[發明專利]一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法在審
| 申請號： | 202110030832.8 | 申請日： | 2021-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN112786820A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 高寒飛;吳雨辰;江雷 | 申請（專利權）人： | 季華實驗室 |
| 主分類號： | H01L51/56 | 分類號： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 佛山市海融科創知識產權代理事務所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陳志超;唐敏珊 |
| 地址： | 528200 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 仿生 毛細管 微流道 進行 相加 方法 | ||
1.一種利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于，包括步驟：
A1.制備其至少一面具有多個微流道的微流道模板；
A2.制備基底；
A3. 把含有發光材料的分散液或溶液滴在所述基底上鋪展；
A4. 把所述微流道模板具有微流道的一面壓在所述基底上，從而使所述微流道與基底之間圍成毛細管微腔；
A5. 靜置以待溶劑揮發完全后把所述微流道模板與基底分開，得到具有發光材料微納圖案的基底。
2.根據權利要求1所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,所述微流道的至少一端延伸至微流道模板的邊沿形成開放結構。
3.根據權利要求1所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,所述微流道的深度大于5μm且小于20μm、寬度大于2μm且小于10μm。
4.根據權利要求3所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,所述微流道為直流道，其長度大于5mm；所述微流道之間等間隔平行設置，且間隔大于10μm且小于或等于微流道寬度的5倍。
5.根據權利要求1所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,所述微流道模板由柔性材料制成。
6.根據權利要求5所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,所述柔性材料為PDMS。
7.根據權利要求1所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,步驟A1包括：
制備具有微柱結構的模板基片；
用所述模板基片作為復形模板進行復形得到具有微流道的微流道模板；所述微柱結構為與所述微流道相對應的凸紋。
8.根據權利要求1所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,步驟A2之后、步驟A3之前，還包括步驟：
對所述基底進行清洗處理和烘干處理。
9.根據權利要求7所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,對所述基底進行清洗處理的步驟包括：分別在水、乙醇溶劑中用超聲波清洗5min。
10.根據權利要求1所述的利用仿生毛細管微流道進行液相加工的方法，其特征在于,步驟A4中，用不大于20N·cm-2的壓強壓緊所述微流道模板。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
