[發明專利]一種用于EUV光源的熔融液滴發生裝置

在審

• 申請號: 202110017947.3
• 申請日: 2021-01-07
• 公開（公告）號: CN112540513A
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 孫海軼;王成;王關德;李學紅;鄒家杰;劉科;冷雨欣;翟騰飛
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所;山東愛特機電技術有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05G2/00;H05B3/40
• 代理公司: 山東濟南齊魯科技專利事務所有限公司 37108
• 代理人: 鄭向群

本發明提供一種用于EUV光源的熔融液滴發生裝置，其中所述的本體外壁設導熱油輸入口及導熱油輸出口；加熱腔內填充導熱油，電加熱棒延伸至導熱油內；內腔內安裝內腔體，頂蓋內腔體頂部連接，固定帽安裝在內腔體內，固定帽底部固定壓緊彈簧，壓緊彈簧底部為過濾帽，過濾帽底部連通輸出通道，輸出通道與高速噴頭連接，高速噴頭與壓緊螺母連接，壓緊螺母固定在本體底部；優點為：本發明過濾帽用于去除金屬雜質；密封圈及壓緊彈簧維持熔融裝置在高溫高壓環境下使用，內腔體實現金屬的加熱、熔融及傳輸；加熱腔用于傳輸導熱介質；電加熱棒維持熔融裝置整體的實驗溫度環境；高速噴頭按要求噴射出實驗用金屬液滴。

技術領域

本發明涉及極紫外光刻機技術領域，尤其是涉及一種用于EUV光源的熔融液滴發生裝置。

背景技術

目前國外對于極紫外光刻機技術處于一種封鎖狀態，國內在光刻機領域受制約的技術方向很多，在國內多年的EUV光源的研究過程中，金屬液滴的形成質量，決定著EUV光源的質量，但目前金屬液滴的產生裝置受制于技術原型的限制，無法長期穩定地保持金屬液滴的形成質量。

發明內容

本發明的目的在于為解決現有技術的不足，而提供一種用于EUV光源的熔融液滴發生裝置。

本發明新的技術方案是：一種用于EUV光源的熔融液滴發生裝置，包括壓緊螺母、高速噴頭、本體及內腔體，所述的本體包括導熱油輸入口、導熱油輸出口、內腔、加熱腔及電加熱棒，所述的本體外壁下部設有導熱油輸入口，與導熱油輸入口相對的本體一側上部設有導熱油輸出口；所述的本體設有夾層，且夾層為加熱腔，所述的加熱腔內填充有導熱油，電加熱棒一端延伸至所述的加熱腔的導熱油內，所述的電加熱棒另一端通過螺母固定在本體頂部；所述的本體內部中空，且中空處為內腔，所述的內腔內安裝有內腔體；所述的內腔體包括頂蓋、密封圈A、固定帽、壓緊彈簧、過濾帽及輸出通道，所述的頂蓋通過密封圈A與內腔體頂部螺紋連接，所述的內腔體內壁設有凹槽，且固定帽安裝在所述的凹槽內，所述的固定帽頂部與頂蓋底部接觸，固定帽底部為U型槽，所述的U型槽內固定有壓緊彈簧，所述的壓緊彈簧底部為過濾帽，所述的過濾帽下部與內腔體內的凹槽固定連接，過濾帽底部連通有輸出通道，且輸出通道設在內腔體內，所述的輸出通道與高速噴頭連接，所述的高速噴頭通過密封圈B與壓緊螺母連接，所述的壓緊螺母通過螺紋固定在本體底部。

所述的密封圈A及密封圈B為金屬密封圈。

所述的電加熱棒為2個。

所述的過濾帽為不銹鋼。

所述的過濾帽的過濾孔徑在40微米以下。

所述的內腔體為不銹鋼，且內腔體內壁涂敷導熱納米涂層。

所述的本體為不銹鋼。

所述的本體內壁涂敷導熱納米涂層。

所述的本體外壁涂敷絕熱納米涂層。

所述的高速噴頭利用壓電陶瓷配合柔性毛細管實現高速開合。

本發明的有益效果為：本發明過濾帽用于去除金屬雜質；密封圈及壓緊彈簧維持熔融裝置在高溫高壓環境下使用，內腔體實現金屬的加熱、熔融及傳輸；加熱腔用于傳輸導熱介質；電加熱棒維持熔融裝置整體的實驗溫度環境；高速噴頭按要求噴射出實驗用金屬液滴。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

圖2為本發明的立體剖面圖。

圖3為本體的結構示意圖。

圖4為內腔體的結構示意圖。

其中：1、本體，101、導熱油輸出口，102、內腔，103、加熱腔，104、電加熱棒，2、內腔體，201、頂蓋，202、密封圈A，203、固定帽，204、壓緊彈簧，205、過濾帽，206、輸出通道，3、壓緊螺母，4、高速噴頭，5、密封圈B。