[發(fā)明專利]光學器件監(jiān)測與標定系統(tǒng)和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110023040.8
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112763194B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設計）人: 梁宇鑫;崔乃迪;歐陽伯靈;馮俊波;郭進
• 申請（專利權）人: 聯(lián)合微電子中心有限責任公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G02B6/124;G02B6/26;G02B6/122
• 代理公司: 北京北匯律師事務所 11711
• 代理人: 馬亞坤

1.一種光學器件監(jiān)測與標定系統(tǒng)，其特征在于，包括：待測光學器件和監(jiān)視裝置；

所述待測光學器件連接有輸入波導與輸出波導；

所述監(jiān)視裝置包含第一監(jiān)測波導和第二監(jiān)測波導；所述第一監(jiān)測波導上設有輸入光柵，用于輸入光信號；所述第二監(jiān)測波導上設有輸出光柵，用于輸出光信號；

所述第一監(jiān)測波導、所述第二監(jiān)測波導、所述輸入波導與所述輸出波導的芯層是由高折射率材料構成，并且所述第一監(jiān)測波導、所述第二監(jiān)測波導、所述輸入波導與所述輸出波導的包層是由低折射率的材料構成；

所述第一監(jiān)測波導與所述輸入波導之間設有第一聚合物，使得第一監(jiān)測波導與所述輸入波導耦合導通；所述第二監(jiān)測波導與所述輸出波導之間設有第二聚合物，使得第二監(jiān)測波導與所述輸出波導耦合導通；所述第一聚合物與所述第二聚合物可擦除，所述第一聚合物與所述第二聚合物的折射率均大于空氣的折射率；

根據(jù)所述輸入光柵輸入的光信號與所述輸出光柵輸出的光信號對所述待測光學器件進行監(jiān)測和/或標定。

2.根據(jù)權利要求1所述的光學器件監(jiān)測與標定系統(tǒng)，其特征在于，包括：

所述第一監(jiān)測波導與所述輸入波導之間的包層具有第一深刻槽，并且所述第二監(jiān)測波導與所述輸出波導之間的包層具有第二深刻槽；所述第一深刻槽與所述第二深刻槽分別用于放置所述第一聚合物和所述第二聚合物。

3.根據(jù)權利要求1中所述的光學器件監(jiān)測與標定系統(tǒng)，其特征在于，包括：

所述第一監(jiān)測波導與所述輸入波導的耦合長度為第一預設范圍，使得光信號由所述第一監(jiān)測波導耦合進入所述輸入波導的效率為第一指定效率；

所述輸出波導與所述第二監(jiān)測波導的耦合長度設置為第二預設范圍，使得光信號由所述輸出波導耦合進入所述第二監(jiān)測波導的效率為第二指定效率。

4.根據(jù)權利要求1-3中任一所述的光學器件監(jiān)測與標定系統(tǒng)，其特征在于，包括：

所述輸出光柵輸出的光信號與所述輸入光柵輸入光信號的比率用于待測光學器件的監(jiān)測和/或標定。

5.一種采用如權利要求1-4任一項所述的光學器件監(jiān)測與標定系統(tǒng)的光學器件監(jiān)測與標定方法，其特征在于，所述方法包括：

在第一監(jiān)測波導與待測光學器件的輸入波導之間設置第一聚合物，使得第一監(jiān)測波導與所述輸入波導耦合導通；

在第二監(jiān)測波導與所述待測光學器件的輸出波導之間設置第二聚合物，使得第二監(jiān)測波導與所述輸出波導耦合導通；

在所述第一監(jiān)測波導上設置輸入光柵，用于輸入光信號，并在所述第二監(jiān)測波導上設置輸出光柵，用于輸出光信號；

根據(jù)所述輸入光柵輸入的光信號與所述輸出光柵輸出的光信號對所述待測光學器件進行監(jiān)測和/或標定。

6.根據(jù)權利要求5所述的光學器件監(jiān)測與標定方法，其特征在于，包括：

監(jiān)測和/或標定完畢后，擦除所述第一聚合物和所述第二聚合物，還原待測光學器件的功能。

7.根據(jù)權利要求5所述的光學器件監(jiān)測與標定方法，其特征在于，包括：

在所述第一監(jiān)測波導與所述輸入波導之間的包層上通過刻蝕形成第一深刻槽；并且在所述第二監(jiān)測波導與所述輸出波導之間的包層上通過刻蝕形成第二深刻槽；

在所述第一深刻槽與所述第二深刻槽中分別填入所述第一聚合物與所述第二聚合物。