏檢測子電路包括光控開關子電路，所述光控開關子電路分別與第一電源端和第一節點連接，所述轉移控制子電路連接所述第一節點，所述光控開關子電路被配置為，當所述發光元件發光時，向所述第一節點提供所述第一電源端的信號；當所述發光元件不發光時，關斷所述第一電源端和所述第一節點。

在一示例性實施例中，所述轉移控制子電路包括第一控制子電路、第二控制子電路、第三控制子電路和存儲子電路，其中：

所述第一控制子電路分別與所述第一節點、第二電源端和控制信號端連接，被配置為，在所述控制信號端的控制下，向所述第一節點提供所述第二電源端的信號；

所述第二控制子電路分別與第三電源端、所述第一節點和第二節點連接，被配置為，在所述第一節點的控制下，向所述第二節點提供所述第三電源端的信號；

所述存儲子電路分別與所述第二節點和所述轉移頭的第一電極連接，被配置為，存儲所述第二節點和所述轉移頭的第一電極之間的電壓值；

所述第三控制子電路分別與第四電源端、所述第一節點和所述轉移頭的第二電極連接，被配置為，在所述第一節點的控制下，向所述轉移頭的第二電極提供所述第四電源端的信號。

在一示例性實施例中，所述第一電源端為高電平信號，所述第二電源端為低電平信號；或者，所述第一電源端為低電平信號，所述第二電源端為高電平信號。

在一示例性實施例中，所述光控開關子電路包括光敏電阻，所述光敏電阻的一端連接所述第一電源端，另一端連接所述第一節點。