[發明專利]一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法在審
| 申請號: | 202110030832.8 | 申請日: | 2021-01-11 |
| 公開(公告)號: | CN112786820A | 公開(公告)日: | 2021-05-11 |
| 發明(設計)人: | 高寒飛;吳雨辰;江雷 | 申請(專利權)人: | 季華實驗室 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56 |
| 代理公司: | 佛山市海融科創知識產權代理事務所(普通合伙) 44377 | 代理人: | 陳志超;唐敏珊 |
| 地址: | 528200 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 利用 仿生 毛細管 微流道 進行 相加 方法 | ||
本發明提供了一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法,包括步驟:A1.制備其至少一面具有多個微流道的微流道模板;A2.制備基底;A3.把含有發光材料的分散液或溶液滴在所述基底上鋪展;A4.把所述微流道模板具有微流道的一面壓在所述基底上,從而使所述微流道與基底之間圍成毛細管微腔;A5.靜置以待溶劑揮發完全后把所述微流道模板與基底分開,得到具有發光材料微納圖案的基底;利用該方法易于大面積制備具有發光材料微納圖案的基底,且實施難度小,實施成本較低。
技術領域
本發明涉及顯示設備生產技術領域,特別涉及一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法。
背景技術
一些顯示設備(如LED顯示屏等)中具有會有發光層,發光層中一般是在基底上用發光材料(例如量子點、鈣鈦礦或有機發光分子材料等)制成微納圖案,這種顯示技術,由于其優秀的光學特性,例具有如亮度高、響應快、電光轉化率高以及光譜半峰寬窄等優點,因而受到了市場的歡迎,生產廠家的喜愛。在制作發光層時,一般可通過蒸鍍法、光刻法、液相加工法等方法在基底上制備發光材料微納圖案,其中,蒸鍍法、光刻法對不同發光材料的適用范圍較小,而液相加工法的適用范圍更大(其中尤其適合于量子點和高沸點有機分子),但是液相加工法面臨著大規模加工困難、實施成本高、重復性差等缺點。
發明內容
為解決上述現有技術中的技術問題中的至少一項,本發明的目的在于提供一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法,易于大面積制備具有發光材料微納圖案的基底,且實施成本較低。
為了達到上述目的,本發明采取了以下技術方案:
一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法,包括步驟:
A1.制備其至少一面具有多個微流道的微流道模板;
A2.制備基底;
A3. 把含有發光材料的分散液或溶液滴在所述基底上鋪展;
A4. 把所述微流道模板具有微流道的一面壓在所述基底上,從而使所述微流道與基底之間圍成毛細管微腔;
A5. 靜置以待溶劑揮發完全后把所述微流道模板與基底分開,得到具有發光材料微納圖案的基底。
所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法中,所述微流道的至少一端延伸至微流道模板的邊沿形成開放結構。
所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法中,所述微流道的深度大于5μm且小于20μm、寬度大于2μm且小于10μm。
一些實施方式中,所述微流道為直流道,其長度大于5mm;所述微流道之間等間隔平行設置,且間隔大于10μm且小于或等于微流道寬度的5倍。
所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法中,所述微流道模板由柔性材料制成。
一些實施方式中,所述柔性材料為PDMS。
所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法中,步驟A1包括:
制備具有微柱結構的模板基片;
用所述模板基片作為復形模板進行復形得到具有微流道的微流道模板;所述微柱結構為與所述微流道相對應的凸紋。
所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法中,步驟A2之后、步驟A3之前,還包括步驟:
對所述基底進行清洗處理和烘干處理。
進一步的,對所述基底進行清洗處理的步驟包括:分別在水、乙醇溶劑中用超聲波清洗5min。
所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法中,步驟A4中,用不大于20N·cm-2的壓強壓緊所述微流道模板。
有益效果:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





