[發明專利]一種利用數字測試通道測量電容量的方法

在審

• 申請號: 202110026570.8
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112834826A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 魏津;張經祥;胡雪原
• 申請（專利權）人: 勝達克半導體科技(上海)有限公司
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26
• 代理公司: 上海專益專利代理事務所(特殊普通合伙) 31381
• 代理人: 方燕娜;王雯婷

1.一種利用數字測試通道測量電容量的方法，其特征在于包括如下步驟：

S1，數字測試通道（PE）通電，根據被測芯片（U）的預估電容范圍選擇可調采樣電阻（Rs）檔位；

S2，設置參數測量DAC的電壓為0V；

S3，設置電壓鉗位DAC、高閾值電壓（VOH）、低閾值電壓（VOL）參數；

S4，設置PPMU單元（PPMU）的工作模式為強制恒流輸出；

S5，建立PPMU單元（PPMU）輸出連接，切斷邏輯電路連接；

S6，復位TMU單元（TMU）計數器，開始TMU單元（TMU）測量；

S7，設置參數測量DAC的電壓為正電壓范圍的50%；

S8，TMU單元（TMU）測量完成，讀取TMU單元（TMU）測量結果；

S9，讀取測試時間，若測試時間小于100μs，則降低可調采樣電阻（Rs）檔位或降低參數測量DAC的設定值，若測試時間大于10ms，則提高可調采樣電阻（Rs）檔位或提高參數測量DAC的設定值，重復步驟S6-S8，直至測試時間大于100μs，并且小于10ms，進行步驟S10；

S10，設置參數測量DAC的電壓為0V；

S11，計算電容值并輸出。

2.根據權利要求1所述的一種利用數字測試通道測量電容量的方法，其特征在于：所述的數字測試通道（PE）具體包括被測芯片（U）、PPMU單元（PPMU）、數字邏輯控制單元（CU）、TMU單元（TMU），所述被測芯片（U）引腳分別連接PPMU單元（PPMU）、電阻一（R1）的一端、高比較器（CMPH）的二號端口、低比較器（CMPL）的一號端口，電阻一（R1）的另一端分別連接數字邏輯控制單元（CU）的邏輯驅動端口（LD）及邏輯采集端口（LA），高比較器（CMPH）的一號端口連接高閾值電壓（VOH），高比較器（CMPH）的三號端口連接TMU單元（TMU）的一端，TMU單元（TMU）的另一端連接低比較器（CMPL）的三號端口，TMU單元（TMU）的二號端口連接低閾值電壓（VOL）。

3.根據權利要求2所述的一種利用數字測試通道測量電容量的方法，其特征在于：所述的PPMU單元（PPMU）內設有測量電路一，測量電路一包括可調采樣電阻（Rs）、參數測量DAC、電壓鉗位DAC、強制放大器（FA）、電流放大器（IA）、電壓放大器（VA）、測量端口（TP），所述被測芯片（U）引腳分別連接可調采樣電阻（Rs）的一端，電流放大器（IA）的二號端口、電壓放大器（UA）的一端，可調采樣電阻（Rs）的另一端分別連接開關一（S1）的一端、電流放大器（IA）的一號端口，開關一（S1）的另一端連接強制放大器（FA）的四號端口，強制放大器（FA）的三號端口連接電壓鉗位DAC，強制放大器（FA）的一號端口連接參數測量DAC，強制放大器（FA）的二號端口連接測量端口（TP）一端、強制模式選擇開關（S2）的一號端口、強制模式選擇開關（S2）的二號端口及電流放大器（IA）的三號端口，強制模式選擇開關（S2）的三號端口分別連接電壓放大器（UA）的另一端，測量端口（TP）的另一端。

4.根據權利要求2所述的一種利用數字測試通道測量電容量的方法，其特征在于：所述的TMU單元（TMU）內設有測量電路二，測量電路二包括高比較器（CMPH）、低比較器（CMPL）、時鐘信號（CL），所述高比較器（CMPH）一端連接時間采樣模塊一（T1）的一號端口，時間采樣模塊一（T1）的二號端口連接時間差模塊（TD）一端，時間差模塊（TD）另一端連接時間采樣模塊二（T2）的二號端口，時間采樣模塊二（T2）的一號端口連接低比較器（CMPL）一端，時鐘信號（CL）分別連接時間采樣模塊一（T1）、時間采樣模塊（T2）的三號端口。