[發明專利]一種撓性加速度計擺片溫度性能測試方法及系統

在審

• 申請號: 202110026605.8
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN113049849A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 聶魯燕;劉寶鳳;王憲東;楊穩;李立勇
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七0七研究所
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 天津盛理知識產權代理有限公司 12209
• 代理人: 王雨晴

1.一種撓性加速度計擺片溫度性能測試方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟1、在擺片傳感器C-引出端、擺片傳感器C+引出端焊接引線，同時將相鄰的上下導磁環作為上、下電容極板的“地”，分別通過導線引出，形成兩組電容測試信號C-、C+待測；

步驟2、按照傳統加速度計表芯裝配方法，利用加速度計表芯裝配工裝，將待測擺片和上下導磁環同軸夾持在裝配工裝上，對齊裝配在一起；

步驟3、利用水平儀，將高低溫箱內的隔振基座測試平板表面調水平，防止電容極板與導磁環表面導通；

步驟4、將表芯及其裝配工裝放置在隔振基座表面，將兩組電容測試線擺片傳感器C+、C-及各自的低端分別引出到電容測試儀，進行監測；

步驟5、在選定的一系列溫度點，分別測試兩組電容值，得到電容差值隨溫度的變化曲線，通過電容差與偏值的換算關系，得到擺片自身隨溫度的變形對于加速度計偏值變化的影響。

2.一種撓性加速度計擺片溫度性能測試系統，其特征在于：包括一個待測擺片、兩個導磁環和一臺電容測試儀；所述兩個導磁環對向設置，在上、下兩個導磁環中間同軸對稱設置有待測擺片；該待測擺片的正反兩面均鍍覆有擺片金膜形成電容極板；該電容極板與上、下導磁環表面形成擺片傳感器；該擺片傳感器C+引出端和擺片傳感器C-引出端及各自相鄰的導磁環分別通過引線與電容測試儀相連接，用于監測待測擺片電容差隨溫度的變化。

3.根據權利要求2所述的一種撓性加速度計擺片溫度性能測試系統，其特征在于：所述測試系統在隔振基座測試平板表面放置，同時，利用水平儀檢測隔振基座測試平板表面水平狀態，防止擺片電容極板與導磁環表面導通。