[發(fā)明專利]半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110022821.5
• 申請(qǐng)日: 2021-01-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112838031A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝雨明;裴少帥;蘇亞青;呂劍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華虹半導(dǎo)體（無(wú)錫）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)包括：

載臺(tái)本體，所述載臺(tái)本體用于承載半導(dǎo)體基片；

圍擋圈，所述圍擋圈包圍在所述載臺(tái)本體的外周；所述圍擋圈的內(nèi)壁與所述載臺(tái)本體外緣之間形成集屑腔；

碎屑顆粒收集器，所述碎屑顆粒收集器包括連通的采集支端和集中端，所述集中端出設(shè)有碎屑顆粒濾網(wǎng)，所述采集支端連通所述集屑腔的底部，用于將進(jìn)入所述集屑腔中的碎屑顆粒吸入集中至所述集中端。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述圍擋圈通過(guò)連接部與所述載臺(tái)本體連接。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述連接部設(shè)于所述集屑腔中，所述連接部的一端連接所述圍擋圈的內(nèi)壁，另一端連接所述載臺(tái)本體的外緣。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述連接部有多個(gè)，多個(gè)所述連接部沿著所述載臺(tái)本體的周向間隔排布。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述連接部將所述集屑腔分隔成多個(gè)集屑子腔，多個(gè)所述集屑子腔沿著所述載臺(tái)本體的周向間隔排布。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，每個(gè)所述集屑子腔的底部連接一所述采集支端，各個(gè)所述集屑子腔的采集支端共同連通至集中端，用于將各個(gè)進(jìn)入各個(gè)所述集屑子腔中的碎屑顆粒吸入集中至所述集中端。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述采集支端與對(duì)應(yīng)集屑子腔的底部密封貼合。

8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體基片貼膜載臺(tái)，其特征在于，所述集中端后設(shè)有抽氣泵，所述抽氣泵與所述集中端連通，用于將進(jìn)入所述集屑腔中的碎屑顆粒吸入集中至所述集中端。